一种蒸镀设备和蒸镀方法技术

本发明专利技术公开了一种蒸镀设备和蒸镀方法，以改善现有技术在制作OLED时，存在蒸镀材料在长时间消耗，但无产品产出，材料利用率较低的问题。所述蒸镀设备，包括多个传送腔室，与每一所述传送腔室对接且用于对基板进行膜层蒸镀的蒸镀腔室，位于每相邻两个所述传送腔室之间且用于对所述基板进行传送的第一传送部件，以及与各所述传送腔室对接的第二传送部件；每一所述蒸镀腔室包括至少一组蒸镀部，每一所述蒸镀部包括至少两个蒸镀单元，每一所述蒸镀单元用于放置一个所述基板，所述第二传送部件被配置为在一组所述蒸镀部更换掩膜板时传送待检测的测试蒸镀基板。

A Steaming Equipment and Method

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀设备和蒸镀方法
本专利技术涉及半导体
，尤其涉及一种蒸镀设备和蒸镀方法。
技术介绍
平面显示器(F1atPane1Disp1ay，FPD)己成为市场上的主流产品，平面显示器的种类也越来越多，如液晶显示器(LiquidCrysta1Disp1ay，LCD)、有机发光二极管(OrganicLightEmittedDiode，OLED)显示器、等离子体显示面板(P1asmaDisp1ayPane1，PDP)及场发射显示器(FieldEmissionDisplay，FED)等。目前市场广泛使用的屏幕是LCD和OLED，而OLED主要应用于小尺寸面板。OLED与LCD相比，其显示具有轻薄，低功耗，高对比度，高色域，可以实现柔性显示等优点，是下一代显示器的发展趋势。OLED显示包括动矩阵有机电激发光二极管(PassivematrixOLED，PMOLED)和主动式有机电激发光二极管(ActivematrixOLED，AMOLED)显示，其中AMOLED显示的实现方式有低温多晶硅背板(LowTemperaturePoly-silicon，LTPS)+精细金属掩膜(FMMMask)方式，和Oxide背板+WOLED+彩膜的方式。前者主要应用于小尺寸面板，对应手机和移动应用；后者主要应用于大尺寸面板，对应Monitor和电视等应用。现在LTPS背板+FMMMask的方式已经初步成熟，实现了量产。OLED显示技术和产业的国家和地区主要集中在亚洲，OLED市场前景广阔。但现有技术采用精细金属掩膜(FMMMask)制作OLED时，存在蒸镀材料在长时间消耗，但无产品产出，材料利用率较低的问题。
技术实现思路
本专利技术提供一种蒸镀设备和蒸镀方法，以改善现有技术在制作OLED时，存在蒸镀材料在长时间消耗，但无产品产出，材料利用率较低的问题。本专利技术实施例提供一种蒸镀设备，包括多个传送腔室，与每一所述传送腔室对接且用于对基板进行膜层蒸镀的蒸镀腔室，位于每相邻两个所述传送腔室之间且用于对所述基板进行传送的第一传送部件，以及与各所述传送腔室对接的第二传送部件；每一所述蒸镀腔室包括至少一组蒸镀部，每一所述蒸镀部包括至少两个蒸镀单元，每一所述蒸镀单元用于放置一个所述基板，所述第二传送部件被配置为在一组所述蒸镀部更换掩膜板时传送待检测的测试蒸镀基板。在一种可能的实施方式中，所述第二传送部件包括导轨以及位于所述导轨上的载台，所述导轨被配置为对所述载台上承载的所述测试蒸镀基板进行传送。在一种可能的实施方式中，所述第二传送部件的传送速率大于所述第一传送部件的传送速率。在一种可能的实施方式中，每一所述蒸镀腔室包括至少两组蒸镀部，在一组所述蒸镀部更换掩模板时，其余所述蒸镀部被配置为对通过所述第一传送部件顺次传送的各所述基板进行连续蒸镀。在一种可能的实施方式中，所述传送腔室与所述蒸镀腔室之间具有与每一所述蒸镀单元对应的对接口；或者，所述传送腔室与所述蒸镀腔室之间具有与每一所述蒸镀部对应的对接口；或者，所述传送腔室与所述蒸镀腔室之间具有一对接口。在一种可能的实施方式中，还包括与最后一个传送腔室对接的检测腔室，所述检测腔室被配置为对所述测试蒸镀基板进行检测。在一种可能的实施方式中，每一所述传送腔室均具有机械手，所述机械手被配置为将所述基板从所述第一传送部件放进所述蒸镀腔室，并从所述蒸镀腔室将所述基板放置到所述第一传送部件，以及从所述所述蒸镀腔室将所述测试蒸镀基板放置到所述第二传送部件。在一种可能的实施方式中，每一所述蒸镀腔室包括一蒸镀源，每一所述蒸镀腔室还包括用于对所述蒸镀源进行遮挡的挡板，所述挡板被配置为在所述蒸镀源由一组所述蒸镀部移动到另一组所述蒸镀部时，对所述蒸镀源进行遮挡。本专利技术实施例还提供一种采用如本专利技术实施例提供的所述蒸镀设备进行蒸镀的蒸镀方法，所述蒸镀方法包括：所述第二传送部件在一组所述蒸镀部更换掩膜板时传送待检测的测试蒸镀基板。在一种可能的实施方式中，每一所述蒸镀腔室包括至少两组蒸镀部；所述蒸镀方法还包括：在一组所述蒸镀部更换掩模板时，其余所述蒸镀部对通过所述传第一送部件顺次传送的各所述基板进行连续蒸镀。本专利技术实施例有益效果如下：本专利技术实施例提供的蒸镀设备，包括多个传送腔室，与每一所述传送腔室对接且用于对基板进行膜层蒸镀的蒸镀腔室，位于每相邻两个所述传送腔室之间且用于对所述基板进行传送的第一传送部件，以及与各所述传送腔室对接的第二传送部件；每一所述蒸镀腔室包括至少一组蒸镀部，所述第二传送部件被配置为在一组所述蒸镀部更换掩膜板时传送待检测的测试蒸镀基板，进而，在具体蒸镀基板时，第一传送部件可以对蒸镀腔室正常蒸镀的基板进行依次传送，而对于已达到一定蒸镀数量，不能再持续蒸镀应用的掩膜板，并需要通过多次试蒸镀才能使掩膜板准确对位的蒸镀部，第二传送部件可以对试蒸镀的测试蒸镀基板进行单独传送，不影响其它蒸镀部与第一传送部件组成的生产传送线的正常运作，进而可以在更换掩膜板的同时进行基板蒸镀，不占用原有的生产传送线，进而可以改善现有技术在制作OLED时，存在蒸镀材料在长时间消耗，但无产品产出，材料利用率较低的问题，且相比于对各个蒸镀单元的掩膜板进行轮次更换时，通过原有生产线对测试蒸镀基板进行运送，由于原有生产线上还运送有其它基板，并需按序将该些基板运送到相应蒸镀腔室进行蒸镀，对测试蒸镀基板的运送速率受限，本专利技术实施例中的蒸镀设备，由于不通过原有生产传送线进行传送测试蒸镀基板，测试蒸镀基板的传送速度较快，也可以缩短更换掩膜板的时间，提高蒸镀材料的利用率。附图说明图1为本专利技术实施例提供的一种蒸镀设备的结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的包括有两组蒸镀部的蒸镀设备的结构示意图；图3为本专利技术实施例提供的第二传送部件包括有载台的蒸镀设备的结构示意图；图4为本专利技术实施例提供的每一蒸镀单元对应设置有一对接口的蒸镀设备的结构示意图；图5为本专利技术实施例提供的所有蒸镀单元对应设置有一对接口的蒸镀设备的结构示意图；图6为本专利技术实施例提供的一种具体的蒸镀设备的结构示意图；图7为本专利技术实施例的挡板短边侧室截面图；图8为本专利技术实施例的挡板长边侧室表面图；图9为本专利技术实施例的挡板短边侧室表面图。具体实施方式为了使得本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括多个传送腔室，与每一所述传送腔室对接且用于对基板进行膜层蒸镀的蒸镀腔室，位于每相邻两个所述传送腔室之间且用于对所述基板进行传送的第一传送部件，以及与各所述传送腔室对接的第二传送部件；每一所述蒸镀腔室包括至少一组蒸镀部，每一所述蒸镀部包括至少两个蒸镀单元，每一所述蒸镀单元用于放置一个所述基板，所述第二传送部件被配置为在一组所述蒸镀部更换掩膜板时传送待检测的测试蒸镀基板。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括多个传送腔室，与每一所述传送腔室对接且用于对基板进行膜层蒸镀的蒸镀腔室，位于每相邻两个所述传送腔室之间且用于对所述基板进行传送的第一传送部件，以及与各所述传送腔室对接的第二传送部件；每一所述蒸镀腔室包括至少一组蒸镀部，每一所述蒸镀部包括至少两个蒸镀单元，每一所述蒸镀单元用于放置一个所述基板，所述第二传送部件被配置为在一组所述蒸镀部更换掩膜板时传送待检测的测试蒸镀基板。2.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述第二传送部件包括导轨以及位于所述导轨上的载台，所述导轨被配置为对所述载台上承载的所述测试蒸镀基板进行传送。3.如权利要求1或2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述第二传送部件的传送速率大于所述第一传送部件的传送速率。4.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，每一所述蒸镀腔室包括至少两组蒸镀部，在一组所述蒸镀部更换掩模板时，其余所述蒸镀部被配置为对通过所述第一传送部件顺次传送的各所述基板进行连续蒸镀。5.如权利要求4所述的蒸镀设备，其特征在于，所述传送腔室与所述蒸镀腔室之间具有与每一所述蒸镀单元对应的对接口；或者，所述传送腔室与所述蒸镀腔室之间具有与每一所述蒸镀部对应的对接...

【专利技术属性】
技术研发人员：何瑞亭，李晓康，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京,11