声表面波装置制造方法及图纸

声表面波装置(10)具备：压电性基板(24)；多个功能元件(30)，形成在压电性基板(24)上；覆盖部(20)，隔着支承层(22)而与压电性基板(24)对置配置；以及输入输出端子(28)，配置在覆盖部(20)。在多个功能元件(30)的至少一部分包含IDT(Inter Digital Transducer，叉指换能器)电极，由压电性基板(24)和IDT电极形成声表面波谐振器。多个功能元件(30)包含：滤波器部(100)，使给定的频带的信号通过；以及消除电路(110)，与滤波器部(100)并联地连接，使从输出端子(28)输出的信号中的给定的频带的范围外的信号衰减。将多个功能元件(30)中包含的第一功能元件和第二功能元件连接的布线图案的一部分(32)形成在覆盖部(20)。

Surface Acoustic Wave Device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】声表面波装置
本专利技术涉及声表面波装置，更特定地，涉及用于将声表面波装置小型化的技术。
技术介绍
在便携式电话或者智能电话等的电子设备中，使用利用了声表面波(SAW：SurfaceAcousticWave)谐振器的声表面波滤波器。近年来，伴随着这些电子设备的小型化以及高性能化，要求所使用的电子部件的小型化、高密度化，在声表面波谐振器中也期望小型化。一般来说，声表面波谐振器设为在压电性基板上配置许多的梳齿状电极(IDT：InterDigitalTransducer，叉指换能器)的结构，因此在声表面波谐振器的小型化中，降低该压电性基板的表面积是重要的。在日本专利第5733791号公报(专利文献1)公开了具有如下结构的声表面波器件，即，在压电性基板的主面(表面)配置IDT电极等功能元件，并且在压电性基板的与主面相反侧的面(背面)配置用于与外部设备等连接的布线电极，并通过贯通电极(过孔)对该功能元件和布线电极进行连接。在日本专利第4670872号公报(专利文献2)公开了如下结构，即，在声表面波装置中，在为了形成振动空间而设置在压电性基板上的覆盖部配置信号线的一部分，由此降低与声表面波装置的小型化相伴的信号线彼此的电容耦合。在先技术文献专利文献专利文献1：日本专利第5733791号公报专利文献2：日本专利第4670872号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题这样的声表面波装置有时作为使特定的频带(通带)的信号通过的带通滤波器来使用。在带通滤波器中，期望上述的通带外的频带(阻带)的衰减量大。在这种情况下，已知有如下结构，即，在该滤波器并联地追加附加电路(消除电路)，由此确保阻带中的衰减量。概略性地，该附加电路生成具有与通过滤波器部的信号反相位的信号分量并叠加到输出信号，由此抵消阻带中的输出信号的振幅而确保衰减量。另一方面，若在声表面波装置设置这样的追加性的电路，则压电性基板上的表面积变得更必要。因此，声表面波装置的装置尺寸会大型化，或者可能发生需要在压电性基板上使布线图案绝缘地交叉的情况。本专利技术正是为了解决这样的课题而完成的，其目的在于，在具有用于确保滤波器的阻带的衰减量的消除电路的声表面波装置中，抑制装置尺寸的大型化，并且使设计的自由度提高。用于解决课题的技术方案基于本专利技术的声表面波装置具备：压电性基板；多个功能元件，形成在压电性基板上；覆盖部，隔着支承层而与压电性基板对置配置；以及输入端子和输出端子，配置在覆盖部。在多个功能元件的至少一部分包含IDT(InterDigitalTransducer，叉指换能器)电极，由压电性基板和IDT电极形成声表面波谐振器。多个功能元件包含：滤波器部，构成为使来自输入端子的输入信号中的给定的频带的信号通过输出端子；以及消除电路，与滤波器部并联地连接在输入端子与输出端子之间。消除电路使从输出端子输出的信号中的给定的频带外的信号衰减。将多个功能元件中包含的第一功能元件和第二功能元件连接的布线图案的一部分形成在覆盖部。优选地，声表面波装置还具备贯通支承层以及覆盖部的第一贯通电极以及第二贯通电极。形成在覆盖部的布线图案通过第一贯通电极而与第一功能元件连接，通过第二贯通电极而与第二功能元件连接。优选地，声表面波装置还具备：保护树脂，对覆盖部中与面向压电性基板的第一面相反的第二面进行覆盖。形成在覆盖部的布线图案形成于保护树脂与覆盖部的第二面之间。形成在覆盖部的布线图案经由形成在覆盖部的第一侧面的第一布线而与第一功能元件连接，经由形成在覆盖部的第二侧面的第二布线而与第二功能元件连接。优选地，在俯视压电性基板的情况下，形成在压电性基板的布线图案的至少一部分与形成在覆盖部的布线图案交叉。优选地，在俯视压电性基板的情况下，多个功能元件的一部分与形成在覆盖部的布线图案重叠。优选地，将滤波器部中包含的功能元件彼此连接的布线图案的至少一部分、以及从输入端子经由消除电路到达输出端子的布线图案的至少一部分形成在覆盖部。优选地，第一功能元件是所述滤波器部，第二功能元件是所述消除电路。将滤波器部和消除电路连接的布线图案的至少一部分形成在覆盖部。优选地，滤波器部是接收用滤波器。输入端子与天线连接，输出端子与接收电路连接。消除电路与接收用滤波器并联地连接。优选地，滤波器部是发送用滤波器。输入端子与发送电路连接，输出端子与天线连接。消除电路与发送用滤波器并联地连接。优选地，消除电路包含：振幅调整电路，构成为对输入信号的振幅进行调整；以及相位调整电路，构成为对输入信号的相位进行调整。第一功能元件是振幅调整电路，第二功能元件是相位调整电路。将振幅调整电路和相位调整电路连接的布线图案的至少一部分形成在覆盖部。优选地，消除电路包含第一振幅调整电路以及第二振幅调整电路和相位调整电路。第一振幅调整电路对输入信号的振幅进行调整。相位调整电路对来自第一振幅调整电路的信号的相位进行调整。第二振幅调整电路对来自相位调整电路的信号的振幅进行调整。第一功能元件是相位调整电路，第二功能元件是第一振幅调整电路以及第二振幅调整电路的至少一者。将第一振幅调整电路和相位调整电路连接的布线图案、以及将相位调整电路和第二振幅调整电路连接的布线图案的至少一者形成在覆盖部。优选地，滤波器部包含发送用滤波器和接收用滤波器。发送用滤波器对在第一端子接受的来自发送电路的信号进行滤波并输出到天线。接收用滤波器对从天线接收的信号进行滤波并从第二端子输出到接收电路。消除电路使从第二端子输出的信号中的在第一端子接受的信号的影响降低。从第一端子经由消除电路连接到第二端子的布线图案的一部分形成在覆盖部。优选地，通过钽酸锂(LiTaO3)、铌酸锂(LiNbO3)、氧化铝(Al2O3)以及蓝宝石的任一种单晶材料、或者由LiTaO3、LiNbO3或硅(Si)构成的层叠材料形成。专利技术效果根据基于本专利技术的声表面波装置，通过将对滤波器部的功能元件间进行连接的布线图案的一部分和/或对滤波器部和消除电路进行连接的布线图案的一部分形成在声表面波装置的覆盖部，从而能够削减由于消除电路的追加而需要的压电性基板上的空间。此外，还能够排除压电性基板上的布线图案的交叉。因此，能够通过消除电路的追加使阻带的衰减特性提高，并且能够抑制声表面波装置的大型化以及提高设计的自由度。附图说明图1是按照实施方式的声表面波装置的剖视图。图2是示出按照实施方式的声表面波装置的等效电路的一个例子的图。图3是示出图2的声表面波装置的压电性基板中的功能元件以及布线图案的配置的一个例子的图。图4是仅在声表面波装置的压电性基板的表面配置了功能元件以及布线图案的比较例的配置图。图5是示出按照实施方式的声表面波装置的等效电路的另一个例子的图。图6是示出图2中的消除电路的细节的图。图7是实施方式的变形例1的剖视图。图8是示出图7的声表面波装置的压电性基板中的功能元件以及布线图案的配置的一个例子的图。图9是示出纵向耦合谐振型滤波器的情况下的变形例2的等效电路的图。图10是用于说明具有发送用滤波器以及接收用滤波器的双方的声表面波装置的例子中的消除电路的配置的图。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行详细说明。另外，对于图中相同或相应部分标注相同附图标记，并不再重复其说明。图1示出按照本实施方式的声表面波装置10的一个例子本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种声表面波装置，具备：压电性基板；多个功能元件，形成在所述压电性基板上；覆盖部，隔着支承层而与所述压电性基板对置配置；以及输入端子和输出端子，配置在所述覆盖部，在所述多个功能元件的至少一部分包含叉指换能器IDT电极，由所述压电性基板和所述IDT电极形成声表面波谐振器，所述多个功能元件包含：滤波器部，构成为使来自所述输入端子的输入信号中的给定的频带的信号通过所述输出端子；以及消除电路，与所述滤波器部并联地连接在所述输入端子与所述输出端子之间，所述消除电路构成为使从所述输出端子输出的信号中的所述给定的频带外的信号衰减，将所述多个功能元件中包含的第一功能元件和第二功能元件连接的布线图案的一部分形成在所述覆盖部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.02.03 JP 2017-0186851.一种声表面波装置，具备：压电性基板；多个功能元件，形成在所述压电性基板上；覆盖部，隔着支承层而与所述压电性基板对置配置；以及输入端子和输出端子，配置在所述覆盖部，在所述多个功能元件的至少一部分包含叉指换能器IDT电极，由所述压电性基板和所述IDT电极形成声表面波谐振器，所述多个功能元件包含：滤波器部，构成为使来自所述输入端子的输入信号中的给定的频带的信号通过所述输出端子；以及消除电路，与所述滤波器部并联地连接在所述输入端子与所述输出端子之间，所述消除电路构成为使从所述输出端子输出的信号中的所述给定的频带外的信号衰减，将所述多个功能元件中包含的第一功能元件和第二功能元件连接的布线图案的一部分形成在所述覆盖部。2.根据权利要求1所述的声表面波装置，其中，在所述压电性基板形成有贯通所述支承层以及所述覆盖部的第一贯通电极以及第二贯通电极，形成在所述覆盖部的布线图案通过所述第一贯通电极而与所述第一功能元件连接，通过所述第二贯通电极而与所述第二功能元件连接。3.根据权利要求1所述的声表面波装置，其中，还具备：保护树脂，覆盖所述覆盖部中与面向所述压电性基板的第一面相反的第二面，形成在所述覆盖部的布线图案形成于所述保护树脂与所述覆盖部的所述第二面之间，形成在所述覆盖部的布线图案经由形成在所述覆盖部的第一侧面的第一布线而与所述第一功能元件连接，经由形成在所述覆盖部的第二侧面的第二布线而与所述第二功能元件连接。4.根据权利要求1～3中的任一项所述的声表面波装置，其中，在俯视所述压电性基板的情况下，形成在所述压电性基板的布线图案的至少一部分与形成在所述覆盖部的布线图案交叉。5.根据权利要求1～3中的任一项所述的声表面波装置，其中，在俯视所述压电性基板的情况下，所述多个功能元件的一部分与形成在所述覆盖部的布线图案重叠。6.根据权利要求1～5中的任一项所述的声表面波装置，其中，将所述滤波器部中包含的功能元件彼此连接的布线图案的至少一部分、以及从所述输入端子经由所述消除电路到达所述输出端子的布线图案的至少一部分形成在所述覆盖部。7.根据权利要求6所述的声表面波装置，其中，所述第一功能元件是所述滤波器部，所述第二功能元件是所述消除...

【专利技术属性】
技术研发人员：川崎幸一郎，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP