The utility model relates to the technical field of semiconductor manufacturing, in particular to a wafer cleaning device. The wafer cleaning device includes a reaction chamber for holding wafers, and also includes: a plurality of main pipes for one-to-one transmission of a variety of raw materials to a mixing tank; a plurality of branch pipes corresponding to a plurality of main pipes for one-to-one transmission of a variety of said raw materials to a process tank; a mixing tank connected with the process tank for preparing a mixing solution using various said raw materials and transmitting it to the process. A process slot is connected with the reaction chamber for transmitting the mixed solution to the reaction chamber and receiving the recycled liquid discharged from the reaction chamber. The utility model greatly reduces the cost of cleaning wafers.
【技术实现步骤摘要】
晶圆清洗装置
本技术涉及半导体制造
,尤其涉及一种晶圆清洗装置。
技术介绍
随着平面型闪存存储器的发展,半导体的生产工艺取得了巨大的进步。但是最近几年,平面型闪存的发展遇到了各种挑战:物理极限、现有显影技术极限以及存储电子密度极限等。在此背景下,为解决平面闪存遇到的困难以及追求更低的单位存储单元的生产成本,各种不同的三维(3D)闪存存储器结构应运而生,例如3DNOR(3D或非)闪存和3DNAND(3D与非)闪存。其中,3DNAND以其小体积、大容量为出发点,将储存单元采用三维模式层层堆叠的高度集成为设计理念,生产出高单位面积存储密度,高效存储单元性能的存储器,已经成为新兴存储器设计和生产的主流工艺。刻蚀是半导体制造过程中的必要步骤,刻蚀包括湿法刻蚀、等离子体刻蚀等等。在湿法刻蚀中,通常采用由多种酸混合而成的混酸溶液对晶圆进行清洗。但是,现有的湿法清洗装置由于混酸的使用导致清洗成本较高,直接导致了最终晶圆生产成本的升高。因此,如何降低湿法清洗装置清洗晶圆的成本,提高资源利用率,是目前亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本技术提供一种晶圆清洗装置,用于解决现有的晶圆清洗装置清洗晶圆的成本较高的问题。为了解决上述问题,本技术提供了一种晶圆清洗装置,包括用于容纳晶圆的反应腔室,还包括:多条主管道,用于一一传输多种原料至混合槽;多条支管道,与多条主管道一一对应,用于一一传输多种所述原料至制程槽;混合槽,连接所述制程槽,用于采用多种所述原料制备混合溶液并传输至所述制程槽;制程槽,连接所述反应腔室,用于向所述反应腔室传输所述混合溶液,并接收自所述反应腔室排出的回收液。优选 ...
【技术保护点】
1.一种晶圆清洗装置,包括用于容纳晶圆的反应腔室,其特征在于,还包括:多条主管道,用于一一传输多种原料至混合槽;多条支管道,与多条主管道一一对应,用于一一传输多种所述原料至制程槽;混合槽,连接所述制程槽,用于采用多种所述原料制备混合溶液并传输至所述制程槽;制程槽,连接所述反应腔室,用于向所述反应腔室传输所述混合溶液,并接收自所述反应腔室排出的回收液。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆清洗装置,包括用于容纳晶圆的反应腔室,其特征在于,还包括:多条主管道,用于一一传输多种原料至混合槽;多条支管道,与多条主管道一一对应,用于一一传输多种所述原料至制程槽;混合槽,连接所述制程槽,用于采用多种所述原料制备混合溶液并传输至所述制程槽;制程槽,连接所述反应腔室,用于向所述反应腔室传输所述混合溶液,并接收自所述反应腔室排出的回收液。2.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置,其特征在于,还包括:与多条支管道一一对应的多个补给槽,所述补给槽的输入端连接所述支管道、输出端连接所述制程槽。3.根据权利要求2所述的晶圆清洗装置,其特征在于,还包括:与多个补给槽一一对应的多条补给管道,所述补给管道的一端连接所述补给槽的输出端、另一端连接所述制程槽;一一安装于多条补给管道中的多个控制阀,所述控制阀用于调整所述原料自所述补给槽传输至所述制程槽的流速。4.根据权利要求3所述的晶圆清洗装置,其特征在于,还包括:与多种原料一一对...
【专利技术属性】
技术研发人员:李君,夏余平,
申请(专利权)人:长江存储科技有限责任公司,
类型:新型
国别省市:湖北,42
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