【技术实现步骤摘要】
一种霍尔离子源维持极电压可控装置
本技术涉及电压控制
,更具体地说,涉及一种霍尔离子源维持极电压可控装置。
技术介绍
霍尔离子源中和器向离子源引出的离子束发射电子,使束电流和束电荷得到中和的离子发射部件。离子源栅极引出的是带正电的离子束。为了避免靶材或加工表面积累电荷,需要中和离子束电流;为了减少离子束中的空间电荷,以继续引出离子,减小羽流扩散角,需要中和离子束电荷。为此,需要在放电室和栅极外边设置中和器,向离子束发射与束电流等量的电子流。传统中和器靠加热灯丝产生自由电子。由于灯丝寿命短,一般只有不到10小时的连续工作间。而使用射频技术驱动的离子源中和器寿命可以大大延长到上1000小时,是一种效率极高的离子源中和器系统。维持极是霍尔离子源不可或缺一部分,用以维持霍尔离子源的运作。而霍尔离子源维持极属于宽动态负载特性,需要两组不同电压的电源来保证稳定工作,两组电源工作方式、输出时序,现有的电源都无法满足。因此需要设计一种电源来解决以下问题。现有单电源无法适应霍尔离子源维持极所需的负载瞬变供电需求,存在以下问题:气体击穿后负载呈低阻,高压电源处于重载状态此时转换效率非常低,纹波电压高,输出不稳定,长时间持续工作电源容易损坏。
技术实现思路
有鉴于此,本技术提供了一种霍尔离子源维持极电压可控装置,以解决现有技术现有电源无法适应霍尔离子源维持极击穿气体后,电源输出不稳定的缺陷。为实现上述目的,本技术提供了如下技术方案:一种霍尔离子源维持极电压可控装置,包括有耦合变压器、升压模块、整流模块、滤波模块、控制模块以及隔离输出模块;所述耦合变压器的输入端与电网输出端电性连接 ...
【技术保护点】
1.一种霍尔离子源维持极电压可控装置,其特征在于,包括有耦合变压器、升压模块、整流模块、滤波模块、控制模块以及隔离输出模块;所述耦合变压器的输入端与电网输出端电性连接,所述耦合变压器的第一输出端与所述升压模块的输入端电性连接,用于将电网与升压模块隔离,所述耦合变压器的第二输出端与所述整流模块的输入端电性连接,用于将电网与整流模块隔离;所述升压模块的第一输出端与所述滤波模块的第一输入端电性连接,用于对电压进行整流升压处理,并将整流升压后的电压流经滤波模块进行滤波处理;所述升压模块的第二输出端与隔离输出模块的第一输入端电性连接;所述升压模块的第三输出端与控制模块的第一输入端电性连接,用于对电压进行整流升压处理,并将整流升压后的电压流经控制模块进行电压检测与监控;所述整流模块的输出端与所述滤波模块的第二输入端电性连接,用于对电压进行整流处理,并将整流后的电压流经滤波模块进行滤波处理;所述滤波模块的输出端与所述控制模块的第二输入端电性连接,用于将滤波后的电压流经控制模块进行电压检测与监控;所述控制模块的输出端与所述隔离输出模块的第二输入端电性连接,用于控制隔离输出模块的输出电压;所述隔离输出模 ...
【技术特征摘要】
1.一种霍尔离子源维持极电压可控装置,其特征在于,包括有耦合变压器、升压模块、整流模块、滤波模块、控制模块以及隔离输出模块;所述耦合变压器的输入端与电网输出端电性连接,所述耦合变压器的第一输出端与所述升压模块的输入端电性连接,用于将电网与升压模块隔离,所述耦合变压器的第二输出端与所述整流模块的输入端电性连接,用于将电网与整流模块隔离;所述升压模块的第一输出端与所述滤波模块的第一输入端电性连接,用于对电压进行整流升压处理,并将整流升压后的电压流经滤波模块进行滤波处理;所述升压模块的第二输出端与隔离输出模块的第一输入端电性连接;所述升压模块的第三输出端与控制模块的第一输入端电性连接,用于对电压进行整流升压处理,并将整流升压后的电压流经控制模块进行电压检测与监控;所述整流模块的输出端与所述滤波模块的第二输入端电性连接,用于对电压进行整流处理,并将整流后的电压流经滤波模块进行滤波处理;所述滤波模块的输出端与所述控制模块的第二输入端电性连接,用于将滤波后的电压流经控制模块进行电压检测与监控;所述控制模块的输出端与所述隔离输出模块的第二输入端电性连接,用于控制隔离输出模块的输出电压;所述隔离输出模块的输出端与外部维持极电源端电连接,用于为外部维持极提供工作电压并防止电流逆流损坏电路。2.根据权利要求1所述的一种霍尔离子源维持极电压可控装置,其特征在于,所述升压模块包括有二极管D1-D5以及电容C1-C4;其中,二极管D1的阳极与耦合变压器的第一输出端的正极电性连接,二极管D1的阴极依次首尾电性连接着二极管D2-D5,所述二极管D5的阴极第一支路与所述滤波模块的第一输入端电性连接,所述二极管D5的阴极第二支路与所述隔离输出模块的第一输入端电性连接;所述电容C2一端连接在二极管D1的阳极,所述电容C2另一端连接在二极管D3的阳极;所述电容C4一端连接在二极管D3的阳极,所述电容C4另一端连接在二极管D5的阳极;所述电容C1一端连接在二极管D2的阳极,所述电容C1另一端与耦合变压器的第一输出端的负极电性连接;所述电容C3一端连接在二极管D4的阳极,所述电容C3另一端的第一支路与耦合变压器的第一输出端的负极电性连接,所述电容C3另一端的第二支路与控制模块的...
【专利技术属性】
技术研发人员:曾文华,刘伟基,冀鸣,刘运鸿,
申请(专利权)人:中山市博顿光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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