一种RTA退火托盘制造技术

本实用新型专利技术公开了一种RTA退火托盘，涉及半导体发光二极管芯片制造技术领域，包括托盘本体，所述托盘本体的上表面外侧边安装有第一加强筋，且托盘本体的上表面位于第一加强筋的内侧位置处安装有用于放置样品的托盘槽体，所述托盘本体的上表面靠近托盘槽体的一侧位置处安装有第二加强筋。本实用新型专利技术设计的一种RTA退火托盘，在实际使用时，主要用于四元系AlGaInP LED芯片的退火工艺，可以保证退火温场的均匀性，从而获得电压均匀的LED芯片，解决传统托盘温场不均导致芯片边缘或者外围电压异常的现象，极大提升了产品光电性能和良率，而且在RTA退火托盘的外侧和上表面均加装有加强筋，可以进一步增强托盘本体的牢固性，提高其使用寿命。

A RTA Annealing Pallet

The utility model discloses an RTA annealing tray, which relates to the manufacturing technology field of semiconductor light emitting diode chips, including a tray body. The upper surface of the tray body is provided with a first reinforcing rib on the outer side of the upper surface, and the upper surface of the tray body is located at the inner side position of the first reinforcing rib, and a tray trough body for placing samples is installed. The upper surface of the tray body is close to the tray trough. A second reinforcing rib is installed at one side of the body. The RTA annealing tray designed by the utility model is mainly used in the annealing process of Quaternary AlGaInP LED chips in practical use. It can ensure the uniformity of annealing temperature field and obtain LED chips with uniform voltage. It can solve the phenomenon that the uneven temperature field of the traditional tray leads to abnormal edge or peripheral voltage of the chip, greatly improves the photoelectric performance and yield of the product, and recedes in RTA. The outer side and the upper surface of the fire tray are equipped with reinforcing bars, which can further enhance the firmness of the tray body and improve its service life.

【技术实现步骤摘要】
一种RTA退火托盘
本技术涉及半导体发光二极管芯片制造
，具体是一种RTA退火托盘。
技术介绍
RTA是将工件加热到较高温度，根据材料和工件尺寸采用不同的保温时间，然后进行快速冷却，目的是使金属内部组织达到或接近平衡状态，获得良好的工艺性能和使用性能。RTA在现代半导体器件制作产业有重要的应用，已成为半导体光电二极管芯片制作
不可缺少的退火设备。可以用极快的升温在目标温度，短暂持续，对器件进行热处理，同时腔体会注入Ar或者N2作为保护气体。快速的升温过程和短暂的持续时间能够在晶格缺陷的修复、激活杂质和最小化杂质扩散三者之间取得优化。RTA托盘装置一般采用导热性良好的材料制作，传统RTA托盘装置以方形为主，有的会在四角做倒角处理，盘面挖有凹槽用于放置器件样品。这种结构对于表面粗糙或者吸光的材质样品是没有问题的，但是对于表面蒸镀有金属材料，并且表面平滑且有反光作用的样品就会出现由于样品本身反光而造成样品需要利用周围导热性良好的托盘通过四周传递给样品，这样由于边缘托盘的不规则形状导致传递的热量传递不均匀，进而影响样品的光电性能，因此，本领域技术人员提供了一种RTA退火托盘，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种RTA退火托盘，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种RTA退火托盘，包括托盘本体，所述托盘本体的上表面外侧边安装有第一加强筋，且托盘本体的上表面位于第一加强筋的内侧位置处安装有用于放置样品的托盘槽体，所述托盘本体的上表面靠近托盘槽体的一侧位置处安装有第二加强筋。作为本技术进一步的方案：所述托盘本体为一种导热性好的SiC材质的构件，且托盘本体的厚度为2-5mm。作为本技术再进一步的方案：所述托盘槽体的一侧连接有槽体连接件，且托盘槽体通过槽体连接件相互连接成一体。作为本技术再进一步的方案：所述托盘槽体共设置有四个，且四个托盘槽体呈矩形分布在托盘本体的上表面，所述托盘槽体为一种圆形结构。作为本技术再进一步的方案：所述槽体连接件为一种石英材质的构件。作为本技术再进一步的方案：所述第二加强筋共设置有两个，且两个第二加强筋呈十字形分布在托盘本体的上表面，所述第一加强筋与托盘本体的形状相同。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术设计的一种RTA退火托盘，在实际使用时，主要用于四元系AlGaInPLED芯片的退火工艺，可以保证退火温场的均匀性，从而获得电压均匀的LED芯片，解决传统托盘温场不均导致芯片边缘或者外围电压异常的现象，极大提升了产品光电性能和良率，而且在RTA退火托盘的外侧和上表面均加装有加强筋，可以进一步增强托盘本体的牢固性，提高其使用寿命。附图说明图1为一种RTA退火托盘的结构示意图；图2为一种RTA退火托盘中槽体连接件的安装示意图。图中：1、托盘本体；2、第一加强筋；3、托盘槽体；4、第二加强筋；5、槽体连接件。具体实施方式请参阅图1～2，本技术实施例中，一种RTA退火托盘，包括托盘本体1，托盘本体1为一种导热性好的SiC材质的构件，且托盘本体1的厚度为2-5mm，托盘本体1的上表面外侧边安装有第一加强筋2，且托盘本体1的上表面位于第一加强筋2的内侧位置处安装有用于放置样品的托盘槽体3，托盘本体1的上表面靠近托盘槽体3的一侧位置处安装有第二加强筋4。进一步的，托盘槽体3的一侧连接有槽体连接件5，且托盘槽体3通过槽体连接件5相互连接成一体，托盘槽体3共设置有四个，且四个托盘槽体3呈矩形分布在托盘本体1的上表面，托盘槽体3为一种圆形结构，槽体连接件5为一种石英材质的构件，通过槽体连接件5可以将托盘槽体3相互连接成一体。再进一步的，第二加强筋4共设置有两个，且两个第二加强筋4呈十字形分布在托盘本体1的上表面，第一加强筋2与托盘本体1的形状相同，通过在托盘本体1的外侧和上表面安装第一加强筋2和第二加强筋4，可以增强托盘本体1的牢固性，提高其使用寿命。本技术的工作原理是：本技术设计的一种RTA退火托盘，由托盘槽体3、槽体连接件5、第一加强筋2和第二加强筋4构成，其中用于放置样品的托盘槽体3的外围全部为同心圆形状，而且托盘本体1采用导热性好的SiC材质，槽体连接件5采用石英材质，且RTA退火托盘主要用于四元系AlGaInPLED芯片的退火工艺，可以保证退火温场的均匀性，从而获得电压均匀的LED芯片，解决传统托盘温场不均导致芯片边缘或者外围电压异常的现象，极大提升了产品光电性能和良率，同时在托盘本体1的外侧边和上表面均加装第一加强筋2和第二加强筋4可以增强托盘本体1的牢固性，提高其使用寿命。以上所述的，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种RTA退火托盘，包括托盘本体(1)，其特征在于，所述托盘本体(1)的上表面外侧边安装有第一加强筋(2)，且托盘本体(1)的上表面位于第一加强筋(2)的内侧位置处安装有用于放置样品的托盘槽体(3)，所述托盘本体(1)的上表面靠近托盘槽体(3)的一侧位置处安装有第二加强筋(4)。

【技术特征摘要】
1.一种RTA退火托盘，包括托盘本体(1)，其特征在于，所述托盘本体(1)的上表面外侧边安装有第一加强筋(2)，且托盘本体(1)的上表面位于第一加强筋(2)的内侧位置处安装有用于放置样品的托盘槽体(3)，所述托盘本体(1)的上表面靠近托盘槽体(3)的一侧位置处安装有第二加强筋(4)。2.根据权利要求1所述的一种RTA退火托盘，其特征在于，所述托盘本体(1)为一种导热性好的SiC材质的构件，且托盘本体(1)的厚度为2-5mm。3.根据权利要求1所述的一种RTA退火托盘，其特征在于，所述托盘槽体(3)的一侧连接有槽体连接件(5...

【专利技术属性】
技术研发人员：白继锋，赵敏博，陈杏，王向武，张银桥，汪洋，
申请(专利权)人：南昌凯迅光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江西,36