一种PCB曝光机光源均匀性的光纤测量装置制造方法及图纸

技术编号:21893982 阅读:50 留言:0更新日期:2019-08-17 15:19
本实用新型专利技术公开了一种PCB曝光机光源均匀性的光纤测量装置,包括有曝光机光源、光纤探头、合束光纤及处理模块,曝光机光源下方装设有呈水平布置的曝光面,曝光面上端装设有至少9个光纤探头,且均匀分布于曝光面上端,光纤探头通过合束光纤连接有处理模块,处理模块设置有影像模组、滤光组、CCD探头及处理显示模块,滤光组设置于影像模组与CCD探头之间,CCD探头数据连接于处理显示模块。本实用新型专利技术具有设计新颖、结构简单,避免有源器件的干扰,且一次性读入所有测量点,提供更准确数据信息的优点。

An Optical Fiber Measuring Device for Light Source Uniformity of PCB Exposure Machine

【技术实现步骤摘要】
一种PCB曝光机光源均匀性的光纤测量装置
本技术涉及曝光机
,尤其涉及一种PCB曝光机光源均匀性的光纤测量装置。
技术介绍
传统PCB大台面曝光机通常采用高压汞灯的365nmi线曝光,所以光路系统需要i线滤光片,造成大量的能量浪费。其次汞灯需要很长的开启时间,且开启后不能关闭,在不曝光期间造成能量的进一步浪费。另外汞灯寿命短且存在炸灯的风险,导致传统光刻机存在维护成本高、能耗大等不足。而紫外发光二极管(UV-LED)作为新型照明光源,因其单色性好、寿命长、节能环保、即开即关等优点,更适合作为光刻光源。曝光光源的光学指标如辐照度、照度均匀性、平行半角等是保证曝光质量的关键,随着曝光分辨率的不断提高,对这些指标的要求亦越来越高。目前基于UV-LED设计的光源都需要采用阵列方式,这对UV-LED发光一致性及老化一致性提出了更高要求。为了节约成本,光源厂商设计了分模块的调节方式。然而目前测量均匀性的方法只能通过一个照度计单点一个个地测量,加重了人工成本及调节时间。
技术实现思路
本技术的目的在于针对现有技术的不足而提供一种PCB曝光机光源均匀性的光纤测量装置,该光纤测量装置设计新颖、结构简单,避免有源器件的干扰,且一次性读入所有测量点,提供更准确的数据信息。为达到上述目的,本技术通过以下技术方案来实现。一种PCB曝光机光源均匀性的光纤测量装置,包括有曝光机光源、光纤探头、合束光纤及处理模块,曝光机光源下方装设有呈水平布置的曝光面,曝光面上端装设有至少9个光纤探头,且均匀分布于曝光面上端,光纤探头通过合束光纤连接有处理模块,处理模块设置有影像模组、滤光组、CCD探头及处理显示模块,滤光组设置于影像模组与CCD探头之间,CCD探头数据连接于处理显示模块。其中,所述光纤探头包括有光纤阵列、水平气泡、调节螺丝及光纤接头,且通过调节螺丝调节所述光纤探头安装的水平度。其中,所述光纤接头通过所述合束光纤与所述影像模组连接。其中,所述滤光组包括有设置于所述影像模组与CCD探头之间的滤光片,滤光片设置于旋转盘上端,旋转盘连接有旋转电机。本技术的有益效果为:本技术所述的一种PCB曝光机光源均匀性的光纤测量装置,包括有曝光机光源、光纤探头、合束光纤及处理模块,曝光机光源下方装设有呈水平布置的曝光面,曝光面上端装设有至少9个光纤探头,且均匀分布于曝光面上端,光纤探头通过合束光纤连接有处理模块,处理模块设置有影像模组、滤光组、CCD探头及处理显示模块,滤光组设置于影像模组与CCD探头之间,CCD探头数据连接于处理显示模块。本技术采用光纤作为探头,光纤只是传递光能,避免了传统探头因远距离传输造成抗干扰能力差的问题,所有测量点的光纤汇集到一个影像模组,仅通过拍照的方式即可读出光源的均匀性;故本技术具有设计新颖、结构简单,避免有源器件的干扰,且一次性读入所有测量点,提供更准确数据信息的优点。附图说明下面利用附图来对本技术进行进一步的说明,但是附图中的实施例不构成对本技术的任何限制。图1为本技术的结构示意图;图2为本技术光纤探头的结构示意图;图3为本技术光纤探头另一视角的结构示意图;图4为本技术处理模块的结构示意图。具体实施方式下面结合具体的实施方式来对本技术进行说明。如图1-4所示,一种PCB曝光机光源均匀性的光纤测量装置,包括有曝光机光源1、光纤探头2、合束光纤3及处理模块4,曝光机光源1下方装设有呈水平布置的曝光面11,曝光面11上端装设有至少9个光纤探头2,且均匀分布于曝光面11上端,光纤探头2通过合束光纤3连接有处理模块4,处理模块4设置有影像模组41、滤光组42、CCD探头43及处理显示模块44,滤光组42设置于影像模组41与CCD探头43之间,CCD探头43数据连接于处理显示模块44。进一步的,如图2-3所示,所述光纤探头2包括有光纤阵列21、水平气泡22、调节螺丝23及光纤接头24,且通过调节螺丝23调节所述光纤探头2安装的水平度。进一步的,所述光纤接头24通过所述合束光纤3与所述影像模组41连接。进一步的,所述滤光组42包括有设置于所述影像模组41与CCD探头43之间的滤光片421,滤光片421设置于旋转盘422上端,旋转盘422连接有旋转电机423。需更进一步的解释,本技术通过光纤探头2收集曝光机光源1的光线,并由合束光纤3全部传至处理模块4的影像模组41重新排序,经滤光组42选择性地滤光后,通过镜头成像在CCD探头43上,像面呈强弱分布,经CCD探头43数据采集后传至处理显示模块44中,处理显示模块9对采集数据进行处理,给出光源均匀性数据;本技术采用光纤作为探头,光纤只是传递光能,避免了传统探头因远距离传输造成抗干扰能力差的问题,所有测量点的光纤汇集到一个影像模组,仅通过拍照的方式即可读出光源的均匀性;故本技术具有设计新颖、结构简单,避免有源器件的干扰,且一次性读入所有测量点,提供更准确数据信息的优点。以上内容仅为本技术的较佳实施例,对于本领域的普通技术人员,依据本技术的思想,在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处,本说明书内容不应理解为对本技术的限制。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种PCB曝光机光源均匀性的光纤测量装置,其特征在于:包括有曝光机光源(1)、光纤探头(2)、合束光纤(3)及处理模块(4),曝光机光源(1)下方装设有呈水平布置的曝光面(11),曝光面(11)上端装设有至少9个光纤探头(2),且均匀分布于曝光面(11)上端,光纤探头(2)通过合束光纤(3)连接有处理模块(4),处理模块(4)设置有影像模组(41)、滤光组(42)、CCD探头(43)及处理显示模块(44),滤光组(42)设置于影像模组(41)与CCD探头(43)之间,CCD探头(43)数据连接于处理显示模块(44)。

【技术特征摘要】
1.一种PCB曝光机光源均匀性的光纤测量装置,其特征在于:包括有曝光机光源(1)、光纤探头(2)、合束光纤(3)及处理模块(4),曝光机光源(1)下方装设有呈水平布置的曝光面(11),曝光面(11)上端装设有至少9个光纤探头(2),且均匀分布于曝光面(11)上端,光纤探头(2)通过合束光纤(3)连接有处理模块(4),处理模块(4)设置有影像模组(41)、滤光组(42)、CCD探头(43)及处理显示模块(44),滤光组(42)设置于影像模组(41)与CCD探头(43)之间,CCD探头(43)数据连接于处理显示模块(44)。2.根据权利要求1所述的一种PCB曝光机光源均匀性的光纤...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈振才
申请(专利权)人:东莞市多普光电设备有限公司
类型:新型
国别省市:广东,44

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