一种用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备制造技术

本发明专利技术涉及一种用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备，包括主体、摄像头和两个照明灯，所述主体的形状为圆柱形，所述主体竖向设置，所述摄像头和照明灯均设置在主体内的顶部，所述摄像头位于两个照明灯之间，所述主体内设有控制机构和辅助机构，所述控制机构设置在主体内的底部，所述辅助机构设置在主体内的顶部，所述控制机构包括移动盘、支撑盘、两个气缸和至少四个控制组件，该用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备通过控制机构实现了调整晶圆位置的功能，避免晶圆位置偏差较大而需要多次调整晶圆位置，不仅如此，还通过辅助机构减小了环境光线和灰尘对检测精确度的影响，提高了抗干扰能力。

A testing device with strong anti-interference ability for chip fabrication

【技术实现步骤摘要】
一种用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备
本专利技术涉及芯片检测设备领域，特别涉及一种用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备。
技术介绍
芯片检测设备主要针对晶圆上的芯片完成切割后的外观检测，比如尺寸、破损、裂粒、气孔、裂痕、镍层不良等等，所以也叫做晶圆切割检测设备，是靠机器视觉来实现检测的，芯片检测设备是通过摄像头对晶圆拍摄，在将照片传送到软件，通过特点的算法分析产品的外观，并自动分拣良品及次品。现有的芯片加工虽均在无尘车间进行，但并不能完全去除空气中的灰尘，当晶圆上存在灰尘时，会使检测软件的检测结果产生偏差，而且，环境光线也会干扰摄像头的拍摄质量，从而降低了检测的精确度，不仅如此，在人工手动放置晶圆时，摄像头无法正对晶圆时，导致摄像头通过无法一次完全对晶圆上的所有芯片拍摄，需要多次调整晶圆位置，降低了工作效率。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是：为了克服现有技术的不足，提供一种用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备，包括主体、摄像头和两个照明灯，所述主体的形状为圆柱形，所述主体竖向设置，所述摄像头和照明灯均设置在主体内的顶部，所述摄像头位于两个照明灯之间，所述主体内设有控制机构和辅助机构，所述控制机构设置在主体内的底部，所述辅助机构设置在主体内的顶部；所述控制机构包括移动盘、支撑盘、两个气缸和至少四个控制组件，所述移动盘与主体同轴设置，所述气缸固定在主体内的底部，所述气缸与移动盘的远离摄像头的一侧连接，所述气缸驱动移动盘沿着主体的轴向移动，所述支撑盘设置在移动盘和摄像头之间，所述支撑盘与移动盘同轴设置，所述支撑盘与移动盘固定连接，所述支撑盘与移动盘之间设有间隙，所述控制组件以支撑盘的轴线为中心周向均匀设置在支撑盘的外周，所述控制组件位于移动盘的靠近支撑盘的一侧；所述辅助机构包括固定管和两个除尘组件，所述固定管与主体同轴设置，所述固定管与主体内的顶部密封且固定连接，所述固定管与主体顶部的最大距离大于支撑盘与主体顶部之间的最小距离，所述固定管的外径与移动盘的直径相等，所述摄像头和照明灯均设置在固定管内，两个防尘组件与照明灯一一对应，所述防尘组件设置在固定管上；所述防尘组件包括气管和抽吸泵，所述气管与固定管连通，所述气管安装在抽吸泵上，所述抽吸泵固定在固定管上。作为优选，为了推动晶圆移动，所述控制组件包括移动单元和控制单元，所述移动单元包括驱动电机、丝杆、轴承座、滑块和连接杆，所述丝杆的轴线与主体的轴线垂直且相交，所述驱动电机与丝杆的靠近主体轴线的一端传动连接，所述轴承座安装在丝杆的另一端，所述驱动电机和轴承座均固定在移动盘上，所述滑块套设在丝杆上，所述滑块的与丝杆的连接处设有与丝杆匹配的螺纹，所述滑块与移动盘的靠近支撑盘的一侧贴合，所述连接杆固定在滑块的另一侧，所述连接杆与主体的轴线平行，所述控制单元设置在连接杆的靠近主体轴线的一侧。作为优选，为了减小丝杆与滑块之间的摩擦力，所述丝杆上涂有润滑油。作为优选，为了实现推动晶圆的功能，所述控制单元包括连接管、挤压板、弹簧、限位块、连杆和推板，所述连接管与丝杆平行，所述连接管与连接杆密封且固定连接，所述挤压板、弹簧和限位块均设置在连接管内，所述挤压板与连接管的轴线垂直，所述挤压板与连接管的内壁滑动且密封连接，所述弹簧位于挤压板和连接杆之间，所述挤压板通过弹簧与连接杆连接，所述限位块设置在挤压板的远离连接杆的一侧，所述限位块固定在连接管的内壁上，所述限位块与挤压板抵靠，所述连杆与连接管同轴设置，所述连杆的直径小于连接管的内径，所述推板与连杆垂直，所述连接管位于连接杆和推板之间，所述连杆位于推板和挤压板之间，所述推板通过连杆与挤压板固定连接，所述推板的靠近移动盘的一侧与支撑盘的远离移动盘的一侧处于同一平面。作为优选，为了提高自动化程度，所述挤压板的靠近弹簧的一侧设有凹口，所述凹口内设有气压传感器，所述主体内设有PLC，所述气压传感器和驱动电机均与PLC电连接。作为优选，为了提高密封性，所述连接管的内壁上涂有密封脂。作为优选，为了实现缓冲和减振的效果，所述固定管上设有橡胶块，所述橡胶块铺设在固定管的靠近移动盘的一端。作为优选，为了避免灰尘进入气管，所述气管上设有防尘罩。作为优选，为了减小环境光线的干扰，所述固定管的制作材料为黑色不透明有机玻璃。作为优选，为了提高晶圆与支撑盘之间的摩擦力，所述支撑盘的靠近摄像头的一侧设有防滑纹。本专利技术的有益效果是，该用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备通过控制机构实现了调整晶圆位置的功能，避免晶圆位置偏差较大而需要多次调整晶圆位置，与现有的控制机构相比，该控制机构通过PLC进行控制，可靠性强，自动化程度更高，不仅如此，还通过辅助机构减小了环境光线和灰尘对检测精确度的影响，提高了抗干扰能力，与现有的辅助机构相比，该辅助机构具有除尘和遮光双重效果，性价比更高。附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。图1是本专利技术的用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备的结构示意图；图2是图1的A部放大图；图3是本专利技术的用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备的移动单元的结构示意图；图4是本专利技术的用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备的控制单元的结构示意图；图中：1.主体，2.摄像头，3.照明灯，4.移动盘，5.支撑盘，6.气缸，7.固定管，8.气管，9.抽吸泵，10.驱动电机，11.丝杆，12.轴承座，13.滑块，14.连接杆，15.连接管，16.挤压板，17.弹簧，18.限位块，19.连杆，20.推板，21.气压传感器，22.橡胶块，23.防尘罩。具体实施方式现在结合附图对本专利技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本专利技术的基本结构，因此其仅显示与本专利技术有关的构成。如图1-2所示，一种用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备，包括主体1、摄像头2和两个照明灯3，所述主体1的形状为圆柱形，所述主体1竖向设置，所述摄像头2和照明灯3均设置在主体1内的顶部，所述摄像头2位于两个照明灯3之间，所述主体1内设有控制机构和辅助机构，所述控制机构设置在主体1内的底部，所述辅助机构设置在主体1内的顶部；所述控制机构包括移动盘4、支撑盘5、两个气缸6和至少四个控制组件，所述移动盘4与主体1同轴设置，所述气缸6固定在主体1内的底部，所述气缸6与移动盘4的远离摄像头2的一侧连接，所述气缸6驱动移动盘4沿着主体1的轴向移动，所述支撑盘5设置在移动盘4和摄像头2之间，所述支撑盘5与移动盘4同轴设置，所述支撑盘5与移动盘4固定连接，所述支撑盘5与移动盘4之间设有间隙，所述控制组件以支撑盘5的轴线为中心周向均匀设置在支撑盘5的外周，所述控制组件位于移动盘4的靠近支撑盘5的一侧；所述辅助机构包括固定管7和两个除尘组件，所述固定管7与主体1同轴设置，所述固定管7与主体1内的顶部密封且固定连接，所述固定管7与主体1顶部的最大距离大于支撑盘5与主体1顶部之间的最小距离，所述固定管7的外径与移动盘4的直径相等，所述摄像头2和照明灯3均设置在固定管7内，两个防尘组件与照明灯3一一对应，所述防尘组件设置在固定管7上；所述防尘组件包括气管8和抽吸泵9，所述气管8与固定管7连通，所述气管8安本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备，包括主体(1)、摄像头(2)和两个照明灯(3)，所述主体(1)的形状为圆柱形，所述主体(1)竖向设置，所述摄像头(2)和照明灯(3)均设置在主体(1)内的顶部，所述摄像头(2)位于两个照明灯(3)之间，其特征在于，所述主体(1)内设有控制机构和辅助机构，所述控制机构设置在主体(1)内的底部，所述辅助机构设置在主体(1)内的顶部；所述控制机构包括移动盘(4)、支撑盘(5)、两个气缸(6)和至少四个控制组件，所述移动盘(4)与主体(1)同轴设置，所述气缸(6)固定在主体(1)内的底部，所述气缸(6)与移动盘(4)的远离摄像头(2)的一侧连接，所述气缸(6)驱动移动盘(4)沿着主体(1)的轴向移动，所述支撑盘(5)设置在移动盘(4)和摄像头(2)之间，所述支撑盘(5)与移动盘(4)同轴设置，所述支撑盘(5)与移动盘(4)固定连接，所述支撑盘(5)与移动盘(4)之间设有间隙，所述控制组件以支撑盘(5)的轴线为中心周向均匀设置在支撑盘(5)的外周，所述控制组件位于移动盘(4)的靠近支撑盘(5)的一侧；所述辅助机构包括固定管(7)和两个除尘组件，所述固定管(7)与主体(1)同轴设置，所述固定管(7)与主体(1)内的顶部密封且固定连接，所述固定管(7)与主体(1)顶部的最大距离大于支撑盘(5)与主体(1)顶部之间的最小距离，所述固定管(7)的外径与移动盘(4)的直径相等，所述摄像头(2)和照明灯(3)均设置在固定管(7)内，两个防尘组件与照明灯(3)一一对应，所述防尘组件设置在固定管(7)上；所述防尘组件包括气管(8)和抽吸泵(9)，所述气管(8)与固定管(7)连通，所述气管(8)安装在抽吸泵(9)上，所述抽吸泵(9)固定在固定管(7)上。...

【技术特征摘要】
1.一种用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备，包括主体(1)、摄像头(2)和两个照明灯(3)，所述主体(1)的形状为圆柱形，所述主体(1)竖向设置，所述摄像头(2)和照明灯(3)均设置在主体(1)内的顶部，所述摄像头(2)位于两个照明灯(3)之间，其特征在于，所述主体(1)内设有控制机构和辅助机构，所述控制机构设置在主体(1)内的底部，所述辅助机构设置在主体(1)内的顶部；所述控制机构包括移动盘(4)、支撑盘(5)、两个气缸(6)和至少四个控制组件，所述移动盘(4)与主体(1)同轴设置，所述气缸(6)固定在主体(1)内的底部，所述气缸(6)与移动盘(4)的远离摄像头(2)的一侧连接，所述气缸(6)驱动移动盘(4)沿着主体(1)的轴向移动，所述支撑盘(5)设置在移动盘(4)和摄像头(2)之间，所述支撑盘(5)与移动盘(4)同轴设置，所述支撑盘(5)与移动盘(4)固定连接，所述支撑盘(5)与移动盘(4)之间设有间隙，所述控制组件以支撑盘(5)的轴线为中心周向均匀设置在支撑盘(5)的外周，所述控制组件位于移动盘(4)的靠近支撑盘(5)的一侧；所述辅助机构包括固定管(7)和两个除尘组件，所述固定管(7)与主体(1)同轴设置，所述固定管(7)与主体(1)内的顶部密封且固定连接，所述固定管(7)与主体(1)顶部的最大距离大于支撑盘(5)与主体(1)顶部之间的最小距离，所述固定管(7)的外径与移动盘(4)的直径相等，所述摄像头(2)和照明灯(3)均设置在固定管(7)内，两个防尘组件与照明灯(3)一一对应，所述防尘组件设置在固定管(7)上；所述防尘组件包括气管(8)和抽吸泵(9)，所述气管(8)与固定管(7)连通，所述气管(8)安装在抽吸泵(9)上，所述抽吸泵(9)固定在固定管(7)上。2.如权利要求1所述的用于芯片加工的抗干扰能力强的检测设备，其特征在于，所述控制组件包括移动单元和控制单元，所述移动单元包括驱动电机(10)、丝杆(11)、轴承座(12)、滑块(13)和连接杆(14)，所述丝杆(11)的轴线与主体(1)的轴线垂直且相交，所述驱动电机(10)与丝杆(11)的靠近主体(1)轴线的一端传动连接，所述轴承座(12)安装在丝杆(11)的另一端，所述驱动电机(10)和轴承座(12)均固定在移动盘(4)上，所述滑块(13)套设在丝杆(11)上，所述滑块(13)的与丝杆(11)的连接处设有与丝杆(11)匹配的螺纹，所述滑块(13)与移动盘(4)的靠近支撑盘(5)的一侧贴合，所述连接杆(14)固定在滑块(13)的另一侧，所述连接杆(14)...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒙泽喜，
申请(专利权)人：深圳市贝优通新能源技术开发有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44