一种新型平移传动架制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型平移传动架，它涉及立式真空溅射镀膜生产线技术领域。包括平移底架、平移气缸、直线导轨、平移回架和基片架，平移底架上设置有垂直于基片架运动方向的平移气缸和直线导轨，直线导轨上设置有可支承平移回架的滑块，平移气缸与节流阀、电磁阀及两联件组件通过软管连接，平移回架通过动力传动座与平移气缸固定，平移回架两侧设置有四个定位装置，四个定位装置固定在平移底架上，平移回架上安装有驱动电机，驱动电机通过同步带及同步带轮与导轮传动连接，导轮带动基片架动作。本平移传动架代替传统的旋转平台，通过输送架、平移传动架、回线架使传送线上的基片进行流水线作业。无须调转方向，且更换基片更加方便安全。

A New Type of Translational Drive Frame

【技术实现步骤摘要】
一种新型平移传动架
本技术涉及的是立式真空溅射镀膜生产线
，具体涉及一种新型平移传动架。
技术介绍
在立式真空溅射镀膜生产线上，为了节省占地面积和提高工作效率，将基片传送流水线与镀膜流水线平行设置。很多设计采取旋转平台，用于传送流水线与镀膜线间的基片中转传递机构，连接传送流水线和镀膜流水线作业。本实用平移传动架代替旋转平台，通过输送架、平移传动架、回线架使传送线上的基片进行流水线作业。无须调转方向。且更换基片更加方便安全，如图1所示（输入架A、输出架B、回架C和平移传动架D）。
技术实现思路
针对现有技术上存在的不足，本技术目的是在于提供一种新型平移传动架，结构设计合理，运行平稳且安全可靠，实用性强。为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种新型平移传动架，包括平移底架、平移气缸、直线导轨、平移回架和基片架，平移底架上设置有垂直于基片架运动方向的平移气缸和直线导轨，直线导轨上设置有可支承平移回架的滑块，平移气缸与节流阀、电磁阀及两联件组件通过软管连接，平移回架通过动力传动座与平移气缸固定，平移回架两侧设置有四个定位装置，四个定位装置固定在平移底架上，平移回架上安装有驱动电机，驱动电机通过同步带及同步带轮与导轮传动连接，导轮带动基片架动作。作为优选，所述的定位装置装有气弹簧和定位螺栓。作为优选，所述的平移气缸上还装有光电感应元件。本技术的有益效果：本实用平移传动架代替旋转平台，通过输送架、平移传动架、回线架使传送线上的基片进行流水线作业。无须调转方向，且更换基片更加方便安全。附图说明下面结合附图和具体实施方式来详细说明本技术；图1为本技术的安装位置图；图2为本技术的立体结构示意图；图3为本技术的主视图；图4为图3的I部放大示意图；图5为图3的II部放大示意图。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。参照图1-图4，本具体实施方式采用以下技术方案：一种新型平移传动架，包括平移底架1、平移气缸2、直线导轨3、平移回架4和基片架5，平移底架1上设置有垂直于基片架5运动方向的平移气缸2和直线导轨3，直线导轨3上设置有可支承平移回架4的滑块6，平移气缸2与节流阀、电磁阀及两联件组件7通过软管连接，平移回架4通过动力传动座8与平移气缸2固定，平移回架4两侧设置有四个定位装置9，四个定位装置9固定在平移底架1上，平移回架4上安装有驱动电机10，驱动电机10通过同步带11及同步带轮12与导轮13传动连接，导轮13带动基片架5动作。本具体实施方式平移传动架D包括平移底架1，底架1上设有垂直于基片,5运动方向的平移气缸2和直线导轨3；直线导轨3上设有可支承平移回架4的滑块6；平移气缸2与节流阀、电磁阀、两联件等通过软管连接。平移回架4通过动力传动座8与平移气缸2固定。在平移气缸2的驱动下平移回架4沿直线导轨3作垂直于基片架5方向运动。平移传动架D两侧装有四个定位装置9，固定在平移底架1上。定位装置9上装有气弹簧和定位螺栓；当平移传动架即将运行到指定位置时首先接触到气弹簧，起到缓冲作用，气弹簧和定位螺栓都是可调的。平移气缸上还装有光电感应元件，当平移回架4运行至指定位置时光电感应元件发讯，并将信号反馈到控制系统。平移回架4装有驱动电机10,启动电机，通过同步带11及同步带轮12传递给导轮13带动基片架5前行。平移回架顶部安装有磁导向，通过磁极间斥力定位基片架5。平移传动架D为两台，一台安装于输出端，用于传送流水线与镀膜流水线间的中转传递，将输出的基片通过平移传动架传递给回架返回。另一台安装于输入端，将回架返回基片经平移传动架传递到输入端，基片架与其回架上基片架脱离后，更换基片架上的基片。这样就可避免维护人员在更换基片时同操作人员交叉作业，方便了操作。本具体实施方式采用这种平移传动架实践证明，运行非常平稳可靠。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型平移传动架，其特征在于，包括平移底架(1)、平移气缸(2)、直线导轨(3)、平移回架(4)和基片架(5)，平移底架(1)上设置有垂直于基片架(5)运动方向的平移气缸(2)和直线导轨(3)，直线导轨(3)上设置有可支承平移回架(4)的滑块(6)，平移气缸(2)与节流阀、电磁阀及两联件组件(7)通过软管连接，平移回架(4)通过动力传动座(8)与平移气缸(2)固定，平移回架(4)两侧设置有四个定位装置(9)，四个定位装置(9)固定在平移底架(1)上，平移回架(4)上安装有驱动电机(10)，驱动电机(10)通过同步带(11)及同步带轮(12)与导轮(13)传动连接，导轮(13)带动基片架(5)动作。

【技术特征摘要】
1.一种新型平移传动架，其特征在于，包括平移底架(1)、平移气缸(2)、直线导轨(3)、平移回架(4)和基片架(5)，平移底架(1)上设置有垂直于基片架(5)运动方向的平移气缸(2)和直线导轨(3)，直线导轨(3)上设置有可支承平移回架(4)的滑块(6)，平移气缸(2)与节流阀、电磁阀及两联件组件(7)通过软管连接，平移回架(4)通过动力传动座(8)与平移气缸(2)固定，平移回架(4)两侧设置有四个...

【专利技术属性】
技术研发人员：张俊峰，赵子东，许春立，张大剑，
申请(专利权)人：上海子创镀膜技术有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31