【技术实现步骤摘要】
一种上下片台升降机构
本技术涉及的是真空连续镀膜设备外围辅助设备
,具体涉及一种上下片台升降机构。
技术介绍
随着科技的发展,对设备的自动化程度要求也越来越高,真空连续镀膜设备都会配套一些外围辅助设备,外围辅助设备的自动化程度和稳定性也直接影响到了整个镀膜设备的稳定性和使用性能;目前市场厂上连续镀膜设备配的上下片台的升降机构系统采用齿轮齿条、涡轮蜗杆、链轮链条等机械式的机构,主要存在噪音大、需要润滑油(镀膜产品禁止有油污,有可能污染产品,影响产品合格率;)、传动不平稳等现象;综上所述,本技术设计了一种上下片台升降机构。
技术实现思路
针对现有技术上存在的不足,本技术目的是在于提供一种上下片台升降机构,结构设计合理,操作简单可靠,对操作人员的使用、后期维护要求不高,对环境要求低,能在高温或低温环境下正常工作,防尘防水,可以适应很多恶劣的使用环境,实用性强。为了实现上述目的,本技术是通过如下的技术方案来实现:一种上下片台升降机构,包括升降驱动装置和基片托架,升降驱动装置上方设置有基片托架;所述的升降驱动装置包括下支撑板、上支撑板、驱动汽缸、下油压缓冲器、上油压缓冲器、限位调节缓冲块、导向杆和直线轴承,驱动汽缸安装在上支撑板上,直线轴承与导向杆固定后通过螺丝安装在上支撑板上,下支撑板与基片托架通过螺丝与导向杆相连,上支撑板上还设置有上油压缓冲器、限位调节缓冲块,下支撑板上设置有下油压缓冲器。作为优选,所述的上支撑板上设置有气缸限位孔,保证了气缸安装的位置度。作为优选,所述的驱动气缸通过螺丝固定在上支撑板上。本技术的有益效果:1、升降驱动装置采用的是汽缸驱动,驱 ...
【技术保护点】
1.一种上下片台升降机构,其特征在于,包括升降驱动装置(1)和基片托架(2),升降驱动装置(1)上方设置有基片托架(2);所述的升降驱动装置(1)包括下支撑板(101)、上支撑板(102)、驱动气缸(103)、下油压缓冲器(104)、上油压缓冲器(105)、限位调节缓冲块(106)、导向杆(107)和直线轴承(108),驱动气缸(103)安装在上支撑板(102)上,直线轴承(108)与导向杆(107)固定后通过螺丝安装在上支撑板(102)上,下支撑板(101)与基片托架(2)通过螺丝与导向杆(107)相连,上支撑板(102)上还设置有上油压缓冲器(105)、限位调节缓冲块(106),下支撑板(101)上设置有下油压缓冲器(104)。
【技术特征摘要】
1.一种上下片台升降机构,其特征在于,包括升降驱动装置(1)和基片托架(2),升降驱动装置(1)上方设置有基片托架(2);所述的升降驱动装置(1)包括下支撑板(101)、上支撑板(102)、驱动气缸(103)、下油压缓冲器(104)、上油压缓冲器(105)、限位调节缓冲块(106)、导向杆(107)和直线轴承(108),驱动气缸(103)安装在上支撑板(102)上,直线轴承(108)与导向杆(107)固定后通过螺丝安装在上支撑板(102)...
【专利技术属性】
技术研发人员:张俊峰,赵子东,许春立,张大剑,
申请(专利权)人:上海子创镀膜技术有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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