脉冲交流放电电路和脉冲交流放电装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种脉冲交流放电电路和脉冲交流放电装置。该脉冲交流放电电路包括：高压放电模块的多个第二控制信号输入端与多个控制信号输出端一一对应电连接；高压放电模块用于根据多个第二控制信号输入端输入的控制信号，在第一放电电压输出端和第二放电电压输出端输出极性相反的电压；间隔排布的第一放电极组和第二放电极组，第一放电极组与第一放电电压输出端电连接，第二放电极组与第二放电电压输出端电连接。本实用新型专利技术能够降低消电距离较近时和在输出频率降低时，降低平衡电压波动，提升了脉冲交流放电装置的性能，有利于其在电子行业的应用。

Pulse AC Discharge Circuit and Pulse AC Discharge Device

【技术实现步骤摘要】
脉冲交流放电电路和脉冲交流放电装置
本技术实施例涉及静电
，尤其涉及一种脉冲交流放电电路和脉冲交流放电装置。
技术介绍
静电消除技术在半导体等电子行业、喷涂、印刷、纺织、医药设备、建材和注塑等行业正在得到日益广泛的应用。在现有技术中，脉冲交流放电装置可实现同一种(或一排)电极针上，在同一时刻(或上半周期)输出同种极性的离子，在下一时刻(或下半周期)输出与上一时刻(或上半周期)相反极性的同极性离子。然而，现有的脉冲交流放电装置存在在距离电极针较近空间内的正负离子的平衡电压波动剧烈，以及在低频率工作状态下正负离子的平衡电压波动剧烈的问题，导致了现有的脉冲交流放电装置会对静电敏感性器件(例如，超大规模集成电路，特别是金属氧化膜半导体(MOS)器件，如微控制器、单片机、光电耦合器等)产生较严重的静电放电事故，不利于其在电子行业的应用。
技术实现思路
本技术提供一种脉冲交流放电电路和脉冲交流放电装置，以降低正负离子的平衡电压波动，提升脉冲交流放电装置的性能。第一方面，本技术实施例提供了一种脉冲交流放电电路，该脉冲交流放电电路包括：高压幅值输出控制模块，包括电源输入端、第一高压输出端和第二高压输出端，所述电源输入端与供电电源电连接；控制模块，包括第一控制信号输入端和多个控制信号输出端，所述第一控制信号输入端与控制输入模块电连接；高压放电模块，包括多个第二控制信号输入端、第一高压输入端、第二高压输入端、第一放电电压输出端和第二放电电压输出端，所述多个第二控制信号输入端与所述多个控制信号输出端一一对应电连接，所述第一高压输入端与所述第一高压输出端电连接，所述第二高压输入端与所述第二高压输出端电连接；所述高压放电模块用于根据所述多个第二控制信号输入端输入的控制信号，在所述第一放电电压输出端和第二放电电压输出端输出极性相反的电压；间隔排布的第一放电极组和第二放电极组，所述第一放电极组与所述第一放电电压输出端电连接，所述第二放电极组与所述第二放电电压输出端电连接。第二方面，本技术实施例还提供了一种脉冲交流放电装置，该脉冲交流放电装置包括如本技术任意实施例所述的脉冲交流放电电路。本技术实施例通过设置第一放电极组和第二放电极组间隔排布，高压放电模块设置第一放电电压输出端和第二放电电压输出端，第一放电极组与第一放电电压输出端电连接，第二放电极组与第二放电电压输出端电连接，第一放电电压输出端和第二放电电压输出端输出极性相反的电压。与现有技术相比，本技术实施例可以在脉冲交流放电电路的放电极组同时输出正离子和负离子，均衡靠近放电极组的空间内的正、负离子的数量，不仅能够降低消电距离较近时的平衡电压波动，而且能够在输出频率降低时，降低平衡电压波动，从而提升了脉冲交流放电装置的性能，有利于其在电子行业的应用。附图说明图1为现有的一种脉冲交流放电电路的正负离子分布示意图；图2为现有的一种脉冲交流放电电路输出电压的波形图；图3为现有的一种脉冲交流放电电路的平衡电压波动的波形图；图4为现有的另一种脉冲交流放电电路的正负离子分布示意图；图5为现有的另一种脉冲交流放电电路输出电压的波形图；图6为现有的另一种脉冲交流放电电路的平衡电压波动的波形图；图7为现有的又一种脉冲交流放电电路输出电压的波形图；图8为现有的又一种脉冲交流放电电路的平衡电压波动的波形图；图9为现有的又一种脉冲交流放电电路的正负离子分布示意图；图10为现有的又一种脉冲交流放电电路输出电压的波形图；图11为现有的又一种脉冲交流放电电路的平衡电压波动的波形图；图12为现有的又一种脉冲交流放电电路的正负离子分布示意图；图13为本技术实施例提供的一种脉冲交流放电电路的结构示意图；图14为本技术实施例提供的一种脉冲交流放电电路的正负离子分布示意图；图15为本技术实施例提供的另一种脉冲交流放电电路的正负离子分布示意图；图16为本技术实施例提供的另一种脉冲交流放电电路的结构示意图；图17为本技术实施例提供的又一种脉冲交流放电电路的结构示意图；图18为本技术实施例提供的一种第一放电极组输出电压的波形图；图19为本技术实施例提供的一种第二放电极组输出电压的波形图；图20为本技术实施例提供的一种高压放电模块的电路结构示意图；图21为本技术实施例提供的另一种高压放电模块的电路结构示意图；图22为本技术实施例提供的一种脉冲交流放电电路的控制方法的流程示意图；图23为本技术实施例提供的另一种脉冲交流放电电路的控制方法的流程示意图；图24为本技术实施例提供的又一种脉冲交流放电电路的控制方法的流程示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。正如
技术介绍
所述，现有的脉冲交流放电装置存在在距离电极针较近空间内的正负离子的平衡电压波动剧烈，以及在低频率工作状态下正负离子的平衡电压波动剧烈的问题。下面就现有技术中存在上述技术问题的原因进行分析研究。图1为现有的一种脉冲交流放电电路的正负离子分布示意图。参见图1，该脉冲交流放电电路的同一排电极针上，在同一时刻均输出负离子；在下一时刻输出正离子。即同一排电极针上，同相位交替输出正负离子。图2为现有的一种脉冲交流放电电路输出电压的波形图，图3为现有的一种脉冲交流放电电路的平衡电压波动的波形图，图4为现有的另一种脉冲交流放电电路的正负离子分布示意图，图5为现有的另一种脉冲交流放电电路输出电压的波形图，图6为现有的另一种脉冲交流放电电路的平衡电压波动的波形图。参见图1-图3，脉冲交流放电电路的输出电压的频率较高，平衡电压波动较小，然而当消电距离较近时，平衡电压波动较大；参见图4-图6，脉冲交流放电装置的输出电压的频率较低，平衡电压波动较大。原因在于，现有的交流放电电路在同一时刻，只有一种极性的离子在输出(正离子或负离子)，从而导致离子形成的电压波动较大。尤其是在放电频率降低后，放电周期延长，上半周期内会有更多的正离子(或负离子)输出，下半周期将有更多的负离子(或正离子)输出。每半个周期输出相同极性的离子，导致在这个长周期内，离子形成的电压波动剧烈。图7为现有的又一种脉冲交流放电电路输出电压的波形图，图8为现有的又一种脉冲交流放电电路的平衡电压波动的波形图，图9为现有的又一种脉冲交流放电电路的正负离子分布示意图。参见图7-图9，定义占空比为上半周期的时间与周期的比值，即占空比duty＝Tp/(Tp+Tn)。示例性地，当占空比变大，在同一周期内，正高压作用时间变长，正离子输出多于负离子，离子形成的电压波动更加剧烈。图10为现有的又一种脉冲交流放电电路输出电压的波形图，图11为现有的又一种脉冲交流放电电路的平衡电压波动的波形图，图12为现有的又一种脉冲交流放电电路的正负离子分布示意图。参见图10-图12，示例性地，当占空比变小，在同一周期内，负高压作用时间变长，负离子输出多于正离子，离子形成的电压波动更加剧烈。因此，现有的脉冲交流放电装置存在在距离电极针较近空间内(即消电距离较近时)的正负离子的平衡电压本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种脉冲交流放电电路，其特征在于，包括：高压幅值输出控制模块，包括电源输入端、第一高压输出端和第二高压输出端，所述电源输入端与供电电源电连接；控制模块，包括第一控制信号输入端和多个控制信号输出端，所述第一控制信号输入端与控制输入模块电连接；高压放电模块，包括多个第二控制信号输入端、第一高压输入端、第二高压输入端、第一放电电压输出端和第二放电电压输出端，所述多个第二控制信号输入端与所述多个控制信号输出端一一对应电连接，所述第一高压输入端与所述第一高压输出端电连接，所述第二高压输入端与所述第二高压输出端电连接；所述高压放电模块用于根据所述多个第二控制信号输入端输入的控制信号，在所述第一放电电压输出端和第二放电电压输出端输出极性相反的电压；间隔排布的第一放电极组和第二放电极组，所述第一放电极组与所述第一放电电压输出端电连接，所述第二放电极组与所述第二放电电压输出端电连接。

【技术特征摘要】
1.一种脉冲交流放电电路，其特征在于，包括：高压幅值输出控制模块，包括电源输入端、第一高压输出端和第二高压输出端，所述电源输入端与供电电源电连接；控制模块，包括第一控制信号输入端和多个控制信号输出端，所述第一控制信号输入端与控制输入模块电连接；高压放电模块，包括多个第二控制信号输入端、第一高压输入端、第二高压输入端、第一放电电压输出端和第二放电电压输出端，所述多个第二控制信号输入端与所述多个控制信号输出端一一对应电连接，所述第一高压输入端与所述第一高压输出端电连接，所述第二高压输入端与所述第二高压输出端电连接；所述高压放电模块用于根据所述多个第二控制信号输入端输入的控制信号，在所述第一放电电压输出端和第二放电电压输出端输出极性相反的电压；间隔排布的第一放电极组和第二放电极组，所述第一放电极组与所述第一放电电压输出端电连接，所述第二放电极组与所述第二放电电压输出端电连接。2.根据权利要求1所述的脉冲交流放电电路，其特征在于，所述高压放电模块包括：第一开关，所述第一开关的控制端与对应的所述第二控制信号输入端电连接，第一端与所述第一高压输入端电连接；第一正电压高压单元，所述第一正电压高压单元的输入端与所述第一开关的第二端电连接；第二开关，所述第二开关的控制端与对应的所述第二控制信号输入端电连接，第一端与所述第二高压输入端电连接；第一负电压高压单元，所述第一负电压高压单元输入端与所述第二开关的第二端电连接；第三开关，所述第三开关的控制端与对应的所述第二控制信号输入端电连接，第一端与所述第一高压输入端电连接；第二正电压高压单元，所述第二正电压高压单元的输入端与所述第三开关的第二端电连接；第四开关，所述第四开关的控制端与对应的所述第二控制信号输入端电连接，第一端与所述第二高压输入端电连接；第二负电压高压单元，所述第二负电压高压单元输入端与所述第四开关的第二端电连接；其中，所述第一正电压高压单元的输出端和所述第一负电压高压单元的输出端均与所述第一放电电压输出端电连接，所述第二正电压高压单元的输出端和所述第二负电压高压单元的输出端均与所述第二放电电压输出端电连接；或者，所述第一正电压高压单元的输出端和所述第二负电压高压单元的输出端均与所述第一放电电压输出端电连接，所述第一负电压高压单元的输出端和所述第二正电压高压单元的输出端均与所述第二放电电压输出端电连接。3.根据权利要求2所述的脉冲交流放电电路，其特征在于，所述第一正电压高压单元包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙卫星，李鹏，杨庆瑞，
申请(专利权)人：上海安平静电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31