【技术实现步骤摘要】
一种连体真空镀膜机柔性传输装置
本技术涉及真空镀膜领域,具体为一种连体真空镀膜机柔性传输装置。
技术介绍
现有的连体真空镀膜圆筒机,工件(待镀膜产品)在真空室之间的转移,通常采用和转架一起平移的整体传输模式。该传输方式有以下几点不足:(1)设备的整体运行稳定性下降;因为整个转架需要平移,所以,真空室之间的过渡门尺寸较大,相应的插板阀门也要比较大,这样,就大幅度增加的阀门的制造难度;同时,阀门的工作稳定性大大降低,进而造成整个设备的运行稳定性下降;(2)成膜效率下降;因转架需要整体平移,造成镀膜的靶材只能在真空室的外圈布置,真空室的内圈不能够装靶,否则,就会和转架移动发生冲突。这样,靶材的安装数量就比较有限,给工艺制定和成膜速率都造成一定影响。不同位置靶材的靶基距不一致,膜层沉积速率不一致,对膜层的性能会有一定影响。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术的缺陷,提供一种连体真空镀膜机柔性传输装置,以解决上述
技术介绍
提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种连体真空镀膜机柔性传输装置,包括工件装炉室、镀膜室、工件出炉室、过渡区、靶材,所述工件装炉室的一侧设有所述镀膜室,所述镀膜室的一侧设有所述工件出炉室,所述镀膜室与所述工件装炉室和所述工件出炉室之间均设有所述过渡区,所述工件装炉室、所述镀膜室和所述工件出炉室上均设有所述靶材。作为本技术的一种优选技术方案,所述工件装炉室、所述镀膜室和所述工件出炉室之间通过螺栓固定相连。作为本技术的一种优选技术方案,所述工件装炉室、所述镀膜室和所述工件出炉室上安装所述靶材的靶基距都完全一致,所述靶材的安装数量是整体 ...
【技术保护点】
1.一种连体真空镀膜机柔性传输装置,包括工件装炉室(1)、镀膜室(2)、工件出炉室(3)、过渡区(4)、靶材(5),其特征在于:所述工件装炉室(1)的一侧设有所述镀膜室(2),所述镀膜室(2)的一侧设有所述工件出炉室(3),所述镀膜室(2)与所述工件装炉室(1)和所述工件出炉室(3)之间均设有所述过渡区(4),所述工件装炉室(1)、所述镀膜室(2)和所述工件出炉室(3)上均设有所述靶材(5)。
【技术特征摘要】
1.一种连体真空镀膜机柔性传输装置,包括工件装炉室(1)、镀膜室(2)、工件出炉室(3)、过渡区(4)、靶材(5),其特征在于:所述工件装炉室(1)的一侧设有所述镀膜室(2),所述镀膜室(2)的一侧设有所述工件出炉室(3),所述镀膜室(2)与所述工件装炉室(1)和所述工件出炉室(3)之间均设有所述过渡区(4),所述工件装炉室(1)、所述镀膜室(2)和所述工件出炉室(3)上均设有所述靶材(5)。2.根据权利要求1所述的一种连体真空镀膜机...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵文强,尹忠乐,
申请(专利权)人:佛山市南海区晶鼎泰机械设备有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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