蒸镀设备及蒸镀设备检测方法技术

本发明专利技术提供一种蒸镀设备及蒸镀设备检测方法，通过将蒸镀源、第一弹性压缩部、微动开关均设置于蒸镀腔体内；第一弹性压缩部的一端连接微动开关，另一端延伸至预设的起始接触位置，用于在蒸镀源移动至起始接触位置时触发微动开关闭合；计时单元与微动开关电连接，用于响应微动开关的闭合进行计时，并输出检测时长。当检测时长超出阈值时长时，获取报警信息，实现了以机械结构对蒸镀源的移动进行检测，提高了检测的可靠性。本实施例中供电控制装置与蒸镀源接触和联动的结构均为机械结构，耐受蒸镀腔体内的高温环境，具有较高的结构稳定性。

Testing methods of evaporating plating equipment and evaporating plating equipment

【技术实现步骤摘要】
蒸镀设备及蒸镀设备检测方法
本专利技术涉及传感器
，尤其涉及一种蒸镀设备及蒸镀设备检测方法。
技术介绍
在蒸镀设备中，通过控制蒸镀源在封闭的有机腔体内来回移动对基板进行蒸镀。然而，为了保证所有基板能够完全蒸镀，蒸镀源的蒸镀行程通常要大于其基板的长度，并在蒸镀行程的起点和终点进行限位感应，避免蒸镀源的移动远超其蒸镀行程而与腔体内壁发生碰撞。现有的蒸镀设备中，将超过蒸镀行程预设余量的位置作为限位基准位置，并在基准面上设置光电传感器。被封装在封闭有机腔体中的光电传感器设置在两侧的限位基准位置，用于在检测蒸镀源到超出蒸镀行程的异常移动时，输出警报信息至运动控制单元以停止蒸镀源的移动。然而，光电传感器在高温环境下可靠性不高，在光电传感器输出警报信息时，可能是蒸镀源的机械结构故障导致其位置异常，也可能是光电传感器本身发生移位导致检测异常，需要中断蒸镀并开腔确认。因此，现有技术中对蒸镀源进行位置检测的方案可靠性不高。
技术实现思路
本专利技术提供一种蒸镀设备及蒸镀设备检测方法，当检测时长超过阈值时间时，获取超限报警信息，实现了以机械结构对蒸镀源的移动进行检测，提高了检测的可靠性。根据本专利技术的第一方面，提供一种蒸镀设备，包括：蒸镀腔体、蒸镀源以及位置传感器；所述位置传感器包括：第一弹性压缩部、微动开关以及计时单元；其中，所述蒸镀源、所述第一弹性压缩部、所述微动开关均设置于所述蒸镀腔体内；所述第一弹性压缩部的一端连接所述微动开关，另一端延伸至预设的起始接触位置，用于在蒸镀源移动至所述起始接触位置时触发所述微动开关闭合；所述计时单元与所述微动开关电连接，用于响应所述微动开关的闭合进行计时，并输出检测时长。可选地，所述微动开关包括：静触点对和移动导电部；所述静触点对设置在所述计时单元的供电线路上；所述移动导电部的一侧与所述静触点对相对应，另一侧连接所述第一弹性压缩部，用于由所述第一弹性压缩部带动连通至所述静触点对。可选地，还包括至少一个限位部，所述至少一个限位部设置于所述蒸镀腔体内，且所述至少一个限位部与所述微动开关位于所述起始接触位置的相同侧，其中，所述至少一个限位部形成的限位面与所述起始接触位置的距离，小于所述微动开关与所述起始接触位置的距离。可选地，还包括：可移动支持部；所述可移动支持部的一侧与所述第一弹性压缩部延伸至与所述起始接触位置的一端连接，所述可移动支持部的另一侧用于与所述蒸镀源接触；其中，所述可移动支持部与所述第一弹性压缩部连接的一侧还与至少一个所述限位部对应，以在所述可移动支持部到达所述限位面时与所述至少一个限位部抵设。可选地，还包括：与所述限位部一一对应的第二弹性压缩部；所述第二弹性压缩部的一端连接所述限位部，另一端延伸至与所述起始接触位置并连接所述可移动支持部。可选地，还包括：数据处理单元；所述数据处理单元与所述计时单元电连接，用于从所述计时单元获取所述检测时长；在所述检测时长小于预设的时长阈值时，根据所述检测时长的一半和预设的蒸镀源移动速度，获取所述蒸镀源超出所述起始接触位置的位移距离；在所述检测时长大于或等于所述时长阈值时，获取超限报警信息；其中，所述时长阈值为所述蒸镀源移动2倍预设限位距离的时长，所述预设限位距离为预设限位面与所述起始接触位置的距离。可选地，还包括：数据处理单元；所述数据处理单元与所述蒸镀源的驱动单元连接，用于从所述驱动单元获取驱动方向信息或者驱动停止信息；所述数据处理单元还与所述计时单元电连接，用于在所述驱动方向信息指示的方向从正向切换为负向时，或者接收到所述驱动停止信息时，向所述计时单元发送停止计时的指令，并从所述计时单元获取计时时长作为所述检测时长；根据所述检测时长和预设的蒸镀源移动速度，获取所述蒸镀源超出所述起始接触位置的位移距离。可选地，所述蒸镀源的预设行程的两端都分别设置有至少一个所述位置传感器，且所述两端的端点位置均设置在与端点对应的所述起始接触位置、所述微动开关之间。根据本专利技术的第二方面，提供一种蒸镀设备检测方法，应用于本专利技术第一方面及第一方面各种可能设计所述的蒸镀设备，所述方法包括：从所述计时单元获取所述检测时长；在所述检测时长小于预设的时长阈值时，根据所述检测时长或者所述检测时长的一半，和预设的蒸镀源移动速度，获取所述蒸镀源超出所述起始接触位置的所述位移距离；在所述检测时长大于或等于所述时长阈值时，获取超限报警信息；其中，所述时长阈值为所述蒸镀源移动预设限位距离的时长或为所述蒸镀源移动2倍预设限位距离的时长，所述预设限位距离为预设限位面与所述起始接触位置的距离。根据本专利技术的第三方面，提供一种蒸镀设备检测方法，应用于本专利技术第一方面及第一方面各种可能设计所述的蒸镀设备，所述方法包括：从所述驱动单元获取驱动方向信息或者驱动停止信息；在所述驱动方向信息指示的方向从正向切换为负向时，或者接收到所述驱动停止信息时，向所述计时单元发送停止计时的指令，并从所述计时单元获取计时时长作为所述检测时长；根据所述检测时长和预设的蒸镀源移动速度，获取所述位移距离。本专利技术提供一种蒸镀设备及蒸镀设备检测方法，通过将蒸镀源、第一弹性压缩部、微动开关均设置于蒸镀腔体内；第一弹性压缩部的一端连接微动开关，另一端延伸至预设的起始接触位置，用于在蒸镀源移动至起始接触位置时触发微动开关闭合；计时单元与微动开关电连接，用于响应微动开关的闭合进行计时，并输出检测时长，当检测时长大于阈值时长时，获取超限报警信息，实现了以机械结构对蒸镀源的移动进行检测，提高了检测的可靠性。而且，本实施例中供电控制装置与蒸镀源接触和联动的结构均为机械结构，耐受蒸镀腔体内的高温环境，具有较高的结构稳定性。附图说明图1是现有技术中的一种蒸镀设备示意图；图2是本专利技术实施例提供的一种位置传感器结构示意图；图3是本专利技术实施例提供的另一种位置传感器结构示意图；图4是本专利技术实施例提供的再一种位置传感器结构示意图；图5是本专利技术实施例提供的又一种位置传感器结构示意图；图6是本专利技术实施例提供的又一种位置传感器结构示意图；图7是本专利技术实施例提供的又一种位置传感器结构示意图；图8是本专利技术实施例提供的又一种位置传感器结构示意图；图9是本专利技术实施例提供的一种蒸镀设备检测方法流程示意图；图10是本专利技术实施例提供的又一种位置传感器结构示意图；图11是本专利技术实施例提供的另一种蒸镀设备检测方法流程示意图；图12是本专利技术实施例提供的一种蒸镀设备结构示意图。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个、三个等，除非另有明确具体的限定。应当理解，在本专利技术中，“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列单元的系统、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：蒸镀腔体、蒸镀源以及位置传感器；所述位置传感器包括：第一弹性压缩部、微动开关以及计时单元；其中，所述蒸镀源、所述第一弹性压缩部、所述微动开关均设置于所述蒸镀腔体内；所述第一弹性压缩部的一端连接所述微动开关，另一端延伸至预设的起始接触位置，用于在蒸镀源移动至所述起始接触位置时触发所述微动开关闭合；所述计时单元与所述微动开关电连接，用于响应所述微动开关的闭合进行计时，并输出检测时长。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：蒸镀腔体、蒸镀源以及位置传感器；所述位置传感器包括：第一弹性压缩部、微动开关以及计时单元；其中，所述蒸镀源、所述第一弹性压缩部、所述微动开关均设置于所述蒸镀腔体内；所述第一弹性压缩部的一端连接所述微动开关，另一端延伸至预设的起始接触位置，用于在蒸镀源移动至所述起始接触位置时触发所述微动开关闭合；所述计时单元与所述微动开关电连接，用于响应所述微动开关的闭合进行计时，并输出检测时长。2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述微动开关包括：静触点对和移动导电部；所述静触点对设置在所述计时单元的供电线路上；所述移动导电部的一侧与所述静触点对相对应，另一侧连接所述第一弹性压缩部，用于由所述第一弹性压缩部带动连通至所述静触点对。3.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括至少一个限位部，所述至少一个限位部设置于所述蒸镀腔体内，且所述至少一个限位部与所述微动开关位于所述起始接触位置的相同侧，其中，所述至少一个限位部形成的限位面与所述起始接触位置的距离，小于所述微动开关与所述起始接触位置的距离。4.根据权利要求3所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括：可移动支持部；所述可移动支持部的一侧与所述第一弹性压缩部延伸至与所述起始接触位置的一端连接，所述可移动支持部的另一侧用于与所述蒸镀源接触；其中，所述可移动支持部与至少一个所述限位部对应，以在所述可移动支持部到达所述限位面时与所述至少一个限位部抵设。5.根据权利要求4所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括：与所述限位部一一对应的第二弹性压缩部；所述第二弹性压缩部的一端连接所述限位部，另一端延伸至与所述起始接触位置并连接所述可移动支持部。6.根据权利要求1至5任一所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括：数据处理单元；所述数据处理单元与所述计时单元电连接，用于从所述计时单元获取所述检测时长；在所述检测时长小于预设的时长阈值时，根据所述检测时长的一半和预设的蒸镀源移动速度，...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛斌，王宝友，金铉雨，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32