一种防护板组件及镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术涉及镀膜设备技术领域，公开了一种防护板组件及镀膜设备，防护板组件包括：至少一块普通钢板和至少一块花纹板，普通钢板与花纹板层叠设置，其中至少一块花纹板的至少一侧面设置有花纹，且防护板组件的最外侧为设置有花纹的一侧面；防护板组件设于镀膜设备的腔室的内壁，防护板组件背离腔室的内壁的侧面设有花纹。花纹板由于其表面花纹结构，具有良好的热反射性能，热反射率可达85％～95％，能够较普通钢板反射更多的热量；花纹板较钼板成本低廉；该防护板组件具有较好的热屏蔽效果，减少了内部热量向外耗散，能够保持腔室内部温度的稳定性，提升了镀膜工艺的稳定性，提高产品良好率。

A Protective Plate Component and Coating Equipment

【技术实现步骤摘要】
一种防护板组件及镀膜设备
本技术涉及高温真空镀膜设备
，尤其涉及一种防护板组件及镀膜设备。
技术介绍
共蒸发镀膜工艺中，在真空状态下将待镀材料加热后，达到一定的温度使其蒸发，以分子或原子的形态进入空间沉积在基片表面。真空设备的腔体内部温度比较高，需安装热防护板，减少内部热量向外部扩散，设备外部还需要采取降温措施对其进行降温处理。目前，当真空腔室内部温度大于1000℃时，普遍采用钼板作为热防护板，当温度小于1000℃时，则采用一层或几层贴合在一起的普通304钢板作为热防护板。正常工作情况下，共蒸发镀膜工艺中，镀膜设备腔体内部温度为500℃至600℃，温度较高。如果使用普通304钢板，则热屏蔽效果不佳，对设备外部水冷系统提出了很高的要求；同时，内部环境温度分布均匀性及稳定性受到一定程度的影响，同时对加热器提出了更高的要求。若采用钼板，因材料特殊，成本较高，而且未能充分发挥钼板的材料的优势性能。因此，亟需一种防护板组件及镀膜设备，以解决上述技术问题。
技术实现思路
本技术的目的之一在于提出一种防护板组件，其具有较好的热屏蔽效果，且成本较低。为达此目的，本技术采用以下技术方案：一种防护板组件，包括：至少一块普通钢板和至少一块花纹板，所述普通钢板与所述花纹板层叠设置，其中至少一块所述花纹板的至少一侧面设置有花纹，且所述防护板组件的最外侧为设置有花纹的一侧面。花纹板由于其表面花纹结构，具有良好的热反射性能，其热反射率可达85％～95％；其能够较普通钢板反射更多的热量，减少了热量向外耗散；此外，花纹板较钼板成本低廉。优选地，所述花纹板的材质为金属。优选地，所述花纹板为不锈钢花纹板。优选地，所述花纹为凸起。优选地，所述凸起的形状为圆豆形、扁豆形、菱形或扁圆形。优选地，所述普通钢板和所述花纹板的数量均为一块。优选地，所述防护板组件的相邻两块板之间设置有间隙，或相邻两块板紧密贴合。优选地，所述防护板组件的所有板固定连接。优选地，所述防护板组件的所有板通过卡销、螺栓、销钉或铆钉固定连接在一起。本技术的另一目的在于提出一种镀膜设备，其内壁上的防护板组件具有较好的热屏蔽效果，且成本较低。为达此目的，本技术采用以下技术方案：一种镀膜设备，包括如上所述的防护板组件，所述防护板组件设置于所述镀膜设备的腔室的内壁，所述防护板组件背离所述腔室的内壁的侧面设有花纹。该防护板组件具有较好的热屏蔽效果，减少了内部热量向外耗散，能够保持腔室内部温度的稳定性，提升了镀膜工艺的稳定性，提高产品良好率；还降低了对水冷系统的设计要求和加热系统的控制及稳定性要求，减小了加热器的电能消耗，有利于节能减排。优选地，所述防护板组件的数量为多块。优选地，多块所述防护板组件之间相互拼接地贴附在所述腔室的内壁上。优选地，多块所述防护板组件之间相互搭接地贴附在所述腔室的内壁上。本技术的有益效果为：花纹板由于其表面花纹结构，具有良好的热反射性能，其热反射率可达85％～95％；其能够较普通钢板反射更多的热量，减少了热量向外耗散；此外，花纹板较钼板成本低廉。此外，该防护板组件具有较好的热屏蔽效果，减少了内部热量向外耗散，能够保持腔室内部温度的稳定性，提升了镀膜工艺的稳定性，提高产品良好率；还降低了对水冷系统的设计要求和加热系统的控制及稳定性要求，减小了加热器的电能消耗，有利于节能减排。附图说明图1是本技术实施例1提供的防护板组件的结构示意图。图中：1、普通钢板；2、花纹板；21、花纹。具体实施方式下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例1如图1所示，本实施例公开了一种防护板组件，其包括一块普通钢板1和一块花纹板2，普通钢板1与花纹板2层叠设置，其中至少一块花纹板2的至少一侧面设置有花纹21，且防护板组件的最外侧为设置有花纹21的一侧面。花纹板2由于其表面花纹结构，具有良好的热反射性能，其热反射率可达85％～95％；其能够较普通钢板1反射更多的热量，减少了热量向外耗散；此外，花纹板2较钼板成本低廉。本实施例中优选地，普通钢板1为两侧均不设置印有花纹的钢板。花纹板2的材质为金属，本实施例中优选地，花纹板2为不锈钢花纹板，不锈钢花纹板的至少一侧设置有花纹21。两块钢板之间可以设置有间隙，两块钢板还可以紧密贴合设置，本实施例中优选地，两块钢板紧密贴合设置。两块钢板通过卡销、螺栓、销钉或铆钉固定连接在一起。花纹板2可以单侧设置有花纹21，也可以两侧均设置有花纹21。花纹21为凸起，凸起的形状可以为圆豆形、扁豆形、菱形或扁圆形；还可以是这些形状中的任意两种、任意三种或四种图形的自由组合；花纹21也可以是凹陷的形式，即为凹槽状。花纹21的凸点的大小也是任意的。花纹21的形状和花纹21的凸点的大小根据实际使用情况设置：防护板组件的尺寸、环境温度、腔室的大小等等进行实验后选择。花纹板2的厚度也可以任意选择，但是以厚度较薄的为优。花纹板2可以是5WL不锈钢花纹板、6WL不锈钢花纹板或7WL不锈钢花纹板等中的一种。本实施例中优选地，普通钢板1为普通304钢板，花纹板2为6WL不锈钢花纹板，花纹板2的两侧均设置有花纹21，普通钢板1和花纹板2通过卡销固定连接在一起。实施例2本实施例中的防护板组件由多块普通钢板1和多块花纹板2层叠而成。普通钢板1与花纹板2交叉层叠设置在一起；也可以，多块普通钢板1层叠设置形成普通钢板层，花纹板2层叠设置形成花纹板层，普通钢板层与花纹板层层叠设置形成防护板组件；还可以，相邻的花纹板2之间穿插多块普通钢板1，或者相邻的普通钢板1之间穿插多块花纹板2，只需满足防护板组件的至少一个侧面设置有花纹21即可。钢板之间的设置方式、连接方式等，普通钢板1和花纹板2的选材，以及花纹板2的结构均匀实施例1相同。实施例3本实施例中的防护板组件由多块普通钢板1和一块花纹板2组成，或防护板组件由一块普通钢板1和多块花纹板2组成。防护板组件由多块普通钢板1和一块花纹板2组成时，多块普通钢板1层叠形成普通钢板层，普通钢板层与花纹板2层叠形成防护板组件。防护板组件由一块普通钢板1和多块花纹板2组成时，多块花纹板2层叠形成花纹板层，花纹板层与普通钢板层叠形成防护板组件；或普通钢板1穿插设置于任一相邻的两块花纹板2之间。钢板之间的设置方式、连接方式等，普通钢板1和花纹板2的选材，以及花纹板2的结构均匀实施例1相同。实施例4本实施例公开了一种镀膜设备，镀膜设备的腔室的内壁设置有防护板组件，本实施例中选用的防护板组件为实施例1中的防护板组件，还可以为实施例2或实施例3中的防护板组件，防护板组件背离腔室的内壁的侧面设有花纹21，即防护板组件与防护板组件和腔室的内壁相贴合的相对的侧面设置有花纹21。本实施例中的镀膜设备为高温真空镀膜设备。设置于腔室内壁的防护板组件的数量为一块或多块。防护板组件数量为一块时，防护板组件一体成型为与腔室相同的形状设置于腔室的内壁上。防护板组件数量为多块时，多块防护板组件之间可以互相拼接地设置在腔室的内壁上，还可以相互搭接地设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防护板组件，应用于镀膜设备，其特征在于，包括：至少一块普通钢板(1)和至少一块花纹板(2)，所述普通钢板(1)与所述花纹板(2)层叠设置，其中至少一块所述花纹板(2)的至少一侧面设置有花纹(21)，且所述防护板组件的至少一个侧面为设置有花纹(21)的侧面；其中，所述防护板组件的相邻两块板之间设置有间隙，或相邻两块板贴合。

【技术特征摘要】
1.一种防护板组件，应用于镀膜设备，其特征在于，包括：至少一块普通钢板(1)和至少一块花纹板(2)，所述普通钢板(1)与所述花纹板(2)层叠设置，其中至少一块所述花纹板(2)的至少一侧面设置有花纹(21)，且所述防护板组件的至少一个侧面为设置有花纹(21)的侧面；其中，所述防护板组件的相邻两块板之间设置有间隙，或相邻两块板贴合。2.根据权利要求1所述的防护板组件，其特征在于，所述花纹板(2)的材质为金属。3.根据权利要求2所述的防护板组件，其特征在于，所述花纹板(2)为不锈钢花纹板。4.根据权利要求2所述的防护板组件，其特征在于，所述花纹(21)为凸起。5.根据权利要求4所述的防护板组件，其特征在于，所述凸起的形状为圆豆形、扁豆形、菱形或扁圆形。6.根据权利要求1所述的防护板组件，其特征在于，所述普...

【专利技术属性】
技术研发人员：张静，
申请(专利权)人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11