一种光电传感器装置及真空镀膜设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种光电传感器装置，包括：筒体、视窗件和光电传感器，所述光电传感器设置于所述视窗件背离所述筒体的一侧表面上。因此筒体与真空镀膜设备相连接时，镀膜物质只能穿过筒体内部的通道才能到达视窗件处，绝大部分的镀膜物质会被筒体的内壁吸附，大大地减少镀膜物质积聚于视窗件处，有效延长了光电传感器检测使用时间。本实用新型专利技术还提供了一种真空镀膜设备，包括一真空腔体，所述真空腔体上配置上述的光电传感器装置，所述筒体远离所述光电传感器的一端与所述真空腔体相连接且与该真空腔体的内部相连通。

A Photoelectric Sensor Device and Vacuum Coating Equipment

【技术实现步骤摘要】
一种光电传感器装置及真空镀膜设备
本技术涉及真空镀膜设备
，特别是一种光电传感器装置和一使用该光电传感器装置的真空镀膜设备。
技术介绍
众所周知，真空镀膜设备被广泛应用于现代化工业生产，由于真空设备内部环境的特殊性(例如高温、高洁净度要求、物质低放气率要求等)，检测元件多采用光电传感器。光电传感器将可见光线及红外线等通过发射器进行发射，并通过接收器检测由检测物体反射的光或被遮挡的光量变化，从而获得检测信号。如图1所述，传统的真空镀膜设备包括一真空腔体10’，所述真空腔体10’相对的两侧壁上开设有供光线穿过的视窗件20’，其中一块视窗件20’背离所述真空腔体10’的一侧表面上设置有电光传感器30’，由于真空腔体10’中的镀膜物质在真空腔体10’内以原子、分子或者离子状态进行运动，碰撞到检测光路的视窗件20’时，会有一定概率被吸附到视窗件20’上，长时间后会影响视窗件20’的透光量，从而影响光电传感器30’的检测效果和缩短了光电传感器30’的检测使用时间。
技术实现思路
为了解决上述问题，本技术的目的在于提供一种结构简单，同时可以延长其检测时间的光电传感器装置，还提供了一种可以长时间进行光电检测且检测准确可靠的真空镀膜设备。本技术为解决其技术问题而采用的技术方案是：一种光电传感器装置，包括：筒体，所述筒体的内部开设有一贯穿整个筒体的通道；视窗件，所述视窗件设置于所述筒体一端的开口处；光电传感器，所述光电传感器设置于所述视窗件背离所述筒体的一侧表面上；所述筒体远离所述光电传感器的一端可与真空镀膜设备相连接。作为上述技术方案的改进，所述筒体邻近所述视窗件的一端处还设置有用于将所述视窗件锁紧于该筒体上的第一锁紧装置。作为上述技术方案的进一步改进，所述第一锁紧装置包括两块能够将所述视窗件压紧于所述筒体一端的端部上的第一压紧块。进一步，所述视窗件与所述筒体之间设置有用于密封该视窗件与所述筒体之间的间隙的第一密封圈。再进一步，所述筒体的一端处设置用于放置所述第一密封圈的第一凹槽。在本技术中，所述筒体远离所述光电传感器的一端设置有用于将筒体锁紧于真空镀膜设备上的第二锁紧装置。其中，所述第二锁紧装置包括两块能够将所述筒体压紧于真空镀膜设备上的第二压紧块；所述筒体邻近所述第二压紧块的一端上设置有与所述第二压紧块配合使用的凸缘部。优选地，所述筒体远离所述光电传感器的一端设置有用于密封该筒体与真空镀膜设备之间的间隙的第二密封圈。在本技术中，所述筒体为一直筒体。一种真空镀膜设备，包括一真空腔体，所述真空腔体上配置上述的光电传感器装置，所述筒体远离所述光电传感器的一端与所述真空腔体相连接且与该真空腔体的内部相连通。本技术的有益效果是：由于本技术的光电传感器装置包括筒体、设置于所述筒体一端的开口处的视窗件和设置于所述视窗件背离所述筒体的一侧表面上的光电传感器，该筒体远离光电传感器的一端与真空镀膜设备相连接时，真空镀膜设备中呈原子、分子或者离子状的镀膜物质只能穿过筒体内部的通道才能到达安装有光电传感器的视窗件处，其中绝大部分的镀膜物质会被筒体的内壁吸附，从而大大地减少镀膜物质积聚于视窗件处，有效延长了光电传感器检测使用时间，同时又提高本技术的光电传感器装置的检测精度。同时本技术的真空镀膜设备通过采用上述的光电传感器装置，可以大大减少镀膜物质遮挡于视窗件的概率，进而延长了光电传感器的检测时间，又可以提高光电传感器的检测精度。附图说明下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。图1是本技术是传统真空镀膜设备的结构原理图；图2是本技术的光电传感器装置的一优选实施例的结构示意图；图3是本技术的光电传感器装置的一优选实施例的结构分解示意图；图4是本技术的真空镀膜设备的一优选实施例的结构示意图；图5是本技术的真空镀膜设备的一优选实施例的结构原理图。具体实施方式参照图2至图5(图5中的黑点表示镀膜物质，箭头表示镀膜物质的移动方向)，一种光电传感器装置，包括一筒体10，在这里，优选地，所述筒体10为一直筒体，所述筒体10的内部开设有一贯穿整个筒体10的通道；所述筒体10一端的开口处设置有视窗件20，在这里，上述的视窗件20指可透光的部件，如透明的玻璃件或塑料件等；所述视窗件20背离所述筒体10的一侧表面上设置有光电传感器30，所述筒体10远离所述光电传感器30的一端可与真空镀膜设备相连接。由于本技术的光电传感器装置包括筒体10、设置于所述筒体10一端的开口处的视窗件20和设置于所述视窗件20背离所述筒体10的一侧表面上的光电传感器30，该筒体10远离光电传感器30的一端与真空镀膜设备相连接时，真空镀膜设备中呈原子、分子或者离子状的镀膜物质只能穿过筒体10内部的通道才能到达安装有光电传感器30的视窗件20处，其中绝大部分的镀膜物质会被筒体10的内壁吸附，从而大大地减少镀膜物质积聚于视窗件20处，有效延长了光电传感器30检测使用时间，同时又提高本技术的光电传感器装置的检测精度。进而可以使得采用本技术的光电传感器装置的真空镀膜设备可以延长了光电传感器的检测时间，又可以提高光电传感器的检测精度。其中，为了便于将视窗件20固定于筒体10的上，优选地，所述筒体10邻近所述视窗件20的一端处还设置有用于将所述视窗件20锁紧于该筒体10上的第一锁紧装置。进一步优选，所述第一锁紧装置包括两块能够将所述视窗件20压紧于所述筒体10一端的端部上的第一压紧块41。在这里，所述视窗件20上设置有与所述第一压紧块41配合卡接的台阶位200。当然，所述第一锁紧装置还可以采用其他结构，如所述第一锁紧装置为胶水，所述视窗件20通过胶水粘结于筒体10上。或者，所述视窗件20通过互配合的第一卡扣和第一卡槽与所述筒体10相连接，所述第一卡扣设置于筒体10上，所述第一卡槽设置于视窗件20上，通过卡扣和卡槽的配合卡接作用，可将筒体10与视窗件20锁紧在一起。为了保证视窗件20与所述筒体10之间的密封性，优选地，所述视窗件20与所述筒体10之间设置有用于密封该视窗件20与所述筒体10之间的间隙的第一密封圈51，在这里，作为本技术的一优选实施例，所述第一密封圈51为O-Ring密封圈，为了便于安装该第一密封圈51，进一步优选，所述筒体10的一端处设置用于放置所述第一密封圈51的第一凹槽11。在本技术中，为了便于本技术的筒体10与真空镀膜设备相连接，优选地，所述筒体10远离所述光电传感器30的一端设置有用于将筒体10锁紧于真空镀膜设备上的第二锁紧装置。在本技术中，所述第二锁紧装置包括两块能够将所述筒体10压紧于真空镀膜设备上的第二压紧块42；所述筒体10邻近所述第二压紧块42的一端上设置有与所述第二压紧块42配合使用的凸缘部12。当采用螺栓将本技术的第二压紧块42与真空镀膜设备相连接时，即可将筒体10锁紧于真空镀膜设备上，简单方便。当然，所述第二锁紧装置除了采用上述的结构上，还可以采用其他结构，如所述第二锁紧装置包括相互配合的第二卡扣和第二卡槽，所述第二卡扣设置于筒体10上，所述第二卡槽设置于真空镀膜设备上，通过第二卡扣和第二卡槽的配合卡接作用，可将筒体10锁紧于真空镀膜设备上。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光电传感器装置，其特征在于，包括：筒体(10)，所述筒体(10)的内部开设有一贯穿整个筒体(10)的通道；视窗件(20)，所述视窗件(20)设置于所述筒体(10)一端的开口处；光电传感器(30)，所述光电传感器(30)设置于所述视窗件(20)背离所述筒体(10)的一侧表面上；所述筒体(10)远离所述光电传感器(30)的一端可与真空镀膜设备相连接。

【技术特征摘要】
1.一种光电传感器装置，其特征在于，包括：筒体(10)，所述筒体(10)的内部开设有一贯穿整个筒体(10)的通道；视窗件(20)，所述视窗件(20)设置于所述筒体(10)一端的开口处；光电传感器(30)，所述光电传感器(30)设置于所述视窗件(20)背离所述筒体(10)的一侧表面上；所述筒体(10)远离所述光电传感器(30)的一端可与真空镀膜设备相连接。2.根据权利要求1所述的一种光电传感器装置，其特征在于：所述筒体(10)邻近所述视窗件(20)的一端处还设置有用于将所述视窗件(20)锁紧于该筒体(10)上的第一锁紧装置。3.根据权利要求2所述的一种光电传感器装置，其特征在于：所述第一锁紧装置包括两块能够将所述视窗件(20)压紧于所述筒体(10)一端的端部上的第一压紧块(41)。4.根据权利要求1或2或3所述的一种光电传感器装置，其特征在于：所述视窗件(20)与所述筒体(10)之间设置有用于密封该视窗件(20)与所述筒体(10)之间的间隙的第一密封圈(51)。5.根据权利要求4所述的一种光电传感器装置，其特征在于：所述筒体(10)的一端处设置用于放置所...

【专利技术属性】
技术研发人员：柴国敬，邝斌，王志海，陈金良，齐鹏飞，戴春田，
申请(专利权)人：中山瑞科新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44