掩膜板组件及其制备方法技术

技术编号:21881795 阅读:14 留言:0更新日期:2019-08-17 11:06
本公开提供了一种掩膜板组件,该掩膜板组件包括框架,所述框架上设置有多个掩膜条,每个所述掩膜条上具有对应于待蒸镀产品的蒸镀区域的第一蒸镀开口;相邻两个所述掩膜条之间具有间隔区域,所述间隔区域中设置有填充结构,所述填充结构上设置有对应于待蒸镀产品的蒸镀区域的第二蒸镀开口。本公开还提供了掩膜板组件的制备方法。

Mask module and its preparation method

【技术实现步骤摘要】
掩膜板组件及其制备方法
本公开实施例涉及显示
,特别涉及一种掩膜板组件及其制备方法。
技术介绍
有机发光二极管(OLED)是继液晶显示器之后的新一代显示产品,由于其较佳的色彩饱和度,快的响应速度,可折叠化,轻薄等性能,使其正在逐渐成为显示领域的主流及引领者。然而,由于市场对平板(Pad)、折叠及车载产品的需求,屏幕尺寸越来越大成为必然趋势。随着OLED市场占有率提高,平板、车载、折叠等大尺寸产品的需求越来越大,平板、车载、折叠等产品的屏幕尺寸将逐渐增大,手机产品也将不再局限于5寸、6寸等。相应的,这些产品的制备工艺中所采用的掩模板(如精细掩模板FMM)的宽度也必然会增宽,才能在掩模板上设置更多的像素开孔。然而,FMM的宽度越宽,在工艺相同条件下,通常会使得FMM的制作良率下降,甚至很难制作(如FMM的宽度在400mm以上),FMM的宽度越宽张网难度越大,尤其是使用多个夹爪(Gripper)进行张网工艺时,FMM的褶皱问题将很难克服,这些问题都将成为大尺寸显示面板(Panel)制作的瓶颈。
技术实现思路
本公开实施例旨在至少解决上述现有技术中存在的技术问题之一,提供一种掩膜板组件及其制备方法。第一方面,本公开实施例提供了一种掩膜板组件,该掩膜板组件包括框架,所述框架上设置有多个掩膜条,每个所述掩膜条上具有对应于待蒸镀产品的蒸镀区域的第一蒸镀开口;相邻两个所述掩膜条之间具有间隔区域,所述间隔区域中设置有填充结构,所述填充结构上设置有对应于待蒸镀产品的蒸镀区域的第二蒸镀开口。在一些实施例中,所述填充结构的厚度与所述掩膜条的厚度相同。在一些实施例中,所述填充结构的材料为金属材料。在一些实施例中,所述填充结构的材料为镍铁合金材料。在一些实施例中,所述掩膜条包括图案区域和位于所述图案区域的周边的非图案区域,所述掩膜条上的所述第一蒸镀开口位于所述图案区域,所述掩膜条的靠近所述间隔区域的非图案区域设置有对应于待蒸镀产品的蒸镀区域的第三蒸镀开口。在一些实施例中,所述掩膜条为精细金属掩膜条。第二方面,本公开实施例提供了一种掩膜板组件的制备方法,该掩膜板组件包括前述任一实施例提供的掩膜板组件,该制备方法包括:形成框架;形成多个掩膜条,每个所述掩膜条上具有对应于待蒸镀产品的蒸镀区域的第一蒸镀开口;将多个掩膜条设置于所述框架上,相邻两个所述掩膜条之间具有间隔区域;在相邻两个所述掩膜条之间的间隔区域中形成填充结构,所述填充结构上设置有对应于待蒸镀产品的蒸镀区域的第二蒸镀开口。在一些实施例中,所述在相邻两个所述掩膜条之间的间隔区域形成填充结构,包括:在所述掩膜条的背离所述框架的一侧形成基板;在所述基板的背离所述掩膜条的一侧,形成与所述间隔区域对应的磁性结构;在所述基板的靠近所述掩膜条的一侧,在所述间隔区域中形成填充结构材料层;对所述填充结构材料层进行构图工艺,形成具有对应于待蒸镀产品的蒸镀区域的第二蒸镀开口的填充结构。在一些实施例中,所述在所述基板的靠近所述掩膜条的一侧,在所述间隔区域中形成填充结构材料层,包括:在所述基板的靠近所述掩膜条的一侧,通过电镀方法在所述间隔区域中形成填充结构材料层。在一些实施例中,所述掩膜条包括图案区域和位于所述图案区域的周边的非图案区域,所述掩膜条上的所述第一蒸镀开口位于所述图案区域,所述制备方法还包括:在所述掩膜条的靠近所述间隔区域的非图案区域形成对应于待蒸镀产品的蒸镀区域的第三蒸镀开口。附图说明图1为本公开实施例提供的一种掩膜板组件的结构示意图;图2为图1中的掩膜条和填充结构的截面示意图;图3为本公开实施例提供的一种掩膜板组件的制备方法的流程图;图4为将多个掩膜条设置于框架上的示意图;图5为在相邻两个掩膜条之间的间隔区域中形成填充结构的示意图;图6为本公开实施例中步骤104的一种具体实施方式的流程图;图7为在掩膜条的背离框架的一侧形成基板的示意图;图8为形成与间隔区域对应的磁性结构的示意图;图9为掩膜条、基板和磁性结构的截面示意图;图10为在间隔区域中形成填充结构材料层的示意图;图11为通过电镀方法在间隔区域中形成填充结构材料层的示意图。具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本公开的技术方案,下面结合附图对本公开提供的掩膜板组件及其制备方法进行详细描述。图1为本公开实施例提供的一种掩膜板组件的结构示意图,如图1所示,该掩膜板组件包括框架(Frame)1,框架1上设置有多个掩膜条2,每个掩膜条2上具有对应于待蒸镀产品的蒸镀区域的第一蒸镀开口21;相邻两个掩膜条2之间具有间隔区域G,间隔区域G中设置有填充结构3,填充结构3上设置有对应于待蒸镀产品的蒸镀区域的第二蒸镀开口31。本公开实施例所提供的掩膜板组件中,掩膜条仍可采用常规尺寸的掩模条,在对掩膜条进行常规的张网工艺后,可以通过在相邻掩膜条之间的间隔区域设置具有对应于待蒸镀产品的蒸镀区域的第二蒸镀开口的填充结构,从而实现宽尺寸的掩模板的制作,实现大尺寸产品的制作,同时,保证了掩膜条的制作良率,降低了宽尺寸掩模板的张网工艺的难度,有效防止了宽尺寸掩模板的褶皱问题的出现。在本公开实施例中,待蒸镀产品可以为显示产品,例如显示基板(BP基板),蒸镀区域可以为像素区域,第一蒸镀口、第二蒸镀口可以为对应产品像素(Pixel)的像素开孔。在一些实施例中,显示产品可以为OLED显示基板。在本公开实施例中,掩膜条2为精细金属掩膜条(FMM)。在本公开实施例中,填充结构3的材料为金属材料。在一些实施例中,填充结构3的材料为镍铁合金材料,从而使得填充结构3具有磁性、热膨胀系数小且耐腐蚀。在本公开实施例中,填充结构3可以采用电镀方法形成于间隔区域G中。图2为图1中的掩膜条和填充结构的截面示意图,如图1和图2所示,在本公开实施例中,填充结构3沿第一方向XX’的厚度与掩膜条2沿第一方向XX’的厚度相同,填充结构3沿第二方向YY’的宽度与间隔区域G沿第二方向YY’的宽度相同,其中,如图2所示,第一方向XX’和第二方向YY’相互垂直。结合图1和图2,在本公开实施例中,填充结构3的远离框架1的一侧表面与掩膜条3的远离框架1的一侧表面平齐,填充结构3的靠近框架1的一侧表面与掩膜条3的靠近框架1的一侧表面平齐。继续参见图1,在本公开实施例中,掩膜条2包括图案区域M和位于图案区域M的周边的非图案区域N,掩膜条2上的第一蒸镀开口21位于图案区域M,掩膜条2的靠近间隔区域G的非图案区域N设置有对应于待蒸镀产品的蒸镀区域的第三蒸镀开口22。如图1所示,掩膜条2的靠近间隔区域G的非图案区域N为图案区域M沿第三方向AA’的一侧边缘,掩膜条2的沿第四方向BB’设置的非图案区域N对应设置于框架1上,掩膜条2的沿第四方向BB’设置的非图案区域N为图案区域M沿第四方向BB’的一侧边缘,其中,第三方向AA’和第四方向BB’相互垂直。在本公开实施例中,第二蒸镀开口31、第三蒸镀开口22采用激光图案掩膜(LaserPatterningMask,简称:LPM)工艺形成。在本公开实施例中,根据显示产品中,像素的排布方式,设置第一蒸镀开口21、第二蒸镀开口31和第三蒸镀开口22的排布方式。例如,如图1所示,第一蒸镀开口21、第二蒸镀开口31和第三蒸镀开口22以阵列排布方式设置,第一蒸镀开口21、第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩膜板组件,其特征在于,包括框架,所述框架上设置有多个掩膜条,每个所述掩膜条上具有对应于待蒸镀产品的蒸镀区域的第一蒸镀开口;相邻两个所述掩膜条之间具有间隔区域,所述间隔区域中设置有填充结构,所述填充结构上设置有对应于待蒸镀产品的蒸镀区域的第二蒸镀开口。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板组件,其特征在于,包括框架,所述框架上设置有多个掩膜条,每个所述掩膜条上具有对应于待蒸镀产品的蒸镀区域的第一蒸镀开口;相邻两个所述掩膜条之间具有间隔区域,所述间隔区域中设置有填充结构,所述填充结构上设置有对应于待蒸镀产品的蒸镀区域的第二蒸镀开口。2.根据权利要求1所述的掩膜板组件,其特征在于,所述填充结构的厚度与所述掩膜条的厚度相同。3.根据权利要求1所述的掩膜板组件,其特征在于,所述填充结构的材料为金属材料。4.根据权利要求3所述的掩膜板组件,其特征在于,所述填充结构的材料为镍铁合金材料。5.根据权利要求1-4中任一所述的掩膜板组件,其特征在于,所述掩膜条包括图案区域和位于所述图案区域的周边的非图案区域,所述掩膜条上的所述第一蒸镀开口位于所述图案区域,所述掩膜条的靠近所述间隔区域的非图案区域设置有对应于待蒸镀产品的蒸镀区域的第三蒸镀开口。6.根据权利要求1-4中任一所述的掩模板组件,其特征在于,所述掩膜条为精细金属掩膜条。7.一种掩膜板组件的制备方法,其特征在于,所述掩膜板组件包括权利要求1-6中任一所述的掩膜板组件,所述制备方法包括:形成框架;形成多个掩膜条,每个所述掩膜条上具有对应于待蒸镀产品的蒸镀区域的...

【专利技术属性】
技术研发人员:张微曹鹏
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司成都京东方光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:北京,11

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