离子束筛选器和离子植入机制造技术

本实用新型专利技术提供了一种离子束筛选器，包括：具有第一孔的底板、具有第二孔的遮挡板，所述第一孔的孔径大于所述第二孔的孔径，所述遮挡板能够相对于底板移动，所述遮挡板覆盖所述底板的第一孔时，切换第二孔工作；所述遮挡板未覆盖所述底板的第一孔时，切换第一孔工作；还提供了一种离子植入机，包括：离子源、离子束筛选器以及如离子束分离器。在本实用新型专利技术提供的离子束筛选器和离子植入机中，通过离子束筛选器筛选出不同电流的离子束，适用于不同的机台对不同电流的离子束的需求。并且本实用新型专利技术通过控制器自动控制遮挡板的移动，实现电子束通过第一孔或第二孔的切换，从而自动筛选出不同电流的离子束。

Ion Beam Screener and Ion Implanter

The utility model provides an ion beam filter, which comprises a bottom plate with a first hole and a shield plate with a second hole. The aperture of the first hole is larger than the aperture of the second hole. The shield plate can move relative to the bottom plate. When the shield plate covers the first hole of the bottom plate, the second hole can be switched to work; when the shield plate does not cover the first hole of the bottom plate, the shield plate can be switched to work. It also provides an ion implanter, including an ion source, an ion beam filter and an ion beam separator, for example. In the ion beam filter and ion implanter provided by the utility model, ion beams with different currents are screened out by the ion beam filter, which is suitable for the needs of different platforms for ion beams with different currents. The utility model automatically controls the movement of the shield plate through the controller, realizes the switching of the electron beam through the first hole or the second hole, thereby automatically screening out the ion beams of different currents.

【技术实现步骤摘要】
离子束筛选器和离子植入机
本技术涉及一种半导体设备领域，尤其是涉及一种离子束筛选器和离子植入机。
技术介绍
离子植入法是一种用于将改变材料导电性的离子引入工件中的标准技术。进行离子植入采用的设备称为离子植入机。离子植入机具有能提供规定能量的离子束的离子源，离子束最终被引导至工件的表面。离子植入机发射的离子束的密度从自身的中间部分到周围的密度逐渐减小，离子束边缘的发散的部分离子束会被过滤掉，得到较均匀的离子束。过滤掉的离子束的离子较为集中，但是并不一定就是所需电流的离子束，因此需要一个可以控制离子植入电流大小的设备，并且能通过程式控制获得不同电流的离子束。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种离子束筛选器和离子植入机，可以自动筛选出不同电流的离子束。为了达到上述目的，本技术提供了一种离子束筛选器，包括：具有第一孔的底板、具有第二孔的遮挡板，所述第一孔的孔径大于所述第二孔的孔径，所述遮挡板能够相对于底板移动，所述遮挡板覆盖所述底板的第一孔时，切换第二孔工作；所述遮挡板未覆盖所述底板的第一孔时，切换第一孔工作。可选的，在所述的离子束筛选器中，所述离子束筛选器还包括用于使与遮挡板能够相对于底板移动的移动装置。可选的，在所述的离子束筛选器中，所述移动装置包括与遮挡板连接的气缸以及与所述气缸连接的控制器。可选的，在所述的离子束筛选器中，所述离子束筛选器还包括碳棒，所述遮挡板固定在碳棒上。可选的，在所述的离子束筛选器中，所述第一孔的孔径为36mm-40mm；所述第二孔的孔径为7mm-9mm。可选的，在所述的离子束筛选器中，所述底板和所述遮挡板平行设置。可选的，在所述的离子束筛选器中，所述离子束的中心线垂直于所述第一孔或所述第二孔入射。本技术还提供了一种离子植入机，包括：离子源、离子束分离器以及离子束筛选器。可选的，在所述的离子植入机中，所述离子束分离器为两个石墨板，两个石墨板在同一平面并且两个石墨板之间具有一定间隙。可选的，在所述的离子植入机中，所述离子源发射的离子束的密度从中间到边缘部分逐渐减小。在本技术提供的离子束筛选器和离子植入机中，离子束筛选器包括：具有第一孔的底板、具有第二孔的遮挡板，所述第一孔的孔径大于所述第二孔的孔径，所述遮挡板能够相对于底板移动，所述遮挡板覆盖所述底板的第一孔时，切换第二孔工作；所述遮挡板未覆盖所述底板的第一孔时，切换第一孔工作。遮挡板移动可以遮挡或露出第一孔，露出第一孔时，电子束完全通过第一孔过滤获得一种电流的电子束；遮挡第一孔时，电子束通过第二孔过滤获得另一种电流的电子束，最终，通过离子束筛选器筛选出不同电流的离子束，满足不同电流的离子束的需求。附图说明图1-图2为本技术实施例的离子束筛选器的结构示意图；图3为本技术实施例的离子植入机的结构示意图；图中：131-第一孔、132-底板、133-遮挡板、134-第二孔、135-碳棒、110-离子源、120-离子束分离器、130-离子束筛选器。具体实施方式下面将结合示意图对本技术的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述和权利要求书，本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。参照图1，图2和图3，本技术提供了一种离子束筛选器，包括：具有第一孔131的底板132、具有第二孔134的遮挡板133，所述第一孔131的孔径大于所述第二孔134的孔径，所述遮挡板133能够相对于底板132移动，所述遮挡板133覆盖所述底板132的第一孔131时，切换第二孔134工作；所述遮挡板133未覆盖所述底板132的第一孔131时，切换第一孔131工作。专利技术人发现离子束通过不同孔径的孔可以获得不同电流的离子束，即可以通过挡住离子束边缘的一部分离子让中间部分的离子通过来获得不同电流的离子束，专利技术人还发现通过一个设备上设置多个不同孔径的孔，离子束分别通过这些孔，从而获得不同电流的离子束。进一步的，所述离子束筛选器还包括与所述遮挡板133连接的气缸(图中未示出)以及与所述气缸连接的控制器(图中未示出)。除了可以手动移动遮挡板133切换第一孔131和第二孔134工作外，还可以通过与遮挡板133连接气缸和控制器完成，本技术将多个不同孔径的孔组合在同一个设备上，编写程序通过控制器控制不同孔径的孔的切换，即控制器控制气缸推动遮挡板133移动，露出或遮挡第一孔131，切换第一孔131和第二孔134工作，从而可以获得多个不同电流的离子束。进一步的，所述离子束筛选器还包括碳棒135，所述遮挡板133固定在碳棒135上。气缸推动遮挡板133移动时，碳棒135也会跟着移动，碳棒135可以使得更换遮挡板133更加方便。本实施例中，所述第一孔131的孔径大于所述第二孔134的孔径。第一孔131用于筛选较大电流的离子束，因此离子束的截面尺寸更大，第二孔134用于筛选较小电流的电子束，因此离子束的截面尺寸相对较小，因此制作时，第一孔131的孔径大于第二孔134的孔径。本实施例中，所述第一孔131的孔径为36mm-40mm，具体的为38mm，可以用于电流为大于或等于10μA的离子束通过。所述第二孔134的孔径为7mm-9mm，具体的为8mm，可以用于电流小于10μA的离子束通过。在本技术的其他实施例中，第一孔131和第二孔134的尺寸也可以做成其他尺寸的孔，具体的可以根据制作前，所需要分离的离子束的电流来设置第一孔131和第二孔134的孔径的大小。在本技术的其他实施例中，可以用于筛选其他电流的离子束，例如，筛选电流为15μA的电子束，相应的，孔径的尺寸也跟着变化。优选的，所述底板132和所述遮挡板133平行设置。为了使得遮挡板133移动后遮挡板133上的第二孔134能多次与底板132上的第一孔131重合，因此遮挡板133平行于底板132移动，方便第二孔134的可以和第一孔131重合。本实施例中，所述离子束的中心线垂直于所述第一孔131或所述第二孔134入射。离子束穿过用于分离离子束的第一孔131和第二孔134，离子束垂直穿过第一孔131或第二孔134可以使得离子束被底板132或遮挡板133挡住的部分更加均匀。本技术还提供了一种离子植入机，包括：离子源110、离子束分离器120以及离子束筛选器130。离子源110发出的离子束通过石墨板组成的间隙将离子束边缘不符合规格的离子过滤后，根据电流的需要再次分离离子束，在本实施例中，需要分离出电流为小于10μA的离子束和大于或等于10μA的离子束，气缸推动遮挡板133远离第一孔131移动，露出底板132上的第一孔131，使得离子束可以通过第一孔131，从而获得电流为大于或等于10μA的离子束；气缸推动遮挡板133向第一孔131移动并且最后第二孔134与第一孔131重合，重合后，第一孔131的其中的边缘的一部分被遮挡板133覆盖，离子束能通过的大小即为第二孔134的孔径的大小，这样可以利用第二孔134对离子束进行筛选获得获得电流小于10μA的离子束。本实施例中，所述离子束分离器120为两个石墨板，两个石墨板在同一平面并且两个石墨板之间具有一定间隙。离子源110发射的离子束边缘的离子密度很小，比较散本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种离子束筛选器，其特征在于，包括：具有第一孔的底板、具有第二孔的遮挡板，所述第一孔的孔径大于所述第二孔的孔径，所述遮挡板能够相对于底板移动，所述遮挡板覆盖所述底板的第一孔时，切换第二孔工作；所述遮挡板未覆盖所述底板的第一孔时，切换第一孔工作。

【技术特征摘要】
1.一种离子束筛选器，其特征在于，包括：具有第一孔的底板、具有第二孔的遮挡板，所述第一孔的孔径大于所述第二孔的孔径，所述遮挡板能够相对于底板移动，所述遮挡板覆盖所述底板的第一孔时，切换第二孔工作；所述遮挡板未覆盖所述底板的第一孔时，切换第一孔工作。2.如权利要求1所述的离子束筛选器，其特征在于，所述离子束筛选器还包括用于使与遮挡板能够相对于底板移动的移动装置。3.如权利要求2所述的离子束筛选器，其特征在于，所述移动装置包括与遮挡板连接的气缸以及与所述气缸连接的控制器。4.如权利要求1所述的离子束筛选器，其特征在于，所述离子束筛选器还包括碳棒，所述遮挡板固定在碳棒上。5.如权利要求1所述的离子束筛...

【专利技术属性】
技术研发人员：韦伟，洪纪伦，吴宗祐，林宗贤，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32