一种加热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种加热装置，用于将放置晶片的载具加热至设定温度，包括腔体结构和加热部件，加热部件设置在腔体结构内部，载具也用于设置在腔体结构内部，加热部件用于围设在载具外围，以对载具进行加热；腔体结构包括腔体和顶盖，腔体一端开口，顶盖用于盖合在腔体的开口上。该加热装置，通过设置腔体结构和加热部件，能够将放置晶片的载具加热至设定温度，相对于现有的通过预热水槽加热载具的方案，该加热装置能将载具加热至任意的设定温度，从而解决了水槽加热载具存在的加热温度受限的问题，同时，通过该加热装置加热后的载具的温度能够弥补载具转移过程中发生的热量损失，从而能保证载具移动到目标位置时的温度仍然可以满足工艺要求。

A Heating Device

【技术实现步骤摘要】
一种加热装置
本技术涉及太阳能电池
，具体地，涉及一种加热装置。
技术介绍
在太阳能电池的制备工艺中，典型湿法刻蚀工艺中的晶片预热大多在可加热升温的纯水槽内进行。预热前，首先将形成有聚合物薄膜的晶片(例如砷化镓晶片)放到特制的载具内，然后通过机械手将载具运送到预热水槽内并将其预热到目标温度。载具在预热后的转移过程中，会不可避免地发生热量流失从而导致载具内的晶片温度降低，转移过程越长，流失的热量越多，为保证载具在移动到目标位置时的温度仍然可以满足工艺要求，这就对预热温度提出了更高的要求，但受纯水的特性所限，预热温度难以达到100摄氏度以上。因此，晶片载具预热装置的预热温度受限已经成为目前亟待解决的问题。
技术实现思路
本技术针对现有技术中存在的上述技术问题，提供一种加热装置，该加热装置能够将放置晶片的载具加热至设定温度，相对于现有的通过预热水槽加热载具的方案，该加热装置能将载具加热至任意的设定温度，从而解决了水槽加热载具存在的加热温度受限的问题，同时，通过该加热装置加热后的载具的温度能够弥补载具转移过程中发生的热量损失，从而能保证载具移动到目标位置时的温度仍然可以满足工艺要求。本技术提供一种加热装置，用于将放置晶片的载具加热至设定温度，包括腔体结构和加热部件，所述加热部件设置在所述腔体结构内部，所述载具也用于设置在所述腔体结构内部，所述加热部件用于围设在所述载具外围，以对所述载具进行加热；所述腔体结构包括腔体和顶盖，所述腔体一端开口，所述顶盖用于盖合在所述腔体的开口上，以封闭所述腔体的开口。优选地，所述腔体包括由外层壁和内层壁围设形成的中空封闭的第一壳体，所述腔体还包括填充于所述第一壳体内的保温材料。优选地，所述腔体包括底壁和四周侧壁，所述腔体的一侧侧壁上开设有进气管道，所述腔体的与所述进气管道所在侧壁相邻的相对两侧壁上开设有出气管道，所述进气管道用于向所述腔体内输入空气，所述出气管道用于从所述腔体内向外输出空气。优选地，所述腔体结构还包括设置在所述腔体内底壁上的承载部，所述承载部包括支撑柱和托盘，所述支撑柱的一端与所述腔体的底壁固定连接，所述托盘固定在所述支撑柱的另一端上，所述托盘上用于放置所述载具。优选地，所述加热部件包括设置于所述腔体内的第一加热线圈，所述第一加热线圈用于围设于所述载具的四周外围，所述第一加热线圈固定在所述托盘上，且所述第一加热线圈与所述腔体之间相互间隔设定距离。优选地，所述腔体结构还包括第一保护屏障，所述第一保护屏障设置在所述腔体内，且用于围设在所述载具的四周外围，所述第一保护屏障固定在所述托盘上，且所述第一保护屏障用于设置在所述第一加热线圈和所述载具之间，以将所述第一加热线圈与所述载具隔开。优选地，所述第一保护屏障上开设有均匀分布的散热孔，所述散热孔能使所述第一加热线圈的热量通过，以对所述载具进行加热。优选地，所述腔体结构还包括挡板，所述挡板设置在所述腔体内，且位于所述出气管道所在侧壁上，所述挡板延伸至与所述第一保护屏障相接触，所述挡板的设置位置介于所述出气管道与所述进气管道之间，用于阻挡从所述进气管道输入的空气直接从与所述进气管道邻近的所述出气管道输出。优选地，所述顶盖包括门体和驱动机构，所述门体与所述驱动机构连接，所述驱动机构能驱动所述门体开启和关闭，所述门体能在关闭时盖合在所述腔体的开口上，以封闭所述腔体的开口。优选地，还包括温度监测部件，所述温度监测部件设置在所述第一保护屏障的背离所述第一加热线圈的一侧以及所述顶盖的面向所述腔体内的一侧，所述温度监测部件能实时监测所述载具的温度。本技术的有益效果：本技术所提供的加热装置，通过设置腔体结构和加热部件，能够将放置晶片的载具加热至设定温度，相对于现有的通过预热水槽加热载具的方案，该加热装置能将载具加热至任意的设定温度，从而解决了水槽加热载具存在的加热温度受限的问题，同时，通过该加热装置加热后的载具的温度能够弥补载具转移过程中发生的热量损失，从而能保证载具移动到目标位置时的温度仍然可以满足工艺要求。附图说明图1为本技术实施例中加热装置的结构示意图；图2为本技术实施例中加热装置沿图1中AA′方向的侧视图；图3为本技术实施例中加热装置沿图1中BB′方向剖切面的剖视图；图4为本技术实施例中加热装置沿图1中CC′方向剖切面的剖视图；图5为本技术实施例中加热装置加热时的气流流向俯视示意图。其中的附图标记说明：1.腔体结构；10.腔体；101.第一壳体；102.保温材料；103.进气管道；104.出气管道；105.滑轨；11.顶盖；110.门体；1101.第二壳体；1102.第二保护屏障；1103.滑轮；12.承载部；120.支撑柱；121.托盘；122.定位块；13.第一保护屏障；14.挡板；2.加热部件；20.第一加热线圈；21.第二加热线圈；3.载具。具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本技术所提供的一种加热装置作进一步详细描述。本实施例提供一种加热装置，如图1-图4所示，用于将放置晶片的载具3加热至设定温度，包括腔体结构1和加热部件2，加热部件2设置在腔体结构1内部，载具3也用于设置在腔体结构1内部，加热部件2用于围设在载具3外围，以对载具3进行加热；腔体结构1包括腔体10和顶盖11，腔体10一端开口，顶盖11用于盖合在腔体10的开口上，以封闭腔体10的开口。该加热装置通过设置腔体结构1和加热部件2，能够将放置晶片的载具3加热至设定温度，相对于现有的通过预热水槽加热载具3的方案，该加热装置能将载具3加热至任意的设定温度，从而解决了水槽加热载具3存在的加热温度受限的问题，同时，通过该加热装置加热后的载具3的温度能够弥补载具3转移过程中发生的热量损失，从而能保证载具3移动到目标位置时的温度仍然可以满足工艺要求。本实施例中，腔体10包括由外层壁和内层壁围设形成的中空封闭的第一壳体101，腔体10还包括填充于第一壳体101内的保温材料102。其中，第一壳体101采用非金属材料，非金属材料的保温性能好，能减少腔体10内的热量损失。保温材料102如泡沫等。其中，腔体10包括底壁和四周侧壁，腔体10的一侧侧壁上开设有进气管道103，腔体10的与进气管道103所在侧壁相邻的相对两侧壁上开设有出气管道104，进气管道103用于向腔体10内输入空气，出气管道104用于从腔体10内向外输出空气。进气管道103内设置有吸气风扇，吸气风扇用于向腔体10内吸入空气；出气管道104内设置有抽气风扇，抽气风扇用于从腔体10内向外抽气。进气管道103、吸气风扇、出气管道104和抽气风扇的设置，能使外界空气进入腔体10并在腔体10内流通，从而使腔体10内的热量能够流通到腔体10内的各个角落，进而使腔体10内不同位置的温度均匀，以确保对载具3的均匀加热。优选的，本实施例中，进气管道103和出气管道104均不与保温材料102相通。如此设置，能避免腔体10内的热量泄漏到第一壳体101内的保温材料102中所导致的热量流失，从而确保腔体10内的热量稳定，进而确保腔体10内的热量能够对载具3稳定加热。本实施例中，腔体结构1还包括设置在腔体10内底壁上的承载部12本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加热装置，用于将放置晶片的载具加热至设定温度，其特征在于，包括腔体结构和加热部件，所述加热部件设置在所述腔体结构内部，所述载具也用于设置在所述腔体结构内部，所述加热部件用于围设在所述载具外围，以对所述载具进行加热；所述腔体结构包括腔体和顶盖，所述腔体一端开口，所述顶盖用于盖合在所述腔体的开口上，以封闭所述腔体的开口。

【技术特征摘要】
1.一种加热装置，用于将放置晶片的载具加热至设定温度，其特征在于，包括腔体结构和加热部件，所述加热部件设置在所述腔体结构内部，所述载具也用于设置在所述腔体结构内部，所述加热部件用于围设在所述载具外围，以对所述载具进行加热；所述腔体结构包括腔体和顶盖，所述腔体一端开口，所述顶盖用于盖合在所述腔体的开口上，以封闭所述腔体的开口。2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述腔体包括由外层壁和内层壁围设形成的中空封闭的第一壳体，所述腔体还包括填充于所述第一壳体内的保温材料。3.根据权利要求2所述的加热装置，其特征在于，所述腔体包括底壁和四周侧壁，所述腔体的一侧侧壁上开设有进气管道，所述腔体的与所述进气管道所在侧壁相邻的相对两侧壁上开设有出气管道，所述进气管道用于向所述腔体内输入空气，所述出气管道用于从所述腔体内向外输出空气。4.根据权利要求3所述的加热装置，其特征在于，所述腔体结构还包括设置在所述腔体内底壁上的承载部，所述承载部包括支撑柱和托盘，所述支撑柱的一端与所述腔体的底壁固定连接，所述托盘固定在所述支撑柱的另一端上，所述托盘上用于放置所述载具。5.根据权利要求4所述的加热装置，其特征在于，所述加热部件包括设置于所述腔体内的第一加热线圈，所述第一加热线圈用于围设于所述载具的四周外围，所述第一加热线圈固定在所述托盘上，且所述第一加热线圈与所述腔...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨晓伟，邹金成，李伟，王敬苗，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11