机械手定位装置及半导体加工设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种机械手定位装置及半导体加工设备，该机械手定位装置包括机械手导向机构，所述机械手导向机构用于限制机械手在位于腔室外部的第一位置和位于腔室内部的第二位置之间作往复运动，该机械手定位装置还包括：限位结构，用于在所述机械手运动到所述第一位置时限定所述机械手的位置；或者在所述机械手离开所述第一位置时，解除对所述机械手的限定。通过本发明专利技术，提高了机械手的安全性。

Manipulator Positioning Device and Semiconductor Processing Equipment

【技术实现步骤摘要】
机械手定位装置及半导体加工设备
本专利技术涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种机械手定位装置及半导体加工设备。
技术介绍
目前，随着集成电路市场的高速发展，芯片产能扩大的需求一方面给设备商带来了新的市场机遇，另一方面也对设备商的技术能力提出了更高的要求。在半自动设备中，一般由机械手直接对工艺腔进行传片。一般设备开机后需要开启门阀，对机械手工位进行校准，以保证晶圆正确落到工艺位正上方，因为机械手工位正确是保证晶圆能够正常稳定工艺的基础，要避免晶圆因不稳定或晃动甚至掉片，对工艺产生影响。如图1所示为机械手控制结构示意图，该结构包括：反应腔室1’、门阀2’、自制机械手3’、把手4’、导轨5’、支撑体6’、导轨挡块7’，支撑体6’用于支撑导轨5’，导轨挡块7’用于限位自制机械手3’；在工作初始位置，即接触导轨挡块7’的位置，操作人员将晶圆放置在自制机械手3’上，开启门阀2’，握紧把手4’，拉动自制机械手3’在直线导轨5’上向反应腔室1’的方向运动，送至反应腔室1’内，以在反应腔室中，将晶圆放置在合适位置，然后沿之前相反的路径，将自制机械手3’退出，回到工作初始位置，关闭门阀2’，抽真空，进行工艺。上述机械手控制结构不合理，机械手在初始位置无法停住，很容易左右移动，因此晶圆不容易放置，容易掉落；进一步，由于机械手无法停住，当机械手在门阀附近时，在门阀开启或关闭时，容易与机械手发生碰撞，引发安全事故。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种机械手定位装置及半导体加工设备，以提高机械手的安全性。为实现本专利技术的目的而提供一种机械手定位装置，包括机械手导向机构，所述机械手导向机构用于限制机械手在伸入腔室外部的第一位置和位于腔室内部的第二位置之间作往复运动，还包括：限位结构，用于在所述机械手运动到所述第一位置时限定所述机械手的位置；或者在所述机械手离开所述第一位置时，解除对所述机械手的限定。优选地，所述限位结构包括限位件和限位凹槽，所述限位件在所述机械手运动时相对于所述机械手固定不动，所述限位凹槽设置在所述机械手上，或者，所述限位件设置在所述机械手上，所述限位凹槽在所述机械手运动时相对于所述机械手固定不动；所述限位件是可伸缩的，且能够在所述机械手运动到所述第一位置时伸入所述限位凹槽；或者在所述机械手离开所述第一位置时，移出所述限位凹槽。优选地，所述限位件包括弹簧柱，所述弹簧柱的一端设置有半球体；所述限位凹槽的内表面为与所述半球体的球面相配合的半球凹面。优选地，所述限位件固定安装在所述机械手导向机构上。优选地，所述限位结构还包括：连接件，所述连接件与所述机械手导向机构螺纹连接，且在所述连接件上设置有中空部，所述弹簧柱可伸缩的设置在所述中空部中。优选地，所述连接件包括螺柱和螺母；在所述机械手导向机构上设置有螺纹孔，所述螺柱与所述螺纹孔螺纹连接，所述螺母套设在所述螺柱上，且与所述螺柱相配合，并且所述螺母固定在所述机械导向机构上。优选地，所述限位件位于所述机械手的下方，所述限位凹槽设置在所述机械手的底部；或者，所述限位凹槽位于所述机械手的下方，所述限位件设置在所述机械手的底部。优选地，所述机械手导向机构包括：滑轨、滑块以及挡块；所述滑块在所述滑轨上滑动，所述挡块设置在所述滑轨上，用于在所述机械手运动到所述第一位置时阻挡所述滑块继续移动；所述机械手与所述滑块固定连接。优选地，所述限位结构包括限位件和限位凹槽，所述限位件固定安装在所述挡块上；所述限位凹槽设置在所述机械手的底部。一种半导体加工设备，包括：机械手、腔室，还包括：本申请中所述的机械手定位装置，所述机械手设置在所述机械手定位装置上，所述腔室位于所述机械手定位装置的一侧，所述机械手通过所述机械手定位装置向所述腔室传输晶片。本专利技术具有以下有益效果：本专利技术提供的机械手定位装置及半导体加工设备，包括：机械手导向机构与限位结构，机械手导向机构用于限制机械手在腔室外部的第一位置和伸入腔室内部的第二位置之间作往复运动；限位机构用于在机械手运动到第一位置时限定机械手的位置；或在机械手离开第一位置时，解除对机械手的限定。本专利技术中，限位机构将机械手限定在第一位置，可以保证在机械手上平稳放置晶圆；进一步，可以使机械手在开关腔室门阀时，不与门阀发生干涉，大大提高了机械手的安全性。附图说明图1为现有技术中机械手控制结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的机械手定位装置的一种结构示意图；图3为本专利技术实施例中限位结构的一种结构示意图；图4为本专利技术实施例中限位结构的另一种结构示意图。具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本专利技术的技术方案，下面结合附图来对本专利技术提供的机械手定位装置及半导体加工设备进行详细描述。如图2所示为本专利技术实施例提供的机械手定位装置的一种结构示意图，本专利技术实施例中，机械手定位装置包括：机械手导向机构1，机械手导向机构用于限制机械手2在位于腔室3外部的第一位置和伸入腔室内部的第二位置之间作往复运动；还包括：限位结构4，限位结构4用于在机械手运动到第一位置时限定机械手2的位置，或者在机械手2离开第一位置时，解除对机械手2的限定。具体地，第一位置为机械手在腔室外部可以运动到的最大位置，第一位置可由机械手导向机构的行程确定；而第二位置为机械手可以伸入到腔室内部指定区域的位置，进一步，第二位置可由晶圆的放置位置确定。本专利技术实施例提供的机械手定位装置，包括：机械手导向机构与限位结构，机械手导向机构用于限制机械手在腔室外部的第一位置和伸入腔室内部的第二位置之间作往复运动；限位机构用于在机械手运动到第一位置时限定机械手的位置；或在机械手离开第一位置时，解除对机械手的限定。本专利技术中，限位机构将机械手限定在第一位置，可以保证在机械手上平稳放置晶圆；进一步，可以使机械手在开关腔室门阀时，不与门阀发生干涉，大大提高了机械手的安全性。具体地，机械手导向机构1包括：滑轨11、滑块12以及挡块13。滑块12在滑轨11上滑动，挡块13设置在滑轨11上，用于在机械手2运动到第一位置时阻挡滑块12继续移动；机械手2与滑块12固定连接。进一步，机械手导向机构1还可以包括：把手14。操作人员通过操作把手14可以控制机械手在腔室外部的第一位置和位于腔室内部的第二位置之间作往复运动。本专利技术实施例提供机械手导向机构，实现容易，操作简单。具体地，如图3所示，限位结构4包括限位件41和限位凹槽42，限位件41在机械手2运动时相对于机械手2固定不动，限位凹槽42设置在机械手2上。限位件41是可伸缩的，且能够在机械手2运动到第一位置时伸入限位凹槽42；或者在机械手2离开第一位置时，移出限位凹槽42。进一步，本专利技术实施例中，限位件41可以固定安装在机械手导向机构1上，比如，限位件41固定安装在挡块13上。本专利技术实施例提供的机械手定位装置，限位件为可伸缩的，便于实现限位结构对机械手的位置限定；进一步，限位件在机械手运动时相对于机械手固定不动，限位凹槽设置在机械手上，使限位结构实现形式多样化。在本专利技术另一个实施例中，限位件41设置在机械手2上，限位凹槽42在机械手2运动时相对于机械手2固定不动；限位件41是可伸缩的，且能够在机械手2运动到第一位置时伸入限位凹槽42；或者在机械手2离开第一位置时，移出限位凹本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种机械手定位装置，包括机械手导向机构，所述机械手导向机构用于限制机械手在位于腔室外部的第一位置和伸入腔室内部的第二位置之间作往复运动，其特征在于，还包括：限位结构，用于在所述机械手运动到所述第一位置时限定所述机械手的位置；或者在所述机械手离开所述第一位置时，解除对所述机械手的限定。

【技术特征摘要】
1.一种机械手定位装置，包括机械手导向机构，所述机械手导向机构用于限制机械手在位于腔室外部的第一位置和伸入腔室内部的第二位置之间作往复运动，其特征在于，还包括：限位结构，用于在所述机械手运动到所述第一位置时限定所述机械手的位置；或者在所述机械手离开所述第一位置时，解除对所述机械手的限定。2.根据权利要求1所述的机械手定位装置，其特征在于，所述限位结构包括限位件和限位凹槽，所述限位件在所述机械手运动时相对于所述机械手固定不动，所述限位凹槽设置在所述机械手上，或者，所述限位件设置在所述机械手上，所述限位凹槽在所述机械手运动时相对于所述机械手固定不动；所述限位件是可伸缩的，且能够在所述机械手运动到所述第一位置时伸入所述限位凹槽；或者在所述机械手离开所述第一位置时，移出所述限位凹槽。3.根据权利要求2所述的机械手定位装置，其特征在于，所述限位件包括弹簧柱，所述弹簧柱的一端设置有半球体；所述限位凹槽的内表面为与所述半球体的球面相配合的半球凹面。4.根据权利要求2所述的机械手定位装置，其特征在于，所述限位件固定安装在所述机械手导向机构上。5.根据权利要求3所述的机械手定位装置，其特征在于，所述限位结构还包括：连接件，所述连接件与所述机械手导向机构螺纹连接，且在所述连接件上设置有中空部，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：申爱科，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11