一种电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置制造方法及图纸

技术编号:21911195 阅读:38 留言:0更新日期:2019-08-21 11:36
本实用新型专利技术涉及晶圆加工设备附属装置的技术领域,特别是涉及一种电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置,其可以通过简化晶圆片倒角流程使晶圆片倒角效率提高;并且可以提高晶圆片两侧倒角的平整度;包括操作台、电动机和晶圆片;还包括两组支撑架、左支撑环、右支撑环、左螺纹杆、右螺纹杆、连接环、两组限位杆、两组滑块、限位板、左调节环、右调节环、左带动杆、右带动杆、左连接杆、右连接杆和两组吸盘爪,限位板的左部区域内部和右部区域的内部分别设置有两组滑动槽;还包括两组稳固架、放置板、调节杆、六棱杆、伸缩环、固定杆、挂杆、横杆、调节器、限位块、控制杆、控制环、伸缩螺纹杆、安装板和砂布,调节器的内部设置有滑动腔。

A Wafer Chamfer Assistant Device for Power Electronic Device Chip Development

【技术实现步骤摘要】
一种电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置
本技术涉及晶圆加工设备附属装置的
,特别是涉及一种电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置。
技术介绍
众所周知,晶圆是由单晶硅棒经过切片得来的,当晶圆从单晶硅棒上切割下来之后不可以直接送至下一道工序,因为这时晶圆的边缘存在很多毛刺,因而我们需要对晶圆边缘的毛刺加工之后才可以将晶圆送至下一道工序,其中上述去除晶圆边缘毛刺的过程称之为倒角,这里电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置是一种当晶圆从单晶硅棒上切割下来之后,用于对晶圆的边缘进行倒角的装置,其在晶圆加工的领域中得到了广泛的使用;现有的电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置包括操作台、电动机、砂轮、固定架和晶圆片,所述固定架的底端与操作台的顶端中部区域连接,所述晶圆片与固定架固定卡装,所述砂轮的中部区域与电动机的输出端固定卡装,所述操作台的底端设置有四组支腿;现有的电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置使用时,首先在市场上购买到电动机和砂轮,然后按照电动机和砂轮的使用说明书将砂轮安装在电动机的输出端,然后将需要加工的晶圆片固定在操作台上的固定架上,然后操作人员按照电动机购买时所带的使用说明书启动电动机,然后操作人员通过电动机控制砂轮对晶圆片边缘打磨来去除晶圆片边缘的毛刺;现有的电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置使用中发现,首先当固定架固定住晶圆片的时候,这时操作人员通过电动机带动砂轮只能对晶圆片的一侧边缘进行倒角,然后需要通过将晶圆片翻转之后并且重新固定才可以加工另一面,而且需要反复拆装晶圆片来对比晶圆片两侧倒角尺寸,因而晶圆片倒角的效率较低,同时现有的固定架对晶圆片的尺寸要求较高,从而导致使用局限性较高;并且操作人员通过电动机带动砂轮对晶圆片倒角,使晶圆片两侧倒角的平整度较差,同时造成了晶圆片两侧边缘倒角尺寸的一致性较差,从而导致实用性较差。
技术实现思路
为解决上述技术问题,本技术提供一种可以通过简化晶圆片倒角流程使晶圆片倒角效率提高,同时增强设备对不同尺寸晶圆片的夹放能力,从而降低使用局限性;并且可以提高晶圆片两侧倒角的平整度,同时增强晶圆片两侧边缘倒角尺寸的一致性,从而增强实用性的电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置。本技术的一种电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置,包括操作台、电动机和晶圆片,所述操作台的底端设置有四组支腿;还包括两组支撑架、左支撑环、右支撑环、左螺纹杆、右螺纹杆、连接环、两组限位杆、两组滑块、限位板、左调节环、右调节环、左带动杆、右带动杆、左连接杆、右连接杆和两组吸盘爪,所述两组支撑架的底端分别与操作台的顶端的左侧和中部连接,所述左支撑环和右支撑环的底端分别与两组支撑架的顶端连接,所述左螺纹杆的左端自左支撑环的右侧穿过螺纹环并且伸出至螺纹环的右端,所述左螺纹杆的右端与连接环的左端中部区域固定套装,所述右螺纹杆的右端与右支撑环转动卡装,所述右螺纹杆的左端与连接环的右端的中心区域固定套装,所述左螺纹杆的外圆周侧壁和右螺纹杆的外圆周侧壁分别设置有两组纹路相反的螺纹,所述左调节环和右调节环分别与左螺纹杆和右螺纹杆螺装,所述限位板的底端与操作台的顶端左侧连接,所述限位板的左部区域内部和右部区域的内部分别设置有两组滑动槽,所述两组滑块分别与两组滑动槽滑动卡装,所述两组滑动槽的顶端分别设置有两组插入孔,所述两组限位杆的底端分别自两组滑动槽的上侧穿过两组插入孔并且分别伸入至两组滑动槽的内部,所述两组限位杆的底端分别与两组滑块的顶端中部区域连接,所述两组限位杆的顶端分别与左调节环的底端和右调节环的底端连接,所述左带动杆和右带动杆的底端分别与左调节环和右调节环的顶端连接,所述左连接杆的左端与左带动杆的右端上侧连接,所述右带动杆的上部区域设置有滚珠轴承,所述右连接杆的右端自右带动杆的左侧穿过滚珠轴承并且伸出至右带动杆的右侧,所述右连接杆的外圆周侧壁与滚珠轴承的内圆周侧壁固定卡装,所述左连接杆和右连接杆的内端分别与两组吸盘爪的外端中部区域连接,所述两组吸盘爪的内端分别与晶圆片的左端和右端中心区域紧贴;还包括两组稳固架、放置板、调节杆、六棱杆、伸缩环、固定杆、挂杆、横杆、调节器、限位块、控制杆、控制环、伸缩螺纹杆、安装板和砂布,所述两组稳固架的底端均与操作台的顶端右侧连接,所述放置板的底端的左侧和右侧分别与两组稳固架的顶端连接,所述电动机的底端与放置板的顶端连接,所述电动机的输出端与调节杆的右端同心连接,所述调节杆的内部设置有六边形伸缩腔,所述六边形伸缩腔的左端连通设置有伸缩口,所述六棱杆的右端自调节杆的左侧穿过伸缩口并且伸入至六边形伸缩腔内部,所述六棱杆的右部区域与六边形伸缩腔滑动卡装,所述六棱杆与伸缩环滑动卡装,所述伸缩环的外圆周侧壁的底端与固定杆的顶端连接,所述固定杆的底端与右支撑环的顶端连接,所述六棱杆的左端与右连接杆的右端同心连接,所述挂杆的底端与左支撑环的顶端连接,所述调节器的顶端与横杆的底端右侧连接,所述调节器的内部设置有滑动腔,所述滑动腔的内端分别连通设置有滑动口,所述限位块与滑动腔滑动卡装,所述控制杆的左端自调节器的内侧穿过滑动口并且伸入至滑动腔内部,所述控制杆的左端与限位块的右端中部区域连接,所述控制杆的内部设置有调控腔,所述调控腔的右端连通设置有控制口,所述伸缩螺纹杆的左端自控制杆的右侧穿过控制口并且伸入至调控腔内部,所述伸缩螺纹杆的左端设置有限位头,所述控制杆的右端设置有环形转槽,所述控制环的左端设置有环卡,所述环卡与环形卡槽转动卡装,所述控制环的内圆周侧壁设置有内控制螺纹,所述控制环与伸缩螺纹杆螺装,所述伸缩螺纹杆的右端与安装板的左端中部区域连接,所述安装板的右端与砂布的左端连接。本技术的一种电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置,还包括带动螺纹杆、转动头、升降环、升降杆和限制托盘,所述左带动杆的内部设置有工作腔,所述工作腔的顶端连通设置有旋转孔,所述工作腔的右端连通设置有升降孔,所述带动螺纹杆的底端自左带动杆的上侧穿过旋转孔并且伸入至工作腔内部,所述带动螺纹杆的底端与工作腔的底端转动卡装,所述转动头的底端与带动螺纹杆的顶端连接,所述升降环与带动螺纹杆螺装,所述升降杆的左端自左带动杆的右侧穿过升降孔并且伸入至工作腔内部,所述升降杆的左端与升降环的外圆周侧壁右端连接,所述限制托盘的左端中部区域与升降杆的右端连接,所述限制托盘的顶端设置有凹槽,所述左带动杆的圆周侧壁前端设置有标尺。本技术的一种电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置,还包括转动把手,所述转动把手的右端与转动头的圆周侧壁左端连接。本技术的一种电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置,还包括提动环和限位螺丝,所述提动环与挂杆滑动套装,所述提动环的左端贯穿设置有限制螺纹孔,所述限位螺丝的右端自提动环的左侧穿过限制螺纹孔并且伸入至提动环内部,所述限位螺丝的右端与挂杆的圆周侧壁紧贴,所述横杆的左端与提动环的外圆周侧壁的右端中部区域连接。本技术的一种电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置,还包括提手,所述提手的底端与横杆的顶端的中部区域连接。本技术的一种电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置,还包括弹簧垫,所述弹簧垫与限位螺丝活动套装,所述弹簧垫的右端与提动环的外圆周侧壁本文档来自技高网
...

【技术保护点】
1.一种电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置,包括操作台(1)、电动机(2)和晶圆片(3),所述操作台(1)的底端设置有四组支腿;其特征在于,还包括两组支撑架(4)、左支撑环(5)、右支撑环、左螺纹杆(6)、右螺纹杆(8)、连接环(7)、两组限位杆(9)、两组滑块(10)、限位板(11)、左调节环(12)、右调节环(13)、左带动杆(45)、右带动杆(14)、左连接杆(15)、右连接杆(16)和两组吸盘爪(17),所述两组支撑架(4)的底端分别与操作台(1)的顶端的左侧和中部连接,所述左支撑环(5)和右支撑环的底端分别与两组支撑架(4)的顶端连接,所述左螺纹杆(6)的左端自左支撑环(5)的右侧穿过螺纹环并且伸出至螺纹环的右端,所述左螺纹杆(6)的右端与连接环(7)的左端中部区域固定套装,所述右螺纹杆(8)的右端与右支撑环转动卡装,所述右螺纹杆(8)的左端与连接环(7)的右端的中心区域固定套装,所述左螺纹杆(6)的外圆周侧壁和右螺纹杆(8)的外圆周侧壁分别设置有两组纹路相反的螺纹,所述左调节环(12)和右调节环(13)分别与左螺纹杆(6)和右螺纹杆(8)螺装,所述限位板(11)的底端与操作台(1)的顶端左侧连接,所述限位板(11)的左部区域内部和右部区域的内部分别设置有两组滑动槽,所述两组滑块(10)分别与两组滑动槽滑动卡装,所述两组滑动槽的顶端分别设置有两组插入孔,所述两组限位杆(9)的底端分别自两组滑动槽的上侧穿过两组插入孔并且分别伸入至两组滑动槽的内部,所述两组限位杆(9)的底端分别与两组滑块(10)的顶端中部区域连接,所述两组限位杆(9)的顶端分别与左调节环(12)的底端和右调节环(13)的底端连接,所述左带动杆(45)和右带动杆(14)的底端分别与左调节环(12)和右调节环(13)的顶端连接,所述左连接杆(15)的左端与左带动杆(45)的右端上侧连接,所述右带动杆(14)的上部区域设置有滚珠轴承,所述右连接杆(16)的右端自右带动杆(14)的左侧穿过滚珠轴承并且伸出至右带动杆(14)的右侧,所述右连接杆(16)的外圆周侧壁与滚珠轴承的内圆周侧壁固定卡装,所述左连接杆(15)和右连接杆(16)的内端分别与两组吸盘爪(17)的外端中部区域连接,所述两组吸盘爪(17)的内端分别与晶圆片(3)的左端和右端中心区域紧贴;还包括两组稳固架(18)、放置板(19)、调节杆(20)、六棱杆(21)、伸缩环(22)、固定杆(23)、挂杆(24)、横杆(25)、调节器(26)、限位块(27)、控制杆(28)、控制环(29)、伸缩螺纹杆(30)、安装板(31)和砂布(32),所述两组稳固架(18)的底端均与操作台(1)的顶端右侧连接,所述放置板(19)的底端的左侧和右侧分别与两组稳固架(18)的顶端连接,所述电动机(2)的底端与放置板(19)的顶端连接,所述电动机(2)的输出端与调节杆(20)的右端同心连接,所述调节杆(20)的内部设置有六边形伸缩腔,所述六边形伸缩腔的左端连通设置有伸缩口,所述六棱杆(21)的右端自调节杆(20)的左侧穿过伸缩口并且伸入至六边形伸缩腔内部,所述六棱杆(21)的右部区域与六边形伸缩腔滑动卡装,所述六棱杆(21)与伸缩环(22)滑动卡装,所述伸缩环(22)的外圆周侧壁的底端与固定杆(23)的顶端连接,所述固定杆(23)的底端与右支撑环的顶端连接,所述六棱杆(21)的左端与右连接杆(16)的右端同心连接,所述挂杆(24)的底端与左支撑环(5)的顶端连接,所述调节器(26)的顶端与横杆(25)的底端右侧连接,所述调节器(26)的内部设置有滑动腔,所述滑动腔的内端分别连通设置有滑动口,所述限位块(27)与滑动腔滑动卡装,所述控制杆(28)的左端自调节器(26)的内侧穿过滑动口并且伸入至滑动腔内部,所述控制杆(28)的左端与限位块(27)的右端中部区域连接,所述控制杆(28)的内部设置有调控腔,所述调控腔的右端连通设置有控制口,所述伸缩螺纹杆(30)的左端自控制杆(28)的右侧穿过控制口并且伸入至调控腔内部,所述伸缩螺纹杆(30)的左端设置有限位头,所述控制杆(28)的右端设置有环形转槽,所述控制环(29)的左端设置有环卡,所述环卡与环形卡槽转动卡装,所述控制环(29)的内圆周侧壁设置有内控制螺纹,所述控制环(29)与伸缩螺纹杆(30)螺装,所述伸缩螺纹杆(30)的右端与安装板(31)的左端中部区域连接,所述安装板(31)的右端与砂布(32)的左端连接。...

【技术特征摘要】
1.一种电力电子器件芯片研发用晶圆倒角辅助装置,包括操作台(1)、电动机(2)和晶圆片(3),所述操作台(1)的底端设置有四组支腿;其特征在于,还包括两组支撑架(4)、左支撑环(5)、右支撑环、左螺纹杆(6)、右螺纹杆(8)、连接环(7)、两组限位杆(9)、两组滑块(10)、限位板(11)、左调节环(12)、右调节环(13)、左带动杆(45)、右带动杆(14)、左连接杆(15)、右连接杆(16)和两组吸盘爪(17),所述两组支撑架(4)的底端分别与操作台(1)的顶端的左侧和中部连接,所述左支撑环(5)和右支撑环的底端分别与两组支撑架(4)的顶端连接,所述左螺纹杆(6)的左端自左支撑环(5)的右侧穿过螺纹环并且伸出至螺纹环的右端,所述左螺纹杆(6)的右端与连接环(7)的左端中部区域固定套装,所述右螺纹杆(8)的右端与右支撑环转动卡装,所述右螺纹杆(8)的左端与连接环(7)的右端的中心区域固定套装,所述左螺纹杆(6)的外圆周侧壁和右螺纹杆(8)的外圆周侧壁分别设置有两组纹路相反的螺纹,所述左调节环(12)和右调节环(13)分别与左螺纹杆(6)和右螺纹杆(8)螺装,所述限位板(11)的底端与操作台(1)的顶端左侧连接,所述限位板(11)的左部区域内部和右部区域的内部分别设置有两组滑动槽,所述两组滑块(10)分别与两组滑动槽滑动卡装,所述两组滑动槽的顶端分别设置有两组插入孔,所述两组限位杆(9)的底端分别自两组滑动槽的上侧穿过两组插入孔并且分别伸入至两组滑动槽的内部,所述两组限位杆(9)的底端分别与两组滑块(10)的顶端中部区域连接,所述两组限位杆(9)的顶端分别与左调节环(12)的底端和右调节环(13)的底端连接,所述左带动杆(45)和右带动杆(14)的底端分别与左调节环(12)和右调节环(13)的顶端连接,所述左连接杆(15)的左端与左带动杆(45)的右端上侧连接,所述右带动杆(14)的上部区域设置有滚珠轴承,所述右连接杆(16)的右端自右带动杆(14)的左侧穿过滚珠轴承并且伸出至右带动杆(14)的右侧,所述右连接杆(16)的外圆周侧壁与滚珠轴承的内圆周侧壁固定卡装,所述左连接杆(15)和右连接杆(16)的内端分别与两组吸盘爪(17)的外端中部区域连接,所述两组吸盘爪(17)的内端分别与晶圆片(3)的左端和右端中心区域紧贴;还包括两组稳固架(18)、放置板(19)、调节杆(20)、六棱杆(21)、伸缩环(22)、固定杆(23)、挂杆(24)、横杆(25)、调节器(26)、限位块(27)、控制杆(28)、控制环(29)、伸缩螺纹杆(30)、安装板(31)和砂布(32),所述两组稳固架(18)的底端均与操作台(1)的顶端右侧连接,所述放置板(19)的底端的左侧和右侧分别与两组稳固架(18)的顶端连接,所述电动机(2)的底端与放置板(19)的顶端连接,所述电动机(2)的输出端与调节杆(20)的右端同心连接,所述调节杆(20)的内部设置有六边形伸缩腔,所述六边形伸缩腔的左端连通设置有伸缩口,所述六棱杆(21)的右端自调节杆(20)的左侧穿过伸缩口并且伸入至六边形伸缩腔内部,所述六棱杆(21)的右部区域与六边形伸缩腔滑动卡装,所述六棱杆(21)与伸缩环(22)滑动卡装,所述伸缩环(22)的外圆周侧壁的底端与固定杆(23)的顶端连接,所述固定杆(23)的底端与右支撑环的顶端连接,所述六棱杆(21)的左端与右连接杆(16)的右端同心连接,所述挂杆(24)的底端与左支撑环(5)的顶端连接,所述调节器...

【专利技术属性】
技术研发人员:王昌华
申请(专利权)人:盐城盈信通科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1