一种用于湿制程设备的花篮及晶圆全自动转运传输机构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种用于湿制程设备的花篮及晶圆全自动转运传输机构，包括单花篮直立式旋干机、防腐骨架、电缸承载机构、转向定位机构、花篮夹持机构、花篮承载机构，单花篮直立式旋干机通过旋干机角度调整脚安装在防腐骨架上，单花篮直立式旋干机前侧设置有电缸承载机构，电缸承载机构通过电缸固定支座以及电缸可调支座安装在防腐骨架上，电缸承载机构的电缸滑台上安装有转向定位机构、花篮夹持机构，电缸滑台带动转向定位机构、花篮夹持机构作前后传送，花篮承载机构可升降式安装在防腐骨架上；本实用新型专利技术同现有技术相比，解决了单花篮在湿制程制程槽及旋干机间的全自动转运及传送，保证了花篮干进干出的制程需求，进而保证了晶圆的良率。

An automatic transfer mechanism for flower basket and wafer used in wet process equipment

The utility model relates to a flower basket and a wafer automatic transfer transmission mechanism for wet process equipment, which comprises a single flower basket vertical rotary dryer, an anticorrosive skeleton, an electric cylinder bearing mechanism, a steering positioning mechanism, a flower basket clamping mechanism and a flower basket bearing mechanism. The single flower basket vertical rotary dryer is installed on the anticorrosive skeleton by adjusting the foot of the angle of the rotary dryer, and the front side of the single flower basket vertical rotary dryer. The cylinder bearing mechanism is installed on the anti-corrosion skeleton through the fixed support and adjustable support of the cylinder. The cylinder sliding platform of the cylinder bearing mechanism is equipped with steering positioning mechanism and flower basket clamping mechanism. The cylinder sliding platform drives the steering positioning mechanism and flower basket clamping mechanism to transmit back and forth. The flower basket bearing mechanism can be lifted and installed on the anti-corrosion skeleton. Compared with the existing technology, the new technology solves the automatic transfer and transmission of single flower basket between wet process trough and rotary dryer, guarantees the process requirement of flower basket drying in and out, and thus guarantees the yield of wafer.

【技术实现步骤摘要】
一种用于湿制程设备的花篮及晶圆全自动转运传输机构[
]本技术涉及湿制程设备
，具体地说是一种用于湿制程设备的花篮及晶圆全自动转运传输机构。[
技术介绍
]在LED和半导体行业，湿制程设备作为一种批量式处理晶圆的设备，应用广泛且成熟。晶圆常见的尺寸一般有2"/4"/6"/8"/12"乃至16"，晶圆厚度一般在650～850μm之间。在晶圆制造厂，一片晶圆需要两到三个月的工艺流程，完成450道或者更多的工艺步骤，集成几十到上万个特定芯片，在制造工艺末端，将单个芯片从晶圆上分开，然后封装成最终产品。由此可见，单片晶圆的成本已经远超估量，尤其是在后段封装工艺，若能在不影响整体产能的前提下，更大程度提高设备智能化程度，减少人为接触晶圆的次数，避免不可控的因素，进一步保证产品洁净度及立案率，这将对晶圆生产厂商产生巨大的经济效益。基于此，如何提供更智能化、低成本、稳定性高的湿制程设备，争取湿制程设备的核心竞争优势，是各设备制造商努力的方向。湿制程设备根据智能程度的不同，分为手动/半自动及全自动三种；根据出货状态，分为干进干出和干进湿出两种。随着人力成本愈来愈高，智能化需求愈来愈大，效率及洁净度要求愈来愈高，全自动干进干出设备逐渐占据湿制程设备的主要市场。常规的全自动干进干出湿制程设备，通过全自动机械手臂搬运，实现花篮在设备中的工艺制程切换，配合旋干机或IPA干燥或马兰格尼干燥等方式，实现花篮及晶圆干进干出制程。在这一过程中，一般是单花篮或者双花篮同步运行，采用机械手臂直接夹取花篮或者特制载具的方式，进行搬运；并且配合干燥方式实现干进干出。目前常用的三种干燥方式：①旋干机根据伯努利原理，利用高速旋转的机械离心力，配合洁净气流，将晶圆表面的水滴旋干。旋干机工艺成熟，成本低廉，干燥时间短(约6～8分钟)，效率高。②IPA干燥基于Marangoni效应，利用高温高压的环境，挥发IPA蒸汽，通过IPA与DI表面张力差异带走晶圆表面的水滴，再加热挥发表面IPA。这种干燥方式要求高压高温的环境，不仅增加化学品消耗，而且闪点低，危害大，逐步被市场淘汰中。③马兰格尼干燥同样基于Marangoni效应，在DI表面形成IPA薄膜，在SlowDrain的过程中带走晶圆表面的水滴，再通过高洁净热氮气进行最终干燥。这种干燥方式洁净度高，化学品用量少，但成本高昂，干燥时间长(10～30分钟)，晶圆与花篮接触部分很难干燥彻底。综合以上，全自动搭配旋干机的湿制程设备逐渐成为主流应用。对于双花篮的制程设备，直接搭载水平式旋干机，内嵌入湿制程设备，通过与湿制程共用的机械手臂，即可实现花篮与晶圆的全自动搬运。但是针对单花篮的制程设备，因旋干机对于离心力及动平衡的特殊要求，目前应用到的大部分单花篮旋干机均为直立式旋干机，旋干转子与水平面形成约5～10°的角度，保证在高速旋干的过程中，单花篮及晶圆不会被离心甩出，也能保证较好的平衡，降低破片风险。但是单花篮直立式旋干机嵌入湿制程设备，就无法与湿制程设备共用一套机械手臂，实现花篮与晶圆的全自动搬运。对于目前配合单花篮直立式旋干机的湿制程设备，常采用湿制程设备制程结束后由人工放置到单花篮直立式旋干机中，湿制程设备制程结束后花篮及晶圆只能是干进湿出的状态，无法有效做到干进干出，同时还存在人为不可控因素，可能导致Particle增加，影响产能及产品良率。因此，如何将湿制程完成后的花篮与芯片在设备内无缝传递到单花篮直立式旋干机转子内部，并在完成旋干制程后，顺利将花篮与晶圆顺利取出到湿制程设备的下货区域，保证制程结束的花篮及晶圆保持干燥状态，并且保证整个制程过程的智能化及洁净度，则是需要进一步解决的问题。[
技术实现思路
]本技术的目的就是要解决上述的不足而提供一种用于湿制程设备的花篮及晶圆全自动转运传输机构，解决了单花篮在湿制程制程槽及旋干机间的全自动转运及传送，保证了花篮干进干出的制程需求，进而保证了晶圆的良率，节约了人力。为实现上述目的设计一种用于湿制程设备的花篮及晶圆全自动转运传输机构，包括单花篮直立式旋干机1、防腐骨架2、电缸承载机构3、转向定位机构4、花篮夹持机构5、花篮承载机构6，所述单花篮直立式旋干机1通过旋干机角度调整脚18安装在防腐骨架2上，所述旋干机角度调整脚18用于调整单花篮直立式旋干机1的倾斜角度，所述单花篮直立式旋干机1前侧设置有电缸承载机构3，所述电缸承载机构3通过电缸固定支座31以及电缸可调支座32安装在防腐骨架2上，所述电缸可调支座32用于调整电缸承载机构3的倾斜角度，所述电缸承载机构3的电缸滑台上安装有转向定位机构4、花篮夹持机构5，所述转向定位机构4带动花篮夹持机构5作90°旋转，所述花篮夹持机构5用于夹取花篮及晶圆7，所述电缸滑台带动转向定位机构4、花篮夹持机构5作前后传送，所述单花篮直立式旋干机1左侧设置有花篮承载机构6，所述花篮承载机构6可升降式安装在防腐骨架2上。进一步地，所述防腐骨架2采用SUS不锈钢管焊接调平而成，所述防腐骨架2表面包覆有防腐PP板，所述防腐骨架2顶面安装有贴膜铝板23，所述防腐骨架2底端安装有地脚21及万向轮22。进一步地，所述单花篮直立式旋干机1包括旋干机底座11、旋干机自动门12、旋干机开关门气缸13、旋干机电机14、旋干机转子15、机械定位孔16、旋干机外壳17、旋干机角度调整脚18，所述旋干机底座11与防腐骨架2的贴膜铝板相连，所述旋干机外壳17通过旋干机角度调整脚18安装在旋干机底座11上，所述旋干机外壳17一侧安装有旋干机电机14，所述旋干机外壳17内设有旋干机转子15，所述旋干机转子15与旋干机电机14的输出端相连，所述旋干机转子15上开有机械定位孔16，所述旋干机外壳17的开口处装设有旋干机自动门12，所述旋干机自动门12与旋干机开关门气缸13的活塞端相连，所述旋干机自动门12通过旋干机开关门气缸13自动开闭。进一步地，所述旋干机底座11上的安装孔设置为腰型孔，所述单花篮直立式旋干机1通过腰型孔调节前后位置。进一步地，所述旋干机外壳17、旋干机电机14与旋干机底座11之间均设置有旋干机缓冲垫19，所述旋干机外壳17上开设有排水口，所述排水口连接旋干机排水管20。进一步地，所述电缸承载机构3包括电缸本体33、电缸滑台34、电缸电机36，所述电缸本体33通过电缸固定支座31以及电缸可调支座32安装在防腐骨架2的贴膜铝板23上，所述电缸可调支座32用于保证电缸本体33倾斜的角度与旋干机转子15倾斜角度一致，所述电缸滑台34设于电缸本体33上，所述电缸滑台34一侧装设有定位传感器35，所述电缸本体33底端安装有电缸电机36，所述电缸电机36处设置有电缆拖链37。进一步地，所述花篮承载机构6包括升降气缸61、花篮承载盘62、气缸支座63，所述升降气缸61的升降端安装有花篮承载盘62，所述升降气缸61通过气缸支座63安装在防腐骨架2上，所述气缸支座63背面安装有风道机构64，所述风道机构64用于对花篮夹抓进行干燥，所述花篮承载盘62采用镂空状。进一步地，所述转向定位机构4包括轴承安装支座41、电机42、减速机43，所述电机42、减速机43锁紧在轴承安装支座41上，所述电机42通过旋转改变花篮方向，所述轴承安装支座41上方装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于湿制程设备的花篮及晶圆全自动转运传输机构，其特征在于：包括单花篮直立式旋干机(1)、防腐骨架(2)、电缸承载机构(3)、转向定位机构(4)、花篮夹持机构(5)、花篮承载机构(6)，所述单花篮直立式旋干机(1)通过旋干机角度调整脚(18)安装在防腐骨架(2)上，所述旋干机角度调整脚(18)用于调整单花篮直立式旋干机(1)的倾斜角度，所述单花篮直立式旋干机(1)前侧设置有电缸承载机构(3)，所述电缸承载机构(3)通过电缸固定支座(31)以及电缸可调支座(32)安装在防腐骨架(2)上，所述电缸可调支座(32)用于调整电缸承载机构(3)的倾斜角度，所述电缸承载机构(3)的电缸滑台上安装有转向定位机构(4)、花篮夹持机构(5)，所述转向定位机构(4)带动花篮夹持机构(5)作90°旋转，所述花篮夹持机构(5)用于夹取花篮及晶圆(7)，所述电缸滑台带动转向定位机构(4)、花篮夹持机构(5)作前后传送，所述单花篮直立式旋干机(1)左侧设置有花篮承载机构(6)，所述花篮承载机构(6)可升降式安装在防腐骨架(2)上。

【技术特征摘要】
1.一种用于湿制程设备的花篮及晶圆全自动转运传输机构，其特征在于：包括单花篮直立式旋干机(1)、防腐骨架(2)、电缸承载机构(3)、转向定位机构(4)、花篮夹持机构(5)、花篮承载机构(6)，所述单花篮直立式旋干机(1)通过旋干机角度调整脚(18)安装在防腐骨架(2)上，所述旋干机角度调整脚(18)用于调整单花篮直立式旋干机(1)的倾斜角度，所述单花篮直立式旋干机(1)前侧设置有电缸承载机构(3)，所述电缸承载机构(3)通过电缸固定支座(31)以及电缸可调支座(32)安装在防腐骨架(2)上，所述电缸可调支座(32)用于调整电缸承载机构(3)的倾斜角度，所述电缸承载机构(3)的电缸滑台上安装有转向定位机构(4)、花篮夹持机构(5)，所述转向定位机构(4)带动花篮夹持机构(5)作90°旋转，所述花篮夹持机构(5)用于夹取花篮及晶圆(7)，所述电缸滑台带动转向定位机构(4)、花篮夹持机构(5)作前后传送，所述单花篮直立式旋干机(1)左侧设置有花篮承载机构(6)，所述花篮承载机构(6)可升降式安装在防腐骨架(2)上。2.如权利要求1所述的用于湿制程设备的花篮及晶圆全自动转运传输机构，其特征在于：所述防腐骨架(2)采用SUS不锈钢管焊接调平而成，所述防腐骨架(2)表面包覆有防腐PP板，所述防腐骨架(2)顶面安装有贴膜铝板(23)，所述防腐骨架(2)底端安装有地脚(21)及万向轮(22)。3.如权利要求2所述的用于湿制程设备的花篮及晶圆全自动转运传输机构，其特征在于：所述单花篮直立式旋干机(1)包括旋干机底座(11)、旋干机自动门(12)、旋干机开关门气缸(13)、旋干机电机(14)、旋干机转子(15)、机械定位孔(16)、旋干机外壳(17)、旋干机角度调整脚(18)，所述旋干机底座(11)与防腐骨架(2)的贴膜铝板相连，所述旋干机外壳(17)通过旋干机角度调整脚(18)安装在旋干机底座(11)上，所述旋干机外壳(17)一侧安装有旋干机电机(14)，所述旋干机外壳(17)内设有旋干机转子(15)，所述旋干机转子(15)与旋干机电机(14)的输出端相连，所述旋干机转子(15)上开有机械定位孔(16)，所述旋干机外壳(17)的开口处装设有旋干机自动门(12)，所述旋干机自动门(12)与旋干机开关门气缸(13)的活塞端相连，所述旋干机自动门(12)通过旋干机开关门气缸(13)自动开闭。4.如权利要求3所述的用于湿制程设备的花篮及晶圆全自动转运传输机构，其特征在于：所述旋干机底座(11)上的安装孔设置为腰型孔，所述单花篮直立式旋干机(1)通过腰型孔调节前后位置。5.如权利要求3所述的用于湿制程设备的花篮及晶圆全自动转运传输机构，其特征在于：所述旋干机外壳(17)、旋干机电机(14)与旋干机...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵晗，江献茂，简建至，张雨，
申请(专利权)人：冠礼控制科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31