一种外延片编码读取装置及外延片编码读取方法制造方法及图纸

技术编号:21892720 阅读:6 留言:0更新日期:2019-08-17 14:49
本发明专利技术公开了一种外延片编码读取装置。所述外延片编码读取装置包括,机体;第一载料部,连接于机体,用于放置需要读取编码的晶片;校正部,连接于机体,用于对晶片位置进行调节;扫码部,连接于机体,用于读取晶片上的编码;第二载料部,连接于机体,用于放置读取编码后的晶片;第一运料部,连接于机体,用于将第一载料部的晶片移动至校正部;第二运料部,连接于机体,用于将位于校正部的晶片移动至扫码部;第三运料部,连接于机体,用于将位于扫码部的晶片移动至第二载料部;所述第一运料部和第二运料部为一体结构并通过第一连接部滑动连接于机体。

An Epitaxy Chip Coding Reader and Epitaxy Chip Coding Reader

【技术实现步骤摘要】
一种外延片编码读取装置及外延片编码读取方法
本专利技术涉及一种外延片编码读取装置及外延片编码读取方法。
技术介绍
对于外延片设置有切边,并设置有字母和数字的组合以区别不同的晶片,外延片加工厂商需要将所述的字母和数字组合读出,以便于后续跟踪外延片的生产工艺。所述字母和数字的组合为外延片标志的一种方式,有些外延片采用烧蚀不同距离和深度的坑槽以区别,为了读取和识别上述外延片标志需要特殊的设备。
技术实现思路
为解决晶片上编码读取的问题,本专利技术提出一种外延片编码读取装置及外延片编码读取方法。所述外延片编码读取装置包括,机体;第一载料部,连接于机体,用于放置需要读取编码的晶片;校正部,连接于机体,用于对晶片位置进行调节;扫码部,连接于机体,用于读取晶片上的编码;第二载料部,连接于机体,用于放置读取编码后的晶片;第一运料部,连接于机体,用于将第一载料部的晶片移动至校正部;第二运料部,连接于机体,用于将位于校正部的晶片移动至扫码部;第三运料部,连接于机体,用于将位于扫码部的晶片移动至第二载料部;所述第一运料部和第二运料部为一体结构并通过第一连接部滑动连接于机体。进一步的,所述第一载料部、校正部和扫码部依次沿直线a分布。进一步的,所述第一载料部、校正部、扫码部和第二载料部依次沿直线a分布。进一步的,所述第三运料部通过第一连接部滑动连接于机体。一种外延片编码读取方法,S1:第一运料部将晶片从第一载料部移动至校正部,所述校正部对晶片的标码区位置进行调节,以满足标码读取要求;S2:第二运料部将校正部调节好标码区位置的晶片移动至扫码部,扫码部对晶片上的标码区进行读取,获得晶片的标码信息;S3:第三运料部将扫码部读取了标码信息的晶片移动至第二载料部。进一步的,第二载料部设置有料盒编码,采用扫描枪将料盒编码读取,从而使料盒编码与料盒中晶片的标码对应。进一步的,所述第一运料部和第二运料部同步运动。进一步的,所述第一载料部、校正部、扫码部和第二载料部依次沿第一方向a布置。进一步的,所述第一运料部、第二运料部和第三运料部同步运动。本专利技术的有益效果在于:能够完成对晶片上编码的自动读取,使用方便安全可靠。附图说明图1为外延片编码读取装置示意图;图2为晶片示意图;图3为第一运料部、第二运料部和第三运料部同时连接于第一连接部示意图。具体实施方式为便于本领域技术人员理解本专利技术的技术方案,下面将本专利技术的技术方案结合具体实施例作进一步详细的说明。如图1、图2和图3所示,一种外延片编码读取装置100包括,机体10;第一载料部31,连接于机体10,用于放置需要读取编码的晶片40;所述第一载料部31包括但不限于为料盒或放置料盒的料架,所述第一载料部31为用于放置晶片40的所有结构;校正部32,连接于机体10,用于对晶片40位置进行调节;所述校正部32用于对晶片40的角度进行调节,以便于扫码部33读取编码;由于从第一载料部31取出的晶片40由于角度偏转,不一定能够直接读取编码;而晶片40的标码区41与切边42有一定的位置关系,即只要切边42的位置满足角度位置,那么标码区41确定能够用于读取,所述校正部32用于调节切边42位置从而间接实现对标码区41的调节,从而方便后续扫码部33读取编码;当然晶片40包括但不限于采用切边42的形式,比如采用将晶片40设置标记符(如“十“符号),标记符的位置与标码区41对应,及标记符的位置确定,那么标码区41的位置也确定,所述校正部32通过调整所述标记符位置实现将标码区41调整到一定的位置便于后续扫码部33读取;当然,也可采用标码区41外设置矩形,通过矩形实现对编码位置调节并读取编码;扫码部33,连接于机体10,用于读取晶片40上的编码;所述扫码部33采用相机读取字母和数字组合,或读取识别不同的标记;第二载料部34,连接于机体10,用于放置读取编码后的晶片40;保证扫码部33位置的晶片40能够及时移走,扫码部33能够用于放置下一片晶片40读取编码;第一运料部21,连接于机体10,用于将第一载料部31的晶片40移动至校正部32;第二运料部22,连接于机体10,用于将位于校正部32的晶片40移动至扫码部33;第三运料部23,连接于机体10,用于将位于扫码部33的晶片40移动至第二载料部34;所述第一运料部21和第二运料部22为一体结构并通过第一连接部24滑动连接于机体10;通过第一连接部24的运动实现对第一运料部21和第二运料部22的位置控制,从而实现同时/不同时第一运料部21将第一载料部31的晶片40移动至校正部32且第二运料部22将位于校正部32的晶片40移动至扫码部33;实现对晶片40上编码的读取,结构简单,使用方便可靠。如图1、图2和图3所示,所述第一载料部31、校正部32和扫码部33依次沿直线a分布;采用线性分布结构便于第一运料部21和第二运料部22保持安全距离,且这种布局的运动过程简单明了,便于设备调试和操作人员理解设备的运动过程。如图1、图2和图3所示,所述第一载料部31、校正部32、扫码部33和第二载料部34依次沿直线a分布;将四个工位(第一载料部31、校正部32、扫码部33和第二载料部34)按照先后顺序依次排布,结构简单明了;防止调试和操作人员错误操作造成设备损坏并增强设备使用的安全性。如图1、图2和图3所示,所述第三运料部23通过第一连接部24滑动连接于机体10;从而实现第一连接部24对第一运料部21、第二运料部22和第三运料部23的运动控制,所述第一运料部21、第二运料部22和第三运料部23不存在相互碰撞的可能,使软件执行过程简单,即软件对第一连接部24的运动控制只能是为了满足第一运料部21、第二运料部22和第三运料部23其中任意一个的运动要求,从而需要的软件程序简单,稳定可靠;如果第一运料部21和第二运料部22分别单独执行运动控制,需要考虑两者的安全距离、运动速度、安全停止时间等内容,会造成软件复杂,程序容易出错,从而导致外延片编码读取装置100安全性降低。如图1、图2和图3所示,一种外延片编码读取方法,S1:第一运料部21将晶片40从第一载料部31移动至校正部32,所述校正部32对晶片40的标码区41位置进行调节,以满足标码读取要求;S2:第二运料部22将校正部32调节好标码区41位置的晶片40移动至扫码部33,扫码部33对晶片40上的标码区41进行读取,获得晶片40的标码信息;S3:第三运料部23将扫码部33读取了标码信息的晶片40移动至第二载料部34;完成对晶片40标码信息读取的完整过程,便于实现标码信息自动化读取,提高生产效率。如图1、图2和图3所示,第二载料部34设置有料盒编码,采用扫描枪将料盒编码读取,从而使料盒编码与料盒中晶片40的标码对应;即后续流程只需要读取料盒编码就能够获得该料盒中对应的多个晶片40信息,不需要再重复进行对晶片40标码信息重复读取,操作简单,使用方便可靠。如图1、图2和图3所示,所述第一运料部21和第二运料部22同步运动;即第一运料部21和第二运料部22的运动由同一个运动控制部件控制,第一运料部21相对于第二运料部22静止,因为第一运料部21和第二运料部22运动所在的位置有重叠,即第一运料部21和第二运料部22需要在不同时运动到校正部32,如果将第一运料部21和第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种外延片编码读取装置,其特征在于:所述外延片编码读取装置(100)包括,机体(10);第一载料部(31),连接于机体(10),用于放置需要读取编码的晶片(40);校正部(32),连接于机体(10),用于对晶片(40)位置进行调节;扫码部(33),连接于机体(10),用于读取晶片(40)上的编码;第二载料部(34),连接于机体(10),用于放置读取编码后的晶片(40);第一运料部(21),连接于机体(10),用于将第一载料部(31)的晶片(40)移动至校正部(32);第二运料部(22),连接于机体(10),用于将位于校正部(32)的晶片(40)移动至扫码部(33);第三运料部(23),连接于机体(10),用于将位于扫码部(33)的晶片(40)移动至第二载料部(34);所述第一运料部(21)和第二运料部(22)为一体结构并通过第一连接部(24)滑动连接于机体(10)。

【技术特征摘要】
1.一种外延片编码读取装置,其特征在于:所述外延片编码读取装置(100)包括,机体(10);第一载料部(31),连接于机体(10),用于放置需要读取编码的晶片(40);校正部(32),连接于机体(10),用于对晶片(40)位置进行调节;扫码部(33),连接于机体(10),用于读取晶片(40)上的编码;第二载料部(34),连接于机体(10),用于放置读取编码后的晶片(40);第一运料部(21),连接于机体(10),用于将第一载料部(31)的晶片(40)移动至校正部(32);第二运料部(22),连接于机体(10),用于将位于校正部(32)的晶片(40)移动至扫码部(33);第三运料部(23),连接于机体(10),用于将位于扫码部(33)的晶片(40)移动至第二载料部(34);所述第一运料部(21)和第二运料部(22)为一体结构并通过第一连接部(24)滑动连接于机体(10)。2.根据权利要求1所述的外延片编码读取装置,其特征在于:所述第一载料部(31)、校正部(32)和扫码部(33)依次沿直线a分布。3.根据权利要求1所述的外延片编码读取装置,其特征在于:所述第一载料部(31)、校正部(32)、扫码部(33)和第二载料部(34)依次沿直线a分布。4.根据权利要求3所述的外延片编码读取装置,其特...

【专利技术属性】
技术研发人员:林生财张成安魏纯刘熠
申请(专利权)人:深圳市矽电半导体设备有限公司
类型:发明
国别省市:广东,44

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