【技术实现步骤摘要】
一种外驱动式两段传输阀
本专利技术涉及光伏
,具体涉及一种PECVD镀膜工艺的内热壁工艺腔室基片传输口密封的
技术介绍
PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)是指等离子体增强的化学气相沉积技术。即在真空环境下,借助于气体辉光放电产生的低温等离子体,增强了反应物质的化学活性,促进了气体间的化学反应,从而在基片上沉积出所需的膜层。为了保证沉积薄膜时工艺腔室具有恒定的温度,稳定的气体压强及工艺参数良好的重复性,会将工艺腔室设计成双层真空室结构。即:真空外腔室,真空内热壁工艺腔室;真空内热壁工艺腔室位于真空外腔室的内侧,两者具有相对独立的真空环境;为了保证基片的薄膜质量,首先要保证沉积薄膜过程中,真空内热壁工艺腔室内具有恒定温度,稳定的工作压强以及良好的工艺参数的重复性,因此对内热壁工艺腔室基片传输口处,需要有独立、可靠的阀门密封。以往对热壁内工艺腔室基片传输口的密封阀门,一般采用的是旋转密封的形式。即:通过从真空外腔室的两外侧引入磁流体密封轴或橡胶圈密封轴结构与阀门连接,通过外部两个气缸驱动,带动阀门旋转,实现对真空内热壁工艺腔室的密封。往往磁流体密封轴结构较为复杂,加工成本较高,过高的热壁温度也会影响磁流体密封的性能;橡胶圈密封轴结构虽然简单,但密封轴长时间旋转,会造成密封圈的损坏,降低对真空腔室密封性能,最终会造成真空内热壁工艺腔室内的工作参数及工艺环境的不稳定。
技术实现思路
为了克服上述现有技术的不足,本专利技术提供了一种外驱动式两段阀,其目的是:阀板与真空热壁内工艺腔室的密封,通过两段焊接波 ...
【技术保护点】
1.一种外驱动式两段传输阀,其特征在于,包括:阀板(7),固定板(9),阀门连杆(6),转轴架(4),驱动连杆(11),空心行程轴(15),上段焊接波纹管组件(12),下段焊接波纹管组件(16),限位轴套(17),护套(2),止动块(13),下弹簧(18),限位法兰(19),升降横梁(20)等构成两组可实现两段传输的机构,位于气缸(21)的两侧;所述上段焊接波纹管组件(12)包括:上波纹管轴(12‑1),上波纹管(12‑2),上波纹管下法兰(12‑3);所述下段焊接波纹管组件(16)包括:下波纹管上法兰(16‑1),下波纹管(16‑2),下波纹管下法兰(16‑3);当气缸杆向下伸长时,首先下弹簧(18)伸展,带动上段焊接波纹管组件(12)被压缩,阀板(7)被阀门连杆(6)带动,围绕转轴(5)顺时针转动至阀门连杆(6)碰到止动块(13)止;然后下段焊接波纹管组件(16)被压缩,转轴架(4)带动阀板(7),空心行程轴(15)以及相连件垂直下移,直至转轴架(4)碰到护套(2)止; 当气缸杆杆缩回时,首先下段焊接波纹管组件(16)展开,转轴架(4)带动阀板(7),空心行程轴(15)以及相连件等 ...
【技术特征摘要】
1.一种外驱动式两段传输阀,其特征在于,包括:阀板(7),固定板(9),阀门连杆(6),转轴架(4),驱动连杆(11),空心行程轴(15),上段焊接波纹管组件(12),下段焊接波纹管组件(16),限位轴套(17),护套(2),止动块(13),下弹簧(18),限位法兰(19),升降横梁(20)等构成两组可实现两段传输的机构,位于气缸(21)的两侧;所述上段焊接波纹管组件(12)包括:上波纹管轴(12-1),上波纹管(12-2),上波纹管下法兰(12-3);所述下段焊接波纹管组件(16)包括:下波纹管上法兰(16-1),下波纹管(16-2),下波纹管下法兰(16-3);当气缸杆向下伸长时,首先下弹簧(18)伸展,带动上段焊接波纹管组件(12)被压缩,阀板(7)被阀门连杆(6)带动,围绕转轴(5)顺时针转动至阀门连杆(6)碰到止动块(13)止;然后下段焊接波纹管组件(16)被压缩,转轴架(4)带动阀板(7),空心行程轴(15)以及相连件垂直下移,直至转轴架(4)碰到护套(2)止;当气缸杆杆缩回时,首先下段焊接波纹管组件(16)展开,转轴架(4)带动阀板(7),空心行程轴(15)以及相连件等垂直上移,直至空心行程轴(15)下法兰碰到限位轴套(17)止,然后下弹簧(18)被压缩,上段焊接波纹管组件(12)伸展,阀板(7)被驱动连杆(11),阀门连杆(6)带动,围绕转轴(5)逆时针摆动,直至限位法兰(19)碰到空心行程轴(15)止,此时弹片(8)压紧阀板(7)与真空内热壁工艺腔室(3)紧密贴合。2.根据权利要求1所述的一种外驱动式两段传输阀,其特征在于所述阀板(7)采用2mm厚的不锈钢板,阀板四周分布有多组长形方孔。3.根据权利要求1所述的一种外驱动式两段传输阀,其特征在于所述弹片(8)呈U形结构,采用0.2mm厚不锈钢片,所述弹片(8)的一端加工出凸起的卡片及弯边,与所述阀板(7)相连,所述弹片(8)的另一端通过压板固定在所述固定板(9)上。4.根据权利要求3所述的一种外驱动式两段传输阀,其特征在于所述固定板(9)通过螺钉固定在阀门连杆(6)上。5.根据权利要求4所述的一种外驱动式两段传输阀,其特征在于所述的阀门连杆(6)上有两个定位孔,上侧定位孔通过所述连杆轴(10)与所述驱动连杆(11)一端活动相连,下定位孔通过所述转轴(5)与所述转轴架(4)活动相连,所述的驱动连杆(11)可围绕所述连杆轴(10)实现摆动,所述的门阀连杆(6)可围绕所述转轴(5)实现摆动。6.根据权利要求1或5所述的一种外驱动式两段传输阀,其特征在于所述的驱动连杆(11)另一端通过所述连杆长销轴(22)与所述上波纹管轴(12-1)相连,所述的上波纹管下法兰(...
【专利技术属性】
技术研发人员:张迎春,刘洁雅,
申请(专利权)人:北京威伏真空技术有限公司,
类型:发明
国别省市:北京,11
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