一种高真空冷泵装置制造方法及图纸

一种高真空冷泵装置，它包括外壳体组件（1），冷泵内组件（2），隔热套管组件（3），进液管（4），出液管（5），固定支撑（6）和保温层（7），所述冷泵内组件（2）及固定支撑（6）均设置在外壳体组件（1）内部，所述保温层（7）设置在外壳体组件（1）外侧，所述外壳体组件（1）外侧的进液管（4）及出液管（5）外围均套设隔热套管组件（3），当壳体内被抽成一定真空度后，被抽产品（C）的真空度已经很难再提高，此时通过进液管（4）通入液氮，迅速降低壳体内空间的温度，降低了压力，使被抽产品（C）中的残余气体迅速进入壳体，最终被真空泵机组（A）抽走。本装置大大提高了被抽产品的真空度，同时又大幅度缩短了抽真空的时间。

A High Vacuum Cold Pump Device

【技术实现步骤摘要】
一种高真空冷泵装置
本技术涉及抽真空
，特别是涉及一种高真空冷泵装置。
技术介绍
随着现代科技水平发展，目前抽真空技术在工业、商业等方面的应用范围越来越广。但是，目前的技术而言，当被抽产品被抽成一定的真空度之后，其内部的真空度提高就会变得非常缓慢或者已经达到了真空泵机组的极限，被抽产品的真空度很难提高。目前公开号为CN104832398B的中国专利，公开了一种抽真空设备，它增加过滤阀，降低气体内部残留物对高压真空泵浦的影响，加入低真空计和高真空计对系统内部进行精确测量，控制设备精度，同时运用多阀门串联方式，保证进气稳定性，选择合适的密封方式，来提高真空系统密封性，从而降低了系统漏气率，提升设备安全性能。但是，它仍然存在上述的技术问题，在被抽产品到达一定真空度后效率缓慢，并且无法进一步提高产品内的真空度。因此，想要在提高被抽产品内真空度的同时，大幅度缩短抽真空时间，提高抽真空效率，目前的技术显然是无法达到的。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决上述背景问题中提出的问题，提供一种在提高被抽产品内真空度的同时，大幅度缩短抽真空时间，提高抽真空效率的设备。本技术为实现上述功能所采用的技术方案如下：一种高真空冷泵装置，它包括外壳体组件，冷泵内组件，进液管和出液管；所述外壳体组件包括冷泵壳体；所述冷泵内组件设置于冷泵壳体内，所述冷泵内组件与进液管和出液管连通；所述冷泵内组件包括多个储液包和多段冷盘管，储液包和冷盘管交错连接，相邻两个储液包之间设置有支撑管；所述冷泵壳体上设置有进气口和出气口；出气口用于连接真空泵机组，进气口用于连接被抽产品。所述进液管通过三通接头与冷泵内组件进口端的冷盘管连通，所述进液管连接三通接头后分成两根盘管。所述出液管通过三通接头与冷泵内组件出口端的冷盘管连通，所述出液管连接三通接头后分成两根盘管。所述进气口为一个或多个。所述冷泵内组件两侧通过固定支撑固定。所述出液管与进液管设置于冷泵壳体的同侧。所述储液包包括筒节，所述筒节左右两侧设置有封头；所述储液包在冷泵壳体内横向设置。所述外壳体组件的外壁设置有保温层；所述冷泵壳体外侧的进液管及出液管外围均套设有隔热套管组件。所述隔热套管组件包括由内至外依次设置的内管，中管和外管，所述内管套设在进液管或出液管上，其外侧端面通过连接环Ⅰ密封，所述内管和中管内侧端面通过连接环Ⅱ密封，所述外管和中管外侧端面通过连接环Ⅲ密封。与现有技术相比，本技术的优点在于：当外壳体组件内被抽成一定真空度后，真空度的提高会变得非常缓慢或已经到达了真空泵机组的极限，被抽产品的真空度很难进一步提高，此时通过进液管缓慢通入液氮，迅速降低壳体内空间温度，降低了压力，使得被抽产品中的残余气体迅速进入冷泵壳体，最终被真空泵机组抽走，在提高了被抽产品真空度的同时大幅度缩短了抽真空的时间。附图说明图1是本技术一种高真空冷泵装置的结构示意图，其中：1、外壳体组件；2、冷泵内组件；3、隔热套管组件；4、进液管；5、出液管；6、固定支撑；7、保温层；11、法兰组件Ⅰ；12、法兰组件Ⅱ；13、法兰组件Ⅲ；14、法兰组件Ⅳ；15、冷泵壳体；21、储液包；22、支撑管；23、三通接头；24、冷盘管；A、真空泵机组；B、真空阀；C、被抽产品；图2是本技术一种高真空冷泵装置中隔热套管组件的结构示意图，其中：31、连接环Ⅰ；32、内管；33、连接环Ⅱ；34、中管；35、外管；36、连接环Ⅲ；图3是本技术一种高真空冷泵装置中储液包的结构示意图，其中:211、左封头；212、筒节；213、右封头。图4是本技术一种高真空冷泵装置中进液管与冷盘管连接的结构示意图。图5是本技术一种高真空冷泵装置中出液管与冷盘管连接的结构示意图。具体实施方案下面结合附图和具体实施例对本技术加以说明：如图1~图5所示，一种高真空冷泵装置，它包括外壳体组件1，冷泵内组件2，隔热套管组件3，进液管4，出液管5，固定支撑6和保温层7，所述冷泵内组件2及固定支撑6均设置在外壳体组件1内部；所述冷泵内组件2包括储液包21，支撑管22，三通接头23，冷盘管24，所述储液包21包括筒节212，所述筒节212左侧固定有左封头211，所述筒节212右侧固定有右封头213，所述储液包21各部分通过组焊连接，所述储液包21有多个，多个储液包21横向并排设置在冷泵壳体15内，所述每个储液包21侧壁均连接有冷盘管24，所述每两个储液包21之间均设置有支撑管22，所述储液包21与支撑管22内部不连通，所述储液包21为横向设置，所述进液管4通过三通接头与冷泵内组件2进口端的冷盘管24连通，所述进液管4连接三通接头后分成两根盘管，所述出液管5通过三通接头与冷泵内组件2出口端的冷盘管24连通，所述出液管5连接三通接头后分成两根盘管，所述出液管5设置在冷泵壳体15的左端或右端，在本实施例中，出液管5设置在壳体左端，增加了冷却效果，降低了液氮损耗，同时，设置多组冷盘管24和储液包21可以保证冷泵壳体15内降温时效率较高，温度骤减，所述外壳体组件1的左右两端均设置有固定支撑6，所述固定支撑6一端连接到最外侧的储液包21上；所述外壳体组件1包括冷泵壳体15，所述冷泵壳体15一端设置有法兰组件Ⅰ11，所述冷泵壳体15的另一端设置有法兰组件Ⅲ13，所述冷泵壳体15的侧壁一端设置有法兰组件Ⅱ12，所述法兰组件Ⅱ12上端连接有气体出口c，所述冷泵壳体15的侧壁另一端设置有法兰组件Ⅳ14，所述法兰组件Ⅳ14下端连接有进气口d，所述进气口d为一个或多个，设置多法兰组件使所述高真空冷泵装置为可拆卸式法兰连接；所述冷泵壳体15外侧的进液管4及出液管5外围均套设有隔热套管组件3，所述隔热套管组件3包括连接环Ⅰ31，内管32，连接环Ⅱ33，中管34，外管35和连接环Ⅲ36，所述内管32套设在冷泵壳体15外侧的进液管4和出液管5上，所述内管32和进液管4间通过连接环Ⅰ31连接，所述内管32和出液管5间通过连接环Ⅰ31连接，所述内管32外围套设有中管34，所述内管32和中管34间通过连接环Ⅱ33连接，所述中管34外围套设有外管35，所述外管35和中管34间通过连接环Ⅲ36连接，所述隔热套管组件3各部分通过组焊连接；隔热套管组件3中的内管14、外管15以及中管17大大增加了导热路径，减少液氮的蒸发，从而降低液氮的损耗；所述外壳体组件1的外壁还设置有一层保温层7，保温层7对壳体进行保温，大大减少了液氮蒸发，降低损耗。本装置的控制方法如下：首先，将高真空冷泵装置的排气口c与真空泵机组连接；然后，在高真空冷泵装置下端设置一个或多个进气口d，每个进气口d下方都设置抽真空连接口，用于与被抽产品C连接；之后，打开抽真空系统的真空泵机组A开始工作，当外壳体组件1内被抽成一定的真空度后，装置内的真空度提高就会变得非常缓慢甚至已经到达了真空泵机组A的极限，所以被抽产品C的真空度也已经很难再得到提高；此时，通过进液管4缓慢通入液氮，液氮进入壳体内部的储液包21及冷盘管24，迅速降低了冷泵壳体15内空间温度，从而降低了冷泵壳体15内的压力，使得被抽产品C中的残余气体迅速通过气体进口d进入冷泵壳体15的位置，最终被真空泵机组A抽走。因此，使用本装置大大提高了被抽产品的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高真空冷泵装置，其特征在于：所述装置包括外壳体组件（1），冷泵内组件（2），进液管（4）和出液管（5）；所述外壳体组件（1）包括冷泵壳体（15）；所述冷泵内组件（2）设置于冷泵壳体（15）内，所述冷泵内组件（2）与进液管（4）和出液管（5）连通；所述冷泵内组件（2）包括多个储液包（21）和多段冷盘管（24），储液包（21）和冷盘管（24）交错连接，相邻两个储液包（21）之间设置有支撑管（22）；所述冷泵壳体（15）上设置有进气口（d）和出气口；出气口用于连接真空泵机组，进气口（d）用于连接被抽产品。

【技术特征摘要】
1.一种高真空冷泵装置，其特征在于：所述装置包括外壳体组件（1），冷泵内组件（2），进液管（4）和出液管（5）；所述外壳体组件（1）包括冷泵壳体（15）；所述冷泵内组件（2）设置于冷泵壳体（15）内，所述冷泵内组件（2）与进液管（4）和出液管（5）连通；所述冷泵内组件（2）包括多个储液包（21）和多段冷盘管（24），储液包（21）和冷盘管（24）交错连接，相邻两个储液包（21）之间设置有支撑管（22）；所述冷泵壳体（15）上设置有进气口（d）和出气口；出气口用于连接真空泵机组，进气口（d）用于连接被抽产品。2.根据权利要求1所述的一种高真空冷泵装置，其特征在于：所述进液管（4）通过三通接头与冷泵内组件（2）进口端的冷盘管（24）连通，所述进液管（4）连接三通接头后分成两根盘管。3.根据权利要求1所述的一种高真空冷泵装置，其特征在于：所述出液管（5）通过三通接头与冷泵内组件（2）出口端的冷盘管（24）连通，所述出液管（5）连接三通接头后分成两根盘管。4.根据权利要求1所述的一种高真空冷泵装置，其特征在于：所述进气口（d）为一个或多个。5...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳云兴，
申请(专利权)人：江苏深绿新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32