一种用于芯片加工的具有防尘功能的高精度检测设备制造技术

本发明专利技术涉及一种用于芯片加工的具有防尘功能的高精度检测设备，包括箱体、检测台、抓取手臂和摄像头，所述检测台设置在箱体内的底部，所述抓取手臂设置在箱体内的一侧，所述箱体的另一侧设有传料口，所述摄像头设置在箱体内，所述摄像头与检测台正对设置，所述抓取手臂位于摄像头和检测台之间，所述箱体内设有清洁机构和防尘机构，该用于芯片加工的具有防尘功能的高精度检测设备通过清洁机构实现了清除摄像头上灰尘的功能，避免灰尘影响摄像头芯片照片的清晰度而降低检测精度，不仅如此，还通过防尘机构实现了堵住传料口的功能，减少了灰尘通过传料口进入箱体内，起到了防尘的效果。

A High Precision Detector with Dust-proof Function for Chip Processing

【技术实现步骤摘要】
一种用于芯片加工的具有防尘功能的高精度检测设备
本专利技术涉及芯片检测设备领域，特别涉及一种用于芯片加工的具有防尘功能的高精度检测设备。
技术介绍
芯片检测设备主要针对晶圆上的芯片完成切割后的外观检测，比如尺寸、破损、裂粒、气孔、裂痕、镍层不良等等，所以也叫做晶圆切割检测设备，是靠机器视觉来实现检测的，芯片检测设备是通过摄像头对晶圆拍摄，在将照片传送到软件，通过特点的算法分析产品的外观，并自动分拣良品及次品。现有的芯片检测设备在长期使用后，摄像头上会产生灰尘，而灰尘会影响摄像头芯片照片的清晰度，从而降低检测精度，不仅如此，晶圆上的灰尘也会使检测软件的检测结果产生偏差，进一步降低了检测精度。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是：为了克服现有技术的不足，提供一种用于芯片加工的具有防尘功能的高精度检测设备。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于芯片加工的具有防尘功能的高精度检测设备，包括箱体、检测台、抓取手臂和摄像头，所述检测台设置在箱体内的底部，所述抓取手臂设置在箱体内的一侧，所述箱体的另一侧设有传料口，所述摄像头设置在箱体内，所述摄像头与检测台正对设置，所述抓取手臂位于摄像头和检测台之间，所述箱体内设有清洁机构和防尘机构；所述清洁机构包括移动组件和清洁组件，所述移动组件包括滑杆、滑块和支架，所述滑杆的轴线与抓取手臂的移动方向平行，所述滑杆的两端分别固定在箱体内的两侧，所述滑块套设在滑杆上，所述抓取手臂通过支架与滑块的远离传料口的一侧固定连接，所述清洁组件位于滑块的另一侧，所述摄像头设置在滑块的靠近检测台的一侧，所述清洁组件位于摄像头和检测台之间；所述清洁组件包括清洁盘、清洁布、转动盘、驱动单元和两个传动单元，所述清洁盘与检测台平行，所述清洁布铺设在清洁盘的远离检测台的一侧，所述转动盘位于清洁盘和检测台之间，所述转动盘与清洁盘同轴设置，所述转动盘的轴线位于两个传动单元之间，所述转动盘通过传动单元与清洁盘连接，所述驱动单元设置在转动盘的靠近检测台的一侧，所述驱动单元与转动盘传动连接；所述防尘机构包括动力组件和防尘组件，所述防尘组件设置在箱体的设有传料口的一侧，所述防尘组件包括防尘板、拉杆、两个连杆和两个滑轨，所述防尘板与箱体的设有传料口的一侧所在的平面平行，所述拉杆与防尘板平行，所述连杆位于防尘板的顶部，所述拉杆的轴线与滑杆的轴线垂直，所述连杆位于防尘板和拉杆之间，所述连杆的轴线与拉杆的轴线垂直且相交，所述连杆与防尘板平行，所述拉杆的两端分别通过两个连杆与防尘板固定连接，所述传料口位于两个连杆之间，所述防尘板覆盖在传料口上，所述滑轨与连杆一一对应，所述滑轨固定在箱体上，所述防尘板的两侧分别安装在滑轨上，所述拉杆的远离防尘板的一侧通过动力组件与滑块连接。作为优选，为了实现清洁盘转动和移动的功能，所述传动单元包括连接杆、连接块和弹簧，所述连接杆与转动盘的轴线平行，所述转动盘套设在连接杆上，所述连接杆的一端与清洁盘固定连接，所述连接块固定在连接杆的另一端，所述连接块与转动盘抵靠，所述弹簧位于转动盘和清洁盘之间，所述转动盘通过弹簧与清洁盘连接。作为优选，为了达到转动盘移动和转动的效果，所述驱动单元包括气缸、传动盘、驱动电机和至少三个滚珠，所述传动盘与转动盘同轴设置，所述驱动电机固定在传动盘的靠近转动盘的一侧，所述驱动电机与转动盘传动连接，所述气缸设置在传动盘的远离转动盘的一侧，所述气缸固定在箱体的内壁上，所述气缸驱动传动盘沿着传动盘的轴向移动，所述传动盘的外周设有环形槽，所述环形槽与传动盘同轴设置，所述滚珠以传动盘的轴线为中心周向均匀设置在环形槽内，所述滚珠设置在环形槽内，所述滚珠与环形槽匹配且滑动连接，所述滚珠与转动盘固定连接。作为优选，为了减小环形槽与滚珠之间的摩擦力，所述环形槽的内壁上涂有润滑油。作为优选，为了提高驱动电机的驱动力，所述驱动电机为伺服电机。作为优选，为了驱动拉杆移动，所述动力组件包括定滑轮和连接线，所述箱体上设有通孔，所述连接线穿过通孔，所述连接线的一端与滑块固定连接，所述连接线的另一端绕过定滑轮与拉杆固定连接，所述定滑轮固定在箱体上。作为优选，为了提高连接线的可靠性，所述连接线的制作材料为钢丝绳。作为优选，为了提高防尘效果，所述箱体的远离传料口一侧的内壁上设有离子风枪。作为优选，为了延长支架的使用寿命，所述支架上涂有防腐镀锌层。作为优选，为了避免防尘板与滑轨分离，所述滑轨上设有限位块，所述限位块位于防尘板的远离拉杆的一侧。本专利技术的有益效果是，该用于芯片加工的具有防尘功能的高精度检测设备通过清洁机构实现了清除摄像头上灰尘的功能，避免灰尘影响摄像头芯片照片的清晰度而降低检测精度，与现有的清洁机构相比，该清洁机构运行时机与抓取手臂移动的时机相同，结构更加巧妙，不仅如此，还通过防尘机构实现了堵住传料口的功能，减少了灰尘通过传料口进入箱体内，起到了防尘的效果，与现有的防尘机构相比，该防尘机构通过滑块的移动驱动该防尘机构运行，实用性更强。附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。图1是本专利技术的用于芯片加工的具有防尘功能的高精度检测设备的结构示意图；图2是本专利技术的用于芯片加工的具有防尘功能的高精度检测设备的清洁组件的结构示意图；图3是本专利技术的用于芯片加工的具有防尘功能的高精度检测设备的防尘组件的结构示意图；图4是图1的A部放大图；图中：1.箱体，2.检测台，3.抓取手臂，4.摄像头，5.滑杆，6.滑块，7.支架，8.清洁盘，9.清洁布，10.转动盘，11.防尘板，12.拉杆，13.连杆，14.滑轨，15.连接杆，16.连接块，17.弹簧，18.气缸，19.传动盘，20.驱动电机，21.滚珠，22.定滑轮，23.连接线，24.离子风枪，25.限位块。具体实施方式现在结合附图对本专利技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本专利技术的基本结构，因此其仅显示与本专利技术有关的构成。如图1所示，一种用于芯片加工的具有防尘功能的高精度检测设备，包括箱体1、检测台2、抓取手臂3和摄像头4，所述检测台2设置在箱体1内的底部，所述抓取手臂3设置在箱体1内的一侧，所述箱体1的另一侧设有传料口，所述摄像头4设置在箱体1内，所述摄像头4与检测台2正对设置，所述抓取手臂3位于摄像头4和检测台2之间，所述箱体1内设有清洁机构和防尘机构；晶圆穿过传料口进入箱体1内，通过抓取手臂3将晶圆移动到检测台2上，通过摄像头4对晶圆拍摄，再将照片传送到软件，通过特点的算法分析产品的外观，并自动分拣良品及次品，这里，设置清洁机构的作用是清除摄像头4上的灰尘，设置防尘机构的作用是减少灰尘进入箱体1内。如图2所示，所述清洁机构包括移动组件和清洁组件，所述移动组件包括滑杆5、滑块6和支架7，所述滑杆5的轴线与抓取手臂3的移动方向平行，所述滑杆5的两端分别固定在箱体1内的两侧，所述滑块6套设在滑杆5上，所述抓取手臂3通过支架7与滑块6的远离传料口的一侧固定连接，所述清洁组件位于滑块6的另一侧，所述摄像头4设置在滑块6的靠近检测台2的一侧，所述清洁组件位于摄像头4和检测台2之间；所述清洁组件包括清洁盘8、清洁布9、转动盘10、驱动单元和两个传动单元，所述清洁盘8与检测台2平行，所述清洁布9铺设在清洁盘8的远离检测台2本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于芯片加工的具有防尘功能的高精度检测设备，包括箱体(1)、检测台(2)、抓取手臂(3)和摄像头(4)，所述检测台(2)设置在箱体(1)内的底部，所述抓取手臂(3)设置在箱体(1)内的一侧，所述箱体(1)的另一侧设有传料口，所述摄像头(4)设置在箱体(1)内，所述摄像头(4)与检测台(2)正对设置，所述抓取手臂(3)位于摄像头(4)和检测台(2)之间，其特征在于，所述箱体(1)内设有清洁机构和防尘机构；所述清洁机构包括移动组件和清洁组件，所述移动组件包括滑杆(5)、滑块(6)和支架(7)，所述滑杆(5)的轴线与抓取手臂(3)的移动方向平行，所述滑杆(5)的两端分别固定在箱体(1)内的两侧，所述滑块(6)套设在滑杆(5)上，所述抓取手臂(3)通过支架(7)与滑块(6)的远离传料口的一侧固定连接，所述清洁组件位于滑块(6)的另一侧，所述摄像头(4)设置在滑块(6)的靠近检测台(2)的一侧，所述清洁组件位于摄像头(4)和检测台(2)之间；所述清洁组件包括清洁盘(8)、清洁布(9)、转动盘(10)、驱动单元和两个传动单元，所述清洁盘(8)与检测台(2)平行，所述清洁布(9)铺设在清洁盘(8)的远离检测台(2)的一侧，所述转动盘(10)位于清洁盘(8)和检测台(2)之间，所述转动盘(10)与清洁盘(8)同轴设置，所述转动盘(10)的轴线位于两个传动单元之间，所述转动盘(10)通过传动单元与清洁盘(8)连接，所述驱动单元设置在转动盘(10)的靠近检测台(2)的一侧，所述驱动单元与转动盘(10)传动连接；所述防尘机构包括动力组件和防尘组件，所述防尘组件设置在箱体(1)的设有传料口的一侧，所述防尘组件包括防尘板(11)、拉杆(12)、两个连杆(13)和两个滑轨(14)，所述防尘板(11)与箱体(1)的设有传料口的一侧所在的平面平行，所述拉杆(12)与防尘板(11)平行，所述连杆(13)位于防尘板(11)的顶部，所述拉杆(12)的轴线与滑杆(5)的轴线垂直，所述连杆(13)位于防尘板(11)和拉杆(12)之间，所述连杆(13)的轴线与拉杆(12)的轴线垂直且相交，所述连杆(13)与防尘板(11)平行，所述拉杆(12)的两端分别通过两个连杆(13)与防尘板(11)固定连接，所述传料口位于两个连杆(13)之间，所述防尘板(11)覆盖在传料口上，所述滑轨(14)与连杆(13)一一对应，所述滑轨(14)固定在箱体(1)上，所述防尘板(11)的两侧分别安装在滑轨(14)上，所述拉杆(12)的远离防尘板(11)的一侧通过动力组件与滑块(6)连接。...

【技术特征摘要】
1.一种用于芯片加工的具有防尘功能的高精度检测设备，包括箱体(1)、检测台(2)、抓取手臂(3)和摄像头(4)，所述检测台(2)设置在箱体(1)内的底部，所述抓取手臂(3)设置在箱体(1)内的一侧，所述箱体(1)的另一侧设有传料口，所述摄像头(4)设置在箱体(1)内，所述摄像头(4)与检测台(2)正对设置，所述抓取手臂(3)位于摄像头(4)和检测台(2)之间，其特征在于，所述箱体(1)内设有清洁机构和防尘机构；所述清洁机构包括移动组件和清洁组件，所述移动组件包括滑杆(5)、滑块(6)和支架(7)，所述滑杆(5)的轴线与抓取手臂(3)的移动方向平行，所述滑杆(5)的两端分别固定在箱体(1)内的两侧，所述滑块(6)套设在滑杆(5)上，所述抓取手臂(3)通过支架(7)与滑块(6)的远离传料口的一侧固定连接，所述清洁组件位于滑块(6)的另一侧，所述摄像头(4)设置在滑块(6)的靠近检测台(2)的一侧，所述清洁组件位于摄像头(4)和检测台(2)之间；所述清洁组件包括清洁盘(8)、清洁布(9)、转动盘(10)、驱动单元和两个传动单元，所述清洁盘(8)与检测台(2)平行，所述清洁布(9)铺设在清洁盘(8)的远离检测台(2)的一侧，所述转动盘(10)位于清洁盘(8)和检测台(2)之间，所述转动盘(10)与清洁盘(8)同轴设置，所述转动盘(10)的轴线位于两个传动单元之间，所述转动盘(10)通过传动单元与清洁盘(8)连接，所述驱动单元设置在转动盘(10)的靠近检测台(2)的一侧，所述驱动单元与转动盘(10)传动连接；所述防尘机构包括动力组件和防尘组件，所述防尘组件设置在箱体(1)的设有传料口的一侧，所述防尘组件包括防尘板(11)、拉杆(12)、两个连杆(13)和两个滑轨(14)，所述防尘板(11)与箱体(1)的设有传料口的一侧所在的平面平行，所述拉杆(12)与防尘板(11)平行，所述连杆(13)位于防尘板(11)的顶部，所述拉杆(12)的轴线与滑杆(5)的轴线垂直，所述连杆(13)位于防尘板(11)和拉杆(12)之间，所述连杆(13)的轴线与拉杆(12)的轴线垂直且相交，所述连杆(13)与防尘板(11)平行，所述拉杆(12)的两端分别通过两个连杆(13)与防尘板(11)固定连接，所述传料口位于两个连杆(13)之间，所述防尘板(11)覆盖在传料口上，所述滑轨(14)与连杆(13)一一对应，所述滑轨(14)固定在箱体(1)上，所述防尘板(11)的两侧分别安装在滑轨(14)上，所述拉杆(12)的远离防尘板(11)的一侧通过动力组件与滑块(6)连接。2.如权利要求1所述的用于芯片加工的具有防尘功能的高精度检测设备，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵秀军，
申请(专利权)人：深圳市贝优通新能源技术开发有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44