【技术实现步骤摘要】
一种PCB曝光机光源均匀性的光纤测量装置
本技术涉及曝光机
,尤其涉及一种PCB曝光机光源均匀性的光纤测量装置。
技术介绍
传统PCB大台面曝光机通常采用高压汞灯的365nmi线曝光,所以光路系统需要i线滤光片,造成大量的能量浪费。其次汞灯需要很长的开启时间,且开启后不能关闭,在不曝光期间造成能量的进一步浪费。另外汞灯寿命短且存在炸灯的风险,导致传统光刻机存在维护成本高、能耗大等不足。而紫外发光二极管(UV-LED)作为新型照明光源,因其单色性好、寿命长、节能环保、即开即关等优点,更适合作为光刻光源。曝光光源的光学指标如辐照度、照度均匀性、平行半角等是保证曝光质量的关键,随着曝光分辨率的不断提高,对这些指标的要求亦越来越高。目前基于UV-LED设计的光源都需要采用阵列方式,这对UV-LED发光一致性及老化一致性提出了更高要求。为了节约成本,光源厂商设计了分模块的调节方式。然而目前测量均匀性的方法只能通过一个照度计单点一个个地测量,加重了人工成本及调节时间。
技术实现思路
本技术的目的在于针对现有技术的不足而提供一种PCB曝光机光源均匀性的光纤测量装置,该光纤测量装置设计新颖、结构简单,避免有源器件的干扰,且一次性读入所有测量点,提供更准确的数据信息。为达到上述目的,本技术通过以下技术方案来实现。一种PCB曝光机光源均匀性的光纤测量装置,包括有曝光机光源、光纤探头、合束光纤及处理模块,曝光机光源下方装设有呈水平布置的曝光面,曝光面上端装设有至少9个光纤探头,且均匀分布于曝光面上端,光纤探头通过合束光纤连接有处理模块,处理模块设置有影像模组、滤光组、CCD探头及 ...
【技术保护点】
1.一种PCB曝光机光源均匀性的光纤测量装置,其特征在于:包括有曝光机光源(1)、光纤探头(2)、合束光纤(3)及处理模块(4),曝光机光源(1)下方装设有呈水平布置的曝光面(11),曝光面(11)上端装设有至少9个光纤探头(2),且均匀分布于曝光面(11)上端,光纤探头(2)通过合束光纤(3)连接有处理模块(4),处理模块(4)设置有影像模组(41)、滤光组(42)、CCD探头(43)及处理显示模块(44),滤光组(42)设置于影像模组(41)与CCD探头(43)之间,CCD探头(43)数据连接于处理显示模块(44)。
【技术特征摘要】
1.一种PCB曝光机光源均匀性的光纤测量装置,其特征在于:包括有曝光机光源(1)、光纤探头(2)、合束光纤(3)及处理模块(4),曝光机光源(1)下方装设有呈水平布置的曝光面(11),曝光面(11)上端装设有至少9个光纤探头(2),且均匀分布于曝光面(11)上端,光纤探头(2)通过合束光纤(3)连接有处理模块(4),处理模块(4)设置有影像模组(41)、滤光组(42)、CCD探头(43)及处理显示模块(44),滤光组(42)设置于影像模组(41)与CCD探头(43)之间,CCD探头(43)数据连接于处理显示模块(44)。2.根据权利要求1所述的一种PCB曝光机光源均匀性的光纤...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈振才,
申请(专利权)人:东莞市多普光电设备有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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