显影装置制造方法及图纸

技术编号:21893992 阅读:27 留言:0更新日期:2019-08-17 15:19
本实用新型专利技术实施例提供一种显影装置,该装置包括:第一贮液池,用于存储显影液;以及第二贮液池,其接收端口通过传输管路与所述第一贮液池的输出端口连接,用于接收输送的显影液并浸泡设置在所述第二贮液池内的待显影基板;其中,所述输送管路内包括第一电磁阀、第一动力单元,所述第一动力单元用于在得电后将所述第一贮液池内的显影液泵送至所述第二贮液池中。该装置通过采用浸泡式的显影方式直接在贮液池中完成待显影基板与显影液的直接接触。避免了通过喷嘴喷洒因喷洒布局导致产品品质异常的问题。

Developer

【技术实现步骤摘要】
显影装置
本技术涉及显影技术,具体地涉及一种显影装置。
技术介绍
TFT-LCD彩膜工艺中主要流程有涂布、曝光、显影、烘烤、检查,其中显影工艺是将涂布后为曝光的光阻与显影液发生化学反应去除掉,留下曝光的部分,从而形成所设计的图像。目前的显影装置一般采用喷淋式,显影液在压力泵的作用下从贮液池经过管路和喷嘴喷洒到玻璃基板上,如图1所示,通过贮液池101的接收端口的动力单元108将外部提供的显影液102泵送至贮液池101进行存储,贮液池101输出端的动力单元泵送(未在附图中示出)显影液102通过喷嘴105将显影液102喷洒至待显影基板106上。其中通过喷嘴105喷洒显影液102容易造成显影液102的浪费以及因喷嘴105喷洒不均引起产品品质异常。
技术实现思路
本技术实施例的目的是提供一种显影装置,该装置通过采用浸泡式的显影方式直接在贮液池中完成待显影基板与显影液的直接接触。避免了通过喷嘴喷洒因喷洒布局导致产品品质异常的问题。为了实现上述目的,本技术实施例提供一种显影装置,该装置包括:第一贮液池,用于存储显影液;以及第二贮液池,其接收端口通过传输管路与所述第一贮液池的输出端口连接,用于接收从所述第一贮液池输送的显影液并利用该显影液浸泡设置在所述第二贮液池内的待显影基板;其中,所述输送管路内包括第一电磁阀、第一动力单元,所述第一动力单元用于在得电后将所述第一贮液池内的显影液泵送至所述第二贮液池中。可选的,所述第二贮液池的回流端口通过回流管路与所述第一贮液池的回收端口连接;其中所述回流管路内包括第二电磁阀、第二动力单元,所述第二动力单元用于在得电后将所述第二贮液池内的显影液泵送至第一贮液池中。可选的,该装置还包括:过滤器,分别设置在所述传输管路及所述回流管路内。可选的,所述第二贮液池还包括:过滤网,设置在所述第二贮液池内,用于承载所述待显影基板,并过滤浸泡作业后产生的杂质。可选的,所述第一贮液池还包括:接收管路,通过所述第一贮液池的接收端口与所述第一贮液池连接;所述接收管路中包括第三电磁阀、第三动力单元,所述第三动力单元用于将外部提供的补充显影液泵送至所述第一贮液池内。通过上述技术方案,第一贮液池通过第一动力单元将存储的显影液泵送至第二贮液池,并浸泡设置在所述第二贮液池内的待显影基板。通过采用浸泡式的显影方式直接在贮液池中完成待显影基板与显影液的直接接触,避免了通过喷嘴喷洒因喷洒布局导致产品品质异常的问题。本技术实施例的其它特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。附图说明附图是用来提供对本技术实施例的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与下面的具体实施方式一起用于解释本技术实施例,但并不构成对本技术实施例的限制。在附图中:图1是现有技术中显影装置的结构示意图;图2是本使用新型实施例提供的一种显影装置的结构示意图。附图标记说明101贮液池104过滤器105喷嘴106待显影基板107接收端口电磁阀108接收端口动力单元201第一贮液池202第一电磁阀203第一过滤器204第二贮液池205第二电磁阀206第二过滤器207过滤网208第三电磁阀209第三动力单元具体实施方式以下结合附图对本技术实施例的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是,此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本技术实施例,并不用于限制本技术实施例。在本技术实施例中,在未作相反说明的情况下,使用的方位词如“上、下、左、右”、“内、外”、“远、近”是指参考附图的方向,因此,使用方向用语是用来说明并非来限制本技术。图2示出了本使用新型实施例提供的一种显影装置的结构示意图,如图2所示,该显影装置可以包括第一贮液池201及第二贮液池204。其中,第一贮液池201的输出端口通过传输管路与第二贮液池204的接收端口连接。该传输管路中还可以包括第一贮液池的第一电磁阀202和第一动力单元(未在附图中示出),该第一动力单元设置在第一电磁阀202旁。该第一电磁阀202处于常闭状态,在第一动力单元得电时或得电前设定时间内控制第一电磁阀202打开,该第一动力单元在得电后将第一贮液池201中存储的显影液102泵送至第二贮液池204。该第二贮液池204接收显影液102开始浸泡设置在第二贮液池204中的待显影基板106。在设置在第二贮液池204中的待显影基板106完成浸泡后,可以将第二贮液池204中的显影液102反送回第一贮液池201。第二贮液池204还包括回流端口,第二贮液池204的回流端口通过回流管路与第一贮液池201的回收端口连接。该回流管路中可以包括第二电磁阀205和第二动力单元,该第二动力单元设置在第二电磁阀205旁,该第二电磁阀205同样处于常闭状态,在第二动力单元得电时或得电前设定时间内控制第二电磁阀205打开,该第二动力单元将第二贮液池204中的显影液102回送至第一贮液池201中,完成显影液102的回收。第二贮液池204中还可以包括过滤网207,可以承载放置在第二贮液池204中的待显影基板106,例如彩膜显影玻璃,将该彩膜显影玻璃放置在过滤网上207,显影液102进入第二贮液池204完成浸泡,该过滤网207还可以过滤彩膜显影玻璃上脱落的杂质,提高回收的显影液102的质量。在第一贮液池201与第二贮液池204相互连接的传输管道及回流管道中还可以包括过滤器,该包括过滤器包括设置在传输管道中的第一过滤器203以及设置在回流管道中的第二过滤器206,该过滤器用于过滤循环使用的显影液中的其他杂质,即过滤网未能完全过滤的杂质。在第一贮液池201中显影液不足时,可以将外部提供的显影液102通过第一贮液池201的接收端口补充至第一贮液池201中。其中,该第一贮液池201的接收端口还连接有接收管路,该接收管路中还可以包括第三电磁阀208及第三动力单元209。该第三电磁阀208处于常闭状态,在第三动力单元209得电前设定时间内或得电时打开,第三动力单元209在得电后将外部提供的显影液102泵送至第一贮液池201中。以上结合附图详细描述了本技术实施例的可选实施方式,但是,本技术实施例并不限于上述实施方式中的具体细节,在本技术实施例的技术构思范围内,可以对本技术实施例的技术方案进行多种简单变型,这些简单变型均属于本技术实施例的保护范围。另外需要说明的是,在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征,在不矛盾的情况下,可以通过任何合适的方式进行组合。为了避免不必要的重复,本技术实施例对各种可能的组合方式不再另行说明。本领域技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分步骤是可以通过程序来指令相关的硬件来完成,该程序存储在一个存储介质中,包括若干指令用以使得单片机、芯片或处理器(processor)执行本申请各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括:U盘、移动硬盘、只读存储器(ROM,Read-OnlyMemory)、随机存取存储器(RAM,RandomAccessMemory)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。此外,本技术实施例的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合,只要其不违背本技术实施例的思想,其同样应当视为本技术实施例所公开的内容。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显影装置,其特征在于,该装置包括:第一贮液池,用于存储显影液;传输管路;以及第二贮液池,其接收端口通过所述传输管路与所述第一贮液池的输出端口连接,用于接收从所述第一贮液池输送的显影液并利用该显影液浸泡设置在所述第二贮液池内的待显影基板;其中,所述传输管路内包括第一电磁阀、第一动力单元,所述第一动力单元用于在得电后将所述第一贮液池内的显影液泵送至所述第二贮液池中。

【技术特征摘要】
1.一种显影装置,其特征在于,该装置包括:第一贮液池,用于存储显影液;传输管路;以及第二贮液池,其接收端口通过所述传输管路与所述第一贮液池的输出端口连接,用于接收从所述第一贮液池输送的显影液并利用该显影液浸泡设置在所述第二贮液池内的待显影基板;其中,所述传输管路内包括第一电磁阀、第一动力单元,所述第一动力单元用于在得电后将所述第一贮液池内的显影液泵送至所述第二贮液池中。2.根据权利要求1所述的显影装置,其特征在于,所述第二贮液池的回流端口通过回流管路与所述第一贮液池的回收端口连接;其中所述回流管路内包括第二电磁阀、第二动力单元,所述第二动力单元用于在得电后...

【专利技术属性】
技术研发人员:史朋超汪杰
申请(专利权)人:东旭昆山显示材料有限公司东旭集团有限公司东旭科技集团有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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