化学水浴镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术是关于一种化学水浴镀膜装置，包括：反应槽、馈入管和加热单元；所述馈入管，位于靠近所述反应槽的底部的位置，输入端位于反应槽外部，将反应槽外部的反应液馈入所述反应槽的内部；所述加热单元，位于靠近所述馈入管上方的位置，与所述反应槽的侧壁固定连接。该技术方案通过加热单元对反应槽内靠近反应槽上部的反应液进行加热，提升了反应槽内靠近反应槽上部的反应液的温度，减小了反应槽内靠近反应槽上部和下部的反应液的温度梯度，使反应槽内靠近反应槽上部和下部的反应液温度分布基本均匀，进而在在沉积膜层过程中，玻璃基底上沉积的膜层厚度能够基本达到均匀一致，提升了膜层质量。

Chemical Water Bath Coating Device

【技术实现步骤摘要】
化学水浴镀膜装置
本技术涉及化学水浴沉积装置
，尤其涉及化学水浴镀膜装置。
技术介绍
目前，具备高效光电转换效率的铜铟镓硒薄膜太阳能电池中硫化镉层作为缓冲层对电池效率提升有重要影响。硫化镉化学水浴是广泛使用的沉积方法，有芯片卧式镀膜方法和芯片立式镀膜两种方法，前者一般用在小面积电池领域，且生产效率较低；后者则在大面积玻璃基底铜铟镓硒电池硫化镉的沉积中具备生产效率较高的优势。相关技术中，在立式硫化镉化学水浴镀膜系统里，反应液从反应槽顶部溢流口溢出，经过外设加热器加热后，再由底部馈入管馈入到槽底，通过这种反应液的循环以保持槽内反应温度的恒定。
技术实现思路
本技术实施例提供一种化学水浴镀膜装置，能够提升反应槽内靠近反应槽上部的反应液的温度，以实现反应槽内靠近反应槽从上部和下部的反应液温度分布基本均匀。所述技术方案如下：根据本技术实施例的第一方面，提供一种化学水浴镀膜装置，包括：反应槽、馈入管和加热单元；所述馈入管，位于靠近所述反应槽的底部的位置，输入端位于反应槽外部，将反应槽外部的反应液馈入所述反应槽的内部；所述加热单元，位于靠近所述馈入管上方的位置，与所述反应槽的侧壁固定连接。本技术实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：该技术方案通过加热单元对反应槽内靠近反应槽上部的反应液进行加热，提升了反应槽内靠近反应槽上部的反应液的温度，减小了反应槽内靠近反应槽上部和下部的反应液的温度梯度，使反应槽内靠近反应槽上部和下部的反应液温度分布基本均匀，进而在在沉积膜层过程中，玻璃基底上沉积的膜层厚度能够基本达到均匀一致，提升了膜层质量。在一个实施例中，所述化学水浴镀膜装置还包括温度传感器；所述温度传感器，位于所述反应槽内，且靠近所述加热单元。本技术实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：该技术方案通过温度传感器能够对反应槽内靠近反应槽上部的反应液的温度变化进行实时监测，因此，可以根据温度传感器检测的温度值调节加热单元的加热温度，以实现尽量持续保持反应槽内靠近反应槽上部和下部的反应液温度分布均匀性。在一个实施例中，所述加热单元包括：加热元件和包裹在所述加热元件外部的绝缘外层。本技术实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：该技术方案通过绝缘外层将加热元件与使用环境隔离，提升了使用过程中的安全性。在一个实施例中，所述加热单元的形状包括：管状、带状或板状。本技术实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：该技术方案中管状的加热单元发热快，提高了加热效率。带状和板状的加热单元，发热的有效面积相对较大，提高了较大面积加热时的加热效率，其中带状的加热单元易于成形，结构简单且便于安装。在一个实施例中，所述加热单元位于所述反应槽内。本技术实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：该技术方案中加热单元直接与反应液接触，提高了加热效率，进而提高了反应槽内靠近反应槽上部和下部的反应液温度分布达到基本均匀的效率。其中，加热单元将热量有效的传递至反应液，减少热量损失，有利于降低能耗。在一个实施例中，所述加热单元包括第一加热件和第二加热件；所述第一加热件和第二加热件分别位于所述反应槽相对的两个侧壁上。本技术实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：该技术方案进一步提高了加热效率，使加热效率的提升将近达到加倍的效果。在一个实施例中，所述加热元件的材料包括：镍铬合金箔、铁铬铝合金、康铜合金或锰铜合金中的一种；所述绝缘外层的材料包括：硅橡胶与玻璃纤维复合材料。本技术实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：该技术方案中加热元件的材料具有发热效率高、且发热均匀以及使用寿命长等特性，绝缘外层的材料具有化学稳定性优良且绝缘性良好等特性。在一个实施例中，所述加热单元通过陶瓷固定件与所述侧壁固定连接。本技术实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：该技术方案的陶瓷固定件具有良好的化学稳定性，不与反应液发生化学反应，避免污染反应液和膜层。在一个实施例中，所述加热单元的加热温度范围为60度至80度。本技术实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：该技术方案中加热单元的加热温度范围使加热后的反应液基本处于所需温度条件范围内，且加热的温度在该范围内可调。在一个实施例中，还包括扰流单元；所述扰流单元，位于所述反应槽内，且靠近所述加热单元，用于对所述反应槽内的反应液施加扰动力。本技术实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：该技术方案通过扰流单元扰动反应液运动，加快反应槽内靠近上部的反应液的流动和扩散，从而能够使馈入管馈入的反应液与反应槽内原有的反应液尽快混合，以实现反应槽内的反应液的温度和溶质浓度尽快达到基本均匀一致。同时，在加热单元的作用下，进一步快速提升反应槽内靠近上部的反应液的温度，有效减小了反应槽内靠近反应槽上部和下部的反应液的温度梯度，进而提高了反应槽内靠近反应槽上部和下部的反应液温度分布达到基本均匀的效率。本技术的实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：上述技术方案，通过加热单元对反应槽内靠近反应槽上部的反应液进行加热，提升了反应槽内靠近反应槽上部的反应液的温度，减小了反应槽内靠近反应槽上部和下部的反应液的温度梯度，使反应槽内靠近反应槽上部和下部的反应液温度分布基本均匀，进而在在沉积膜层过程中，玻璃基底上沉积的膜层厚度能够基本达到均匀一致，提升了膜层质量。应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本技术。附图说明此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本技术的实施例，并与说明书一起用于解释本技术的原理。图1是相关技术中反应槽结构示意图。图2是根据一示例性实施例示出的化学水浴镀膜装置结构示意图。图3是根据一示例性实施例示出的化学水浴镀膜装置结构侧视图。图4是根据一示例性实施例示出的加热单元结构示意图。图5是根据一示例性实施例示出的加热单元结构示意图。图6是根据一示例性实施例示出的化学水浴镀膜装置结构示意图。图7是根据一示例性实施例示出的化学水浴镀膜装置结构示意图。图8是根据一示例性实施例示出的化学水浴镀膜装置结构示意图。图9是根据一示例性实施例示出的化学水浴镀膜装置结构示意图。图10是根据一示例性实施例示出的化学水浴镀膜装置结构示意图。图11是根据一示例性实施例示出的顶盖结构示意图。图12是根据一示例性实施例示出的化学水浴镀膜装置结构示意图。图13是根据一示例性实施例示出的化学水浴镀膜装置结构示意图。具体实施方式这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本技术相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本技术的一些方面相一致的装置和方法的例子。相关技术中，立式硫化镉化学水浴镀膜系统里，反应液从反应槽10顶部溢流口40溢出，经过外设加热器加热后一般采用底部馈入管20上喷射口21馈入到反应槽10内，通过这种反应液的循环以保持槽内反应温度的恒定，如图1所示。所采用的馈入方式是一种线性馈入方式，反应液从槽底慢慢流动到反应槽10上部。外设加热器的加热温度和经该加热器加本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种化学水浴镀膜装置，特征在于，包括：反应槽、馈入管和加热单元；所述馈入管，位于靠近所述反应槽的底部的位置，输入端位于反应槽外部，用于将反应槽外部的反应液馈入所述反应槽的内部；所述加热单元，位于靠近所述馈入管上方的位置，与所述反应槽的侧壁固定连接。

【技术特征摘要】
1.一种化学水浴镀膜装置，特征在于，包括：反应槽、馈入管和加热单元；所述馈入管，位于靠近所述反应槽的底部的位置，输入端位于反应槽外部，用于将反应槽外部的反应液馈入所述反应槽的内部；所述加热单元，位于靠近所述馈入管上方的位置，与所述反应槽的侧壁固定连接。2.根据权利要求1所述的化学水浴镀膜装置，其特征在于，还包括温度传感器；所述温度传感器，位于所述反应槽内，且靠近所述加热单元。3.根据权利要求1所述的化学水浴镀膜装置，其特征在于，所述加热单元包括：加热元件和包裹在所述加热元件外部的绝缘外层。4.根据权利要求1所述的化学水浴镀膜装置，其特征在于，所述加热单元的形状包括：管状、带状或板状。5.根据权利要求1所述的化学水浴镀膜装置，其特征在于，所述加热单元位于所述反应槽内。6.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱海安，惠述伟，张升飞，
申请(专利权)人：华夏易能广东新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44