【技术实现步骤摘要】
一种用于硅片贴片机的冷却装置
本技术涉及硅片贴片机
，特别是涉及一种用于硅片贴片机的冷却装置。
技术介绍
硅片贴片是在硅片加工过程中必不可少的程序，目前主要人工借助定制的工装夹具手工操作工作效率低，贴片速度慢，贴片质量不稳定，影响产品质量及企业发展。在贴片过程中，其中一个工序是将硅片和陶瓷盘进行冷却，目前没有这类能自动冷却的装置，导致生产效率较低。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种用于硅片贴片机的冷却装置，结构简单，使用方便，自动化程度较高。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种用于硅片贴片机的冷却装置，包括工作台、下冷却盘和上冷却盘，所述的工作台上端中部安装有升降气缸，该升降气缸上端的活塞杆与下冷却盘相连，所述的工作台上端位于升降气缸的两侧均竖直安装有直线轴承，该直线轴承内安装有上下滑动的导向轴，所述的导向轴的上端与下冷却盘的下端一侧固定，所述的工作台位于下冷却盘的上方水平布置有横梁，该横梁上安装有上冷却盘基板，所述的上冷却盘基板的两侧均竖直安装有吊柱套，每个吊柱套内安装有上下浮动的吊柱，所述的吊柱的下端与上冷却盘相连。作为对本技术所述的技术方案的一种补充，所述的下冷却盘下端安装有下冷却盘背板，该下冷却盘背板与导向轴和升降气缸的活塞杆相连。作为对本技术所述的技术方案的一种补充，所述的上冷却盘上端安装有上冷却盘背板，该上冷却盘背板与吊柱相连。作为对本技术所述的技术方案的一种补充，所述的下冷却盘和上冷却盘均呈圆盘状，且内部设置有呈蚊香状结构的冷却管路。作为对本技术所述的技术方案的一种补充，所述的工作台的下部设置有储藏柜。有益效果：...
【技术保护点】
1.一种用于硅片贴片机的冷却装置，包括工作台(1)、下冷却盘(4)和上冷却盘(5)，其特征在于：所述的工作台(1)上端中部安装有升降气缸(11)，该升降气缸(11)上端的活塞杆与下冷却盘(4)相连，所述的工作台(1)上端位于升降气缸(11)的两侧均竖直安装有直线轴承(2)，该直线轴承(2)内安装有上下滑动的导向轴(10)，所述的导向轴(10)的上端与下冷却盘(4)的下端一侧固定，所述的工作台(1)位于下冷却盘(4)的上方水平布置有横梁(14)，该横梁(14)上安装有上冷却盘基板(8)，所述的上冷却盘基板(8)的两侧均竖直安装有吊柱套(9)，每个吊柱套(9)内安装有上下浮动的吊柱(7)，所述的吊柱(7)的下端与上冷却盘(5)相连。
【技术特征摘要】
1.一种用于硅片贴片机的冷却装置，包括工作台(1)、下冷却盘(4)和上冷却盘(5)，其特征在于：所述的工作台(1)上端中部安装有升降气缸(11)，该升降气缸(11)上端的活塞杆与下冷却盘(4)相连，所述的工作台(1)上端位于升降气缸(11)的两侧均竖直安装有直线轴承(2)，该直线轴承(2)内安装有上下滑动的导向轴(10)，所述的导向轴(10)的上端与下冷却盘(4)的下端一侧固定，所述的工作台(1)位于下冷却盘(4)的上方水平布置有横梁(14)，该横梁(14)上安装有上冷却盘基板(8)，所述的上冷却盘基板(8)的两侧均竖直安装有吊柱套(9)，每个吊柱套(9)内安装有上下浮动的吊柱(7)，所述的吊柱(7)的下端与上冷却...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡晓光，徐继东，厉惠宏，
申请(专利权)人：金瑞泓科技衢州有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33
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