【技术实现步骤摘要】
一种镀膜机补正板旋转机构紧固结构
本技术涉及镀膜机的
，特别是一种镀膜机补正板旋转机构紧固结构的
技术介绍
镀膜机是一种镀膜设备，主要有以下几种类型的镀膜机：真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等。镀膜机一般包括一个蒸镀源和一个设置在蒸镀源上方用于承载透光基片的镀膜伞架。在蒸镀时，镀膜伞架转动可使分布在镀膜伞架各处的透光基片的膜厚均一，然而由于蒸镀源正上方的蒸发物浓度较高，导致蒸镀源正对的镀膜伞架的中间层圈的膜层较厚，而靠近伞架边缘的膜层较薄，还有的需要双面镀膜的工件还存在双面镀膜膜层不均匀现象。为了解决这一问题，在镀膜伞架与蒸镀源之间设置一可转动的补正板，以此修正透光基片不同层圈膜层厚度的差异，补正板上设置有由双转动部、滑轮组柱和连接件组成的旋转机构，以实现补正板的转动从而保证工件各处的镀膜膜层厚度保持均匀。现有的旋转机构大多采用铁丝来固定滑轮组柱和双转动部，采用这种紧固方式会存在旋转工作过程中会出现偏移脱落现象，影响工件的镀膜效果，整体紧固效果差。
技术实现思路
本技术的目的就是解决现有技术中的问题，提出一种镀膜机补正板旋转机构紧固结构，能够保证旋转机构运行的稳定性和牢固性，紧固效果好，有效避免发生部件偏移脱落现象。为实现上述目的，本技术提出了一种镀膜机补正板旋转机构紧固结构，包括第一转动部、第二转动部、滑轮组柱和卡环，所述第一转动部和第二转动部之间用滑轮组柱相连且用两片卡环紧固，所述滑轮组柱两端均设有环形卡槽，所述卡环配合安装在环形卡槽上。作为优选，所述滑轮组柱垂直穿过第一转动部和第二转动部的侧面。作为...
【技术保护点】
1.一种镀膜机补正板旋转机构紧固结构，包括第一转动部(1)、第二转动部(2)，其特征在于：还包括滑轮组柱(3)和卡环(4)，所述第一转动部(1)和第二转动部(2)之间用滑轮组柱(3)相连且用两片卡环(4)紧固，所述滑轮组柱(3)两端均设有环形卡槽(31)，所述卡环(4)配合安装在环形卡槽(31)上。
【技术特征摘要】
1.一种镀膜机补正板旋转机构紧固结构，包括第一转动部(1)、第二转动部(2)，其特征在于：还包括滑轮组柱(3)和卡环(4)，所述第一转动部(1)和第二转动部(2)之间用滑轮组柱(3)相连且用两片卡环(4)紧固，所述滑轮组柱(3)两端均设有环形卡槽(31)，所述卡环(4)配合安装在环形卡槽(31)上。2.如...
【专利技术属性】
技术研发人员：葛文志，翁欽盛，王懿伟，矢岛大和，葛文琴，王刚，
申请(专利权)人：浙江美迪凯现代光电有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33
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