【技术实现步骤摘要】
一种玻璃镀膜真空镀膜室
本技术涉及一种玻璃镀膜真空镀膜室,属于真空镀膜
技术介绍
真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术,在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上;目前所使用的镀膜机结构简单,镀膜室无法同时实现对镀膜基材的输出、输送,严重影响生产效率。为解决上述问题,特提供一种新的技术方案。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种玻璃镀膜真空镀膜室,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的本技术采用以下技术方案:一种玻璃镀膜真空镀膜室,包括机体和连接板,所述机体上设置有镀膜室、滑槽与电缸,所述镀膜室开设于机体上方,所述滑槽开设于机体下方,所述电缸通过螺栓安装固定于机体底部中间,所述连接板对称放置于机体前后端。优选的,所述镀膜室上设置有真空管道与靶材盒,所述真空管道焊接于镀膜室顶部中间,所述靶材盒一体成型连接于镀膜室两侧。优选的,所述靶材盒内滑动连接有靶材托板,所述靶材托板中间开设有靶材座。优选的,所述连接板上设置有滑块、吊耳与密封板,所述滑块一体成型连接于连接板底部,且滑块嵌套于滑槽内部,所述吊耳焊接于连接板底部前端,且吊耳与电缸螺栓连接,所述密封板通过螺栓安装固定于连接板内侧上方,密封板内侧边角上焊接有支撑柱,所述支撑柱中间焊接有中密封板。优选的,所述中密封板与密封板分别嵌套于镀膜室内,且中密封板的厚度为密封板厚度的二倍。与现有技术相比,本技术的有益效果是:本技术真空管道焊接于镀膜室顶部中间,可轻松对镀膜室进行抽真空操作;靶材盒内滑动连接有靶材托板,且靶材托板中间开设有靶材座,可轻松对镀膜室内的靶材进行更换;吊耳与电缸螺栓 ...
【技术保护点】
1.一种玻璃镀膜真空镀膜室,包括机体(1)和连接板(2),其特征在于:所述机体(1)上设置有镀膜室(3)、滑槽(4)与电缸(5),所述镀膜室(3)开设于机体(1)上方,所述滑槽(4)开设于机体(1)下方,所述电缸(5)通过螺栓安装固定于机体(1)底部中间,所述连接板(2)对称放置于机体(1)前后端。
【技术特征摘要】
1.一种玻璃镀膜真空镀膜室,包括机体(1)和连接板(2),其特征在于:所述机体(1)上设置有镀膜室(3)、滑槽(4)与电缸(5),所述镀膜室(3)开设于机体(1)上方,所述滑槽(4)开设于机体(1)下方,所述电缸(5)通过螺栓安装固定于机体(1)底部中间,所述连接板(2)对称放置于机体(1)前后端。2.根据权利要求1所述的一种玻璃镀膜真空镀膜室,其特征在于:所述镀膜室(3)上设置有真空管道(6)与靶材盒(7),所述真空管道(6)焊接于镀膜室(3)顶部中间,所述靶材盒(7)一体成型连接于镀膜室(3)两侧。3.根据权利要求2所述的一种玻璃镀膜真空镀膜室,其特征在于:所述靶材盒(7)内滑动连接有靶材托板(13),所述靶材托板(13...
【专利技术属性】
技术研发人员:龙志光,
申请(专利权)人:深圳市超为龙科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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