【技术实现步骤摘要】
一种半导体测试装置
本技术涉及一种半导体测试装置，属于半导体测试
技术介绍
半导体测试装置（椭偏仪）是一种用于探测半导体薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器；目前椭偏仪在进行使用时需要对起偏器与检偏器的位置进行调节，严重影响半导体的测试时间。为解决上述问题，特提供一种新的技术方案。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种半导体测试装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的本技术采用以下技术方案：一种半导体测试装置，包括机体和样品台，所述机体上设置有起偏器、检偏器、支撑脚、传动螺母、轴孔与调节螺丝，所述起偏器通过螺丝安装固定于机体上方左侧，所述检偏器通过螺丝安装固定于机体上方右侧，所述支撑脚通过螺纹连接于机体底部边角上，所述传动螺母通过轴承过盈连接于机体前端顶部中间，所述轴孔开设于机体前端顶部，且轴孔分布于传动螺母两侧，所述调节螺丝通过螺纹连接于机体前端顶部，且调节螺丝分布于轴孔两侧，所述样品台放置于起偏器与检偏器之间。优选的，所述样品台上设置有中吊耳与侧吊耳，所述中吊耳焊接于样品台底部中间，所述侧吊耳对称焊接于样品台底部两侧。优选的，所述中吊耳上通过转轴连接有传动螺杆，所述传动螺杆与传动螺母螺纹连接。优选的，所述侧吊耳上通过转轴连接有光轴，所述光轴嵌套于轴孔内，光轴底部通过转轴连接有底板，所述底板顶部两侧与机体底部之间焊接有弹簧。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术传动螺杆与传动螺母螺纹连接，可通过传动螺母轻松带动样品台直线上升或下降；底板顶部两侧与机体底部之间焊接有弹簧，可通过弹簧使底板时刻保持平衡；调节螺丝通过螺纹连接于...
【技术保护点】
1.一种半导体测试装置，包括机体（1）和样品台（2），其特征在于：所述机体（1）上设置有起偏器（3）、检偏器（4）、支撑脚（5）、传动螺母（6）、轴孔（7）与调节螺丝（8），所述起偏器（3）通过螺丝安装固定于机体（1）上方左侧，所述检偏器（4）通过螺丝安装固定于机体（1）上方右侧，所述支撑脚（5）通过螺纹连接于机体（1）底部边角上，所述传动螺母（6）通过轴承过盈连接于机体（1）前端顶部中间，所述轴孔（7）开设于机体（1）前端顶部，且轴孔（7）分布于传动螺母（6）两侧，所述调节螺丝（8）通过螺纹连接于机体（1）前端顶部，且调节螺丝（8）分布于轴孔（7）两侧，所述样品台（2）放置于起偏器（3）与检偏器（4）之间。
【技术特征摘要】
1.一种半导体测试装置，包括机体（1）和样品台（2），其特征在于：所述机体（1）上设置有起偏器（3）、检偏器（4）、支撑脚（5）、传动螺母（6）、轴孔（7）与调节螺丝（8），所述起偏器（3）通过螺丝安装固定于机体（1）上方左侧，所述检偏器（4）通过螺丝安装固定于机体（1）上方右侧，所述支撑脚（5）通过螺纹连接于机体（1）底部边角上，所述传动螺母（6）通过轴承过盈连接于机体（1）前端顶部中间，所述轴孔（7）开设于机体（1）前端顶部，且轴孔（7）分布于传动螺母（6）两侧，所述调节螺丝（8）通过螺纹连接于机体（1）前端顶部，且调节螺丝（8）分布于轴孔（7）两侧，所述样品台（2）放置于起偏器（3）与检偏器（4）...
【专利技术属性】
技术研发人员：廖礼，
申请(专利权)人：深圳市特瑞锶自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。