超纯水智能远程运维系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种超纯水智能远程运维系统，基于超净水制备设备而设置，包括：远程运维及数据分析服务器，所述远程运维及数据分析服务器通过网络连接现场局域网，所述现场局域网通过微控器连接设于超净水制备设备上的信息采集机构，同时现场局域网还通过多媒体控制器连接设备管理机构。本实用新型专利技术基于大数据的处理与分析能够更好的控制超纯水制备设备的工作，保证制备出更符合标准的超纯水。本实用新型专利技术适用于所有超纯水制备设备。

Ultra Pure Water Intelligent Remote Operation and Maintenance System

【技术实现步骤摘要】
超纯水智能远程运维系统
本技术属于电子制造领域，涉及一种电子器件制造过程中使用的超纯水，具体地说是一种超纯水智能远程运维系统。
技术介绍
在大规模集成电路或显示器件制造行业中，超纯水是浸没式光刻步骤中所使用的浸没液体，而超纯水的水质极大地影响着光刻的质量，因此，制得水质合格的超纯水是集成电路制造行业中必不可少的工序，进而令超纯水系统工艺和信息化管理成为高科技电子工厂的重要环节。目前国内的超纯水制备行业正处于快速的发展阶段，但是相比国外的发展水平仍有很大的差距。随着国内半导体生产线的普及，超纯水制备设备的需求越来越大，而目前国内的半导体制造厂商主要依赖国外的超纯水制备设备及其管理系统，不仅成本高，且后期维护非常不便。因此，超纯水远程运维还有待自主研发。浙江大学硕士论文“超纯水处理系统设计及其信息化方案研究”中公布了一种超纯水的信息化技术，该论文课题的内容涵盖超纯水制备系统工艺选型、流程设计、设备选型、结构设计、控制系统选型、系统加工集成以及调试。同时，该课题中还设计了一套对超纯水系统运行数据进行远程采集和发布的解决方案，该方案定义了需要传输的设计以及数据发送的方法、格式，同时设计了数据在服务器的储存方式，完成数据库设计，最后实现了网页对超纯水系统数据的发布。大大提升了超纯水系统的数据管理能力。但由于一些限制，该课题对超纯水系统的智能远程运维还需要完善，包括：工业云及大数据处理、远程通信及监控、数据分析和统计、基于人工智能的预测和分析等方案存在欠缺或未能完善。
技术实现思路
为解决现有技术中存在的以上不足，本技术旨在提供一种超纯水智能远程运维系统，以令其能够对超净水制备装备智能控制，且具有大数据分析功能，令超净水制备设备更加智能化。为实现上述目的，本技术所采用的技术方案如下：一种超纯水智能远程运维系统，基于超纯水制备设备而设置，包括：远程运维及数据分析服务器，所述远程运维及数据分析服务器通过网络连接现场局域网，所述现场局域网通过微控器连接设于超净水制备设备上的信息采集机构，同时现场局域网还通过多媒体控制器连接设备管理机构。作为对本技术的限定：所述信息采集机构包括设备管理实体、故障管理实体、维修维护实体。作为对本技术的另一种限定：所述设备管理机构包括备品备件出入库检测设备、安全告警设备。作为对本技术超纯水制备设备的限定：所述超纯水制备设备包括依次连接的预处理系统、软化系统、反渗透系统、混床系统、抛光系统，所述预处理系统包括入口通过原水泵泵取原水池中原水的预处理热交换器，所述预处理热交换器的出口连接多介质过滤器的入口，多介质过滤器的出口连接过滤水池，过滤水池内设有过滤水泵，所述过滤水泵的出口连接活性炭过滤器的入口；所述软化系统包括与活性炭过滤器出口相连的阳离子床，阳离子床后依次设有脱碳塔、水箱、阴床供水泵、阴离子床，所述阴离子床流出的软化水流入软化水池内；所述反渗透系统包括由软化水池泵取软化水的反渗透供水泵，反渗透供水泵的出口通过保安过滤器连接反渗透主机，所述反渗透供水泵与保安过滤器之间设有杀菌紫外灯；所述混床系统包括连接反渗透主机的反渗透水池，反渗透水池内设有混床供水泵，所述反渗透供水泵的出口连接混合离子交换床的入口，混合离子交换床的出口连接脱气膜装置；所述抛光系统包括连接脱气膜装置出口的超纯水水箱，超纯水水箱内设有将超纯水泵取给超纯水热交换器的超纯水送水泵，所述超纯水热交换器的出口通过杀菌紫外灯连接抛光混床，所述抛光混床内设有终端增压泵，所述终端增压泵的出口通过终端超滤连接超纯水用水点。作为对本技术中设备管理实体的限定：所述信息采集机构的设备管理实体包括设于原水泵出口的水泵压力传感器、设于多介质过滤器出口处的水位传感器、设于活性炭过滤器出口处的电化学、气体传感器、设于阳离子床内的离子传感器传感器、设于脱碳塔内的气体传感器、设于阴离子床上的离子传感器、设于反渗透供水泵出口的流量传感器、设于保安过滤器出口处的压力过滤器、设于反渗透主机出口处的液压传感器、设于混床供水泵出口处的液位传感器、设于混合离子交换床内的离子传感器、设于脱气膜装置出口处的压力传感器、设于超纯水送水泵出口的压力传感器、设于抛光混床内的水质传感器，以及设于终端超滤出口处的压力传感器。由于采用了上述的技术方案，本技术与现有技术相比，所取得的有益效果是：本技术设有远程运维及数据分析服务器，通过现场局域网、微控器与设于超纯水制备设备上的信息采集机构连接，能够实时得知超纯水制备设备的工作状况，解决了现有技术中超纯水制备设备缺乏管理流程、仅能在现场进行调控、缺乏智能软件和数据分析的现状，真正实现了对超纯水制备设备的智能化控制，及大数据管理，对超纯水的制备设备进行了有效监控、维护和管理，为超纯水的制备提供了科学可靠的依据，令得到的超纯水纯度更高，更符合电子集成电路生产的需求，同时对超纯水制备设备进行实时的故障预测与健康管理，提升故障排查的失效性，延长超纯水制备设备的寿命，并最大化超纯水制备设备的系统效率；本技术的超纯水制备设备包括预处理系统、软化系统、反渗透系统、混床系统、抛光系统，能够对原水进行充分的去除离子和杂质，得到超纯水，令超纯水的水质更加满足需求；本技术的超纯水制备设备中设有多个传感器，分别位于不同部件上，能够分别采集制备超纯水过程中的各个实时参数，保证超纯水制备的纯净性，以及制备过程的安全性。综上所述，本技术基于大数据的处理与分析能够更好的控制超纯水制备设备的工作，保证制备出更符合标准的超纯水。本技术适用于所有超纯水制备设备。附图说明下面结合附图及具体实施例对本技术作更进一步详细说明。图1为本技术实施例的原理框图；图2为本技术实施例中超纯水制备设备的结构示意图。图中：11、微控器，12、设备管理实体，13、故障管理实体，14、维修维护实体，15、备品备件出入库检测设备，16、安全告警设备，17、现场局域网，171、现场局域网服务器，172、数据存储设备，18、远程运维及数据分析服务器，19、多媒体远程控制器。具体实施方式实施例一种超纯水智能远程运维系统本实施例基于超纯水制备设备设置，所述超纯水制备设备如图2所示，包括依次连接的预处理系统、软化系统、反渗透系统、混床系统、抛光系统，所述预处理系统包括入口通过原水泵泵取原水池中原水的预处理热交换器，所述预处理热交换器的出口连接多介质过滤器的入口，多介质过滤器的出口连接过滤水池，过滤水池内设有过滤水泵，所述过滤水泵的出口连接活性炭过滤器的入口；所述软化系统包括与活性炭过滤器出口相连的阳离子床，阳离子床后依次设有脱碳塔、水箱、阴床供水泵、阴离子床，所述阴离子床流出的软化水流入软化水池内；所述反渗透系统包括由软化水池泵取软化水的反渗透供水泵，反渗透供水泵的出口通过保安过滤器连接反渗透主机，所述反渗透供水泵与保安过滤器之间设有杀菌紫外灯；所述混床系统包括连接反渗透主机的反渗透水池，反渗透水池内设有混床供水泵，所述反渗透供水泵的出口连接混合离子交换床的入口，混合离子交换床的出口连接脱气膜装置；所述抛光系统包括连接脱气膜装置出口的超纯水水箱，超纯水水箱内设有将超纯水泵取给超纯水热交换器的超纯水送水泵，所述超纯水热交换器的出口通过杀菌紫外本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超纯水智能远程运维系统，基于超纯水制备设备而设置，其特征在于包括：远程运维及数据分析服务器，所述远程运维及数据分析服务器通过网络连接现场局域网，所述现场局域网通过微控器连接设于超净水制备设备上的信息采集机构，同时现场局域网还通过多媒体控制器连接设备管理机构。

【技术特征摘要】
1.一种超纯水智能远程运维系统，基于超纯水制备设备而设置，其特征在于包括：远程运维及数据分析服务器，所述远程运维及数据分析服务器通过网络连接现场局域网，所述现场局域网通过微控器连接设于超净水制备设备上的信息采集机构，同时现场局域网还通过多媒体控制器连接设备管理机构。2.根据权利要求1所述的超纯水智能远程运维系统，其特征在于：所述信息采集机构包括设备管理实体、故障管理实体、维修维护实体。3.根据权利要求1或2所述的超纯水智能远程运维系统，其特征在于：所述设备管理机构包括备品备件出入库检测设备、安全告警设备。4.根据权利要求2所述的超纯水智能远程运维系统，其特征在于：所述超纯水制备设备包括依次连接的预处理系统、软化系统、反渗透系统、混床系统、抛光系统，所述预处理系统包括入口通过原水泵泵取原水池中原水的预处理热交换器，所述预处理热交换器的出口连接多介质过滤器的入口，多介质过滤器的出口连接过滤水池，过滤水池内设有过滤水泵，所述过滤水泵的出口连接活性炭过滤器的入口；所述软化系统包括与活性炭过滤器出口相连的阳离子床，阳离子床后依次设有脱碳塔、水箱、阴床供水泵、阴离子床，所述阴离子床流出的软化水流入软化水池内；所述反渗透系统包括由软化水池泵取软化水的反渗透供水泵，反渗透供水...

【专利技术属性】
技术研发人员：王立，项颢，贾琨，沈洁，徐超，李强，李锦生，
申请(专利权)人：中国电子工程设计院有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11