一种掩膜版条纹检查辅助夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种掩膜版条纹检查辅助夹具，解决了现有手工持手电筒检验条纹过程中刮伤产品风险非常大而且不可控制问题。本实用新型专利技术包括“U型”的底座，底座两侧均通过第一轴承连接有支架体，两个支架体之间用于固定掩膜版，两个支架体上设置有用于连接两个支架体的夹具，夹具为一个横杆，且横杆两侧设置有卡块，夹具大小吻合卡扣在两个支架体上且沿支架体轴向方向移动；横杆底部设置有滑槽，滑槽上设置有滑块，滑块一端凸出滑槽，滑块底部两侧通过弹性装置连接有连接块，两个连接块之间设置有第二轴承，第二轴承上设置有光源；贯穿滑块的凸出部分向下设置轴孔，轴孔内用于放置顶丝，且顶丝通过旋入或者旋出轴孔来调节光源与掩膜版的距离。

An Auxiliary Fixture for Stripe Inspection of Mask Plate

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜版条纹检查辅助夹具
本技术涉及掩膜版制造
，具体涉及一种掩膜版条纹检查辅助夹具。
技术介绍
随着越来越多的国内显示面板厂商量产TFTLCD五代线，光掩膜的需求量在近几年将呈现跳跃式地上升。光掩膜版是制作微细光掩膜图形的理想感光性空白板，通过光刻制版工艺可以获得所需光掩膜版。目前，掩膜版条纹缺陷一直是TFT掩膜版缺陷控制的难点，行业目前的检验方法是用特定波长手电筒，照射产品膜面和非膜面，从多个角度依靠人肉眼来检验条纹。然而，检验条纹时，手电筒会距离掩膜版非常近，大约在10mm，随着掩膜版尺寸越来越大，尤其是G10代掩膜版已经达到1620x1780超大尺寸，靠员工手持手电筒检验条纹的方法已经不太适用，因为员工操作过程中刮伤产品的风险非常大而且不可控制，由于掩膜版价格非常昂贵，一旦发生刮伤情况会给公司带来巨大的财产损失，所以非常迫切的需要一种新的条纹检验方法来代替手持式检验。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是：现有的手工持手电筒检验条纹的过程中刮伤产品的风险非常大而且不可控制问题，本技术提供了解决上述问题的一种掩膜版条纹检查辅助夹具，减少肉眼看条纹时人员对产品造成的磕碰风险，利用这种辅助半自动检验设备，来辅助人工肉眼检查条纹，降低人员操作不当造成的磕碰风险。本技术通过下述技术方案实现：一种掩膜版条纹检查辅助夹具，包括“U型”的底座，所述底座两侧均通过第一轴承连接有支架体，两个所述支架体之间用于固定掩膜版，两个所述支架体上设置有用于连接两个所述支架体的夹具，所述夹具为一个横杆，且所述横杆两侧设置有卡块，所述夹具的大小吻合卡扣在两个所述支架体上且沿所述支架体轴向方向移动；所述横杆底部设置有滑槽，所述滑槽上设置有滑块，所述滑块一端凸出所述滑槽，所述滑块底部两侧通过弹性装置连接有连接块，两个所述连接块之间设置有第二轴承，所述第二轴承上设置有光源；贯穿所述滑块的凸出部分向下设置轴孔，所述轴孔内用于放置顶丝，且所述顶丝通过旋入或者旋出所述轴孔来调节所述光源与掩膜版的距离。本技术上述方案的原理是：由于检验条纹时，手电筒会距离掩膜版非常近，大约在10mm，随着掩膜版尺寸越来越大，尤其是G10代掩膜版已经达到1620x1780超大尺寸，靠员工手持手电筒检验条纹的方法已经不太适用，因为员工操作过程中刮伤产品的风险非常大而且不可控制，由于掩膜版价格非常昂贵，一旦发生刮伤情况会给公司带来巨大的财产损失，本技术采用上述方案通过首先在“U型”的底座两侧均通过第一轴承连接有支架体，两个支架体之间用于固定待检查的掩膜版，该支架体作为检查设备主体结构，能够承载1620*1780掩膜版产品；然后，在两个支架体上设置有用于连接两个支架体的夹具，夹具为一个横杆，且横杆两侧设置有卡块，保证夹具大小吻合卡扣在两个支架体上且可以沿所述支架体轴向方向移动，便于夹具沿支架体方向的调节；另外，横杆底部设置有滑槽，滑槽上设置有滑块，滑块一端凸出所述滑槽，所述滑块底部两侧通过弹性装置连接有连接块，两个所述连接块之间设置有第二轴承，所述第二轴承上设置有光源，贯穿所述滑块的凸出部分向下设置轴孔，所述轴孔内用于放置顶丝，顶丝通过旋入或者旋出所述轴孔来调节所述光源与掩膜版的距离，旋入顶丝时调近光源离掩膜版的距离，而旋出顶丝时调远光源离掩膜版的距离，同时通过滑块沿横杆底部的滑槽移动便于沿横杆方向的调节；结合夹具沿支架体方向的调节和滑块沿滑槽方向的调节来实现光源在整个掩膜版上方位置的整体调节，进而使用顶丝通过旋入或者旋出所述轴孔来调节所述光源与掩膜版的精确距离调节；本技术结构简单、操作使用方便，实现了半自动检验来辅助人工肉眼检查条纹，降低人员操作不当造成的磕碰风险。进一步地，所述支架体为长条形的杆体，两个所述支架体正对的一侧均设置有卡槽，所述卡槽上设置有卡座，所述卡座一端具有与所述卡槽大小配合使用的卡进部，卡座在卡槽内可以沿卡槽方向稳定地移动，满足不同尺度掩膜版的调节；另一端设置有用于固定掩膜版的承载台，方便待检查掩膜版的放置与固定。进一步地，所述卡槽形状为燕尾形，且所述卡槽沿所述支架体从一端延伸到另一端，燕尾形卡槽保证了卡座的卡进部与卡槽的稳定配合；所述卡槽上卡座的数量设置两个，这样两侧支架体上的卡槽上均有两个卡座，总共有四个卡座，四个卡座上对应四个承载台，稳稳地承载掩膜版的四个角，掩膜版只用放置于承载台上，通过四个卡座向中间的移动调节来卡紧，避免直接使用夹持类设备造成掩膜版的损伤。进一步地，所述滑槽的长度不大于两个所述支架体内侧之间的距离，保证光源的照射能覆盖滑槽方向的掩膜版，优选地，采用滑槽的长度微小于两个所述支架体内侧之间的距离即可。进一步地，所述弹性装置采用弹簧，利于光源的稳定，避免左右摇摆，同时配合顶丝旋入轴孔后顺利压缩，而顶丝旋出轴孔后弹簧顺利恢复伸长的作用。本技术具有如下的优点和有益效果：1、本技术在“U型”的底座两侧均通过第一轴承连接有支架体，两个支架体之间用于固定待检查的掩膜版，该支架体作为检查设备主体结构，能够承载1620*1780掩膜版产品；2、本技术在两个支架体上设置有用于连接两个支架体的夹具，夹具为一个横杆，且横杆两侧设置有卡块，保证夹具大小吻合卡扣在两个支架体上且可以沿所述支架体轴向方向移动，便于夹具沿支架体方向的调节；3、本技术顶丝通过旋入或者旋出所述轴孔来调节所述光源与掩膜版的距离，旋入顶丝时调近光源离掩膜版的距离，而旋出顶丝时调远光源离掩膜版的距离，同时通过滑块沿横杆底部的滑槽移动便于沿横杆方向的调节；4、本技术结构简单、操作使用方便，结合夹具沿支架体方向的调节和滑块沿滑槽方向的调节来实现光源在整个掩膜版上方位置的整体调节，进而使用顶丝通过旋入或者旋出所述轴孔来调节所述光源与掩膜版的精确距离调节，实现了半自动检验来辅助人工肉眼检查条纹，降低人员操作不当造成的磕碰风险。附图说明此处所说明的附图用来提供对本技术实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本技术实施例的限定。在附图中：图1为本技术的结构示意图。图2为本技术的A部放大图。图3为本技术的弹性装置的上下连接图。附图中标记及对应的零部件名称：1-底座，2-第一轴承，3-支架体，4-横杆，5-卡块，6-滑槽，7-滑块，8-弹性装置，9-连接块，10-第二轴承，11-光源，12-顶丝，13-卡槽，14-卡座，15-掩膜版。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本技术作进一步的详细说明，本技术的示意性实施方式及其说明仅用于解释本技术，并不作为对本技术的限定。实施例如图1至图3所示，一种掩膜版条纹检查辅助夹具，包括“U型”的底座1，所述底座1两侧均通过第一轴承2连接有支架体3，两个所述支架体3之间用于固定掩膜版15，所述支架体3为长条形的杆体，两个所述支架体3正对的一侧均开设有卡槽13，所述卡槽13上设置有卡座14，所述卡座14一端具有与所述卡槽13大小配合使用的卡进部、另一端设置有用于固定掩膜版15的承载台，所述卡座14通过卡进部从支架体3的两端卡槽13处卡入，且卡座14在卡槽13内可以沿卡槽13方向稳定地移动，满足不同本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩膜版条纹检查辅助夹具，包括“U型”的底座(1)，所述底座(1)两侧均通过第一轴承(2)连接有支架体(3)，其特征在于：两个所述支架体(3)之间用于固定掩膜版(15)，两个所述支架体(3)上设置有用于连接两个所述支架体(3)的夹具，所述夹具为一个横杆(4)，且所述横杆(4)两侧设置有卡块(5)，所述夹具的大小吻合卡扣在两个所述支架体(3)上且沿所述支架体(3)轴向方向移动；所述横杆(4)底部设置有滑槽(6)，所述滑槽(6)上设置有滑块(7)，所述滑块(7)一端凸出所述滑槽(6)，所述滑块(7)底部两侧通过弹性装置(8)连接有连接块(9)，两个所述连接块(9)之间设置有第二轴承(10)，所述第二轴承(10)上设置有光源(11)；贯穿所述滑块(7)的凸出部分向下设置轴孔，所述轴孔内用于放置顶丝(12)，且所述顶丝(12)通过旋入或者旋出所述轴孔来调节所述光源(11)与掩膜版(15)的距离。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜版条纹检查辅助夹具，包括“U型”的底座(1)，所述底座(1)两侧均通过第一轴承(2)连接有支架体(3)，其特征在于：两个所述支架体(3)之间用于固定掩膜版(15)，两个所述支架体(3)上设置有用于连接两个所述支架体(3)的夹具，所述夹具为一个横杆(4)，且所述横杆(4)两侧设置有卡块(5)，所述夹具的大小吻合卡扣在两个所述支架体(3)上且沿所述支架体(3)轴向方向移动；所述横杆(4)底部设置有滑槽(6)，所述滑槽(6)上设置有滑块(7)，所述滑块(7)一端凸出所述滑槽(6)，所述滑块(7)底部两侧通过弹性装置(8)连接有连接块(9)，两个所述连接块(9)之间设置有第二轴承(10)，所述第二轴承(10)上设置有光源(11)；贯穿所述滑块(7)的凸出部分向下设置轴孔，所述轴孔内用于放置顶丝(12)，且所述顶丝(12)通过旋入或者旋出所述轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：林伟，孙多卫，
申请(专利权)人：成都路维光电有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51