一种多用途高负载高精滴定仪制造技术

本实用新型专利技术涉及一种多用途高负载高精滴定仪，包括控制箱，控制箱前端面上部设置有HMI界面，控制箱内设有滴定环境温控系统、缓冲剂气泡侦测系统、滴定剂气泡侦测系统、缓冲剂桶、滴定剂桶，缓冲剂桶通过管路连接缓冲剂泵，缓冲剂泵连接缓冲剂气泡侦测系统，滴定剂桶通过管路连接滴定剂气泡侦测系统，滴定剂桶与滴定剂气泡侦测系统之间装有逆止阀、滴定剂定量微升添加器，滴定剂气泡侦测系统连接滴定分析容器，滴定分析容器内设有PTFE磁转子，滴定分析容器底部装有磁感应搅拌马达，滴定分析容器上连接有PH计，滴定分析容器通过管路连接排液泵；本实用新型专利技术在同时满足在线式浓度监测的基础上，保证了测量的精度，实现了高负荷、高精度测量。

A Multipurpose High Load and High Precision Titration Instrument

The utility model relates to a multi-purpose, high-load and high-precision titrator, which comprises a control box, a HMI interface on the front end surface of the control box, a titration environment temperature control system, a buffer bubble detection system, a titrator bubble detection system, a buffer bucket, a titrator bucket, a buffer bucket connecting the buffer pump through a pipeline, and a buffer pump connecting the buffer bubble detection system. The titrant barrel is connected with the titrant bubble detection system through a pipeline. A check valve and a titrant quantitative micro-lift adder are installed between the titrant barrel and the titrant bubble detection system. The titrant bubble detection system is connected with the titration analysis container. A PTFE magnetic rotor is installed in the titration analysis container. A magnetic induction stirring motor is installed at the bottom of the titration analysis container and PH is connected on the titration analysis container. The titration analysis vessel is connected with the drainage pump through the pipeline, and on the basis of online concentration monitoring, the utility model ensures the measurement accuracy and realizes high load and high precision measurement.

【技术实现步骤摘要】
一种多用途高负载高精滴定仪[
]本技术涉及化学品稀释
，具体地说是一种多用途高负载高精滴定仪。[
技术介绍
]半导体/液晶面板制造工艺中，经常需要使用同一药品的不同浓度的药品，例如氢氟酸就有HF49％、HF5％、HF1％、HF0.5％等，氢氧化钾有KOH25％、KOH4.5％、KOH0.045％等。另外，在Slurry供应系统中，需要将同一种药品添加到不同的Slurry中，如将浓度为30％的双氧水H2O2添加到W2000、W7300、HST3601等，要求混合液中的H2O2浓度为2％等。这些药品通常使用稀释设备来调配出合格浓度的药品，传送到供应设备中存储，由供应设备供应到全厂所有的使用点。现有的工艺中，通常使用浓度计来测量浓度。因为浓度计的测量时间短，可实时监测，在特定工艺下可以保证稳定性和准确性，而且不需要耗材。为保证浓度计的准确性，需要定期取样送实验室分析浓度，确认浓度计的测量结果和实验室的分析结果在合格的偏差内。随着半导体技术的飞速提高，对浓度精度也在提高，通常要求稀释设备在使用浓度计测量得出测量结果值的同时，在线使用滴定仪测量得出分析结果值，比较测量结果值和分析结果值，确保两者在规定的范围内，保证系统的稳定性，在线式滴定仪的使用需求在快速增长。同时，在供应设备，为保证供应到设备的药品品质，也需要测量药品浓度。通常需要定期取样送实验室分析浓度，所需时间比较长，现在也出现在供应设备出口增加在线式滴定仪的需求。滴定仪的原理是使用酸碱中和反应，通过测量PH或电位的变化检测出中和反应的终点，根据试剂和试样的浓度和用量来计算出浓度。滴定仪的测量结果在现有的所有浓度测量的方式中最为准确，在使用过程中，对环境的要求比较高，对操作人员的要求也高，通常都安装在实验室中，由专业人员专门操作运行。在线式滴定仪安装在化学品供应系统的房间内，环境变化比较大，测量频率高负载大，又是自动运行，长时间没有操作人员的维护，在实际的生产过程中，滴定仪的测量精度经常达不到设计要求的规定。而在现有滴定仪的长期维护过程中，影响到在线式滴定仪的精度的大多原因为：1、温度变化，房间的昼夜温度变化大约在21-26度之间，季节变化在18-28度之间。2、气泡影响，包括试样中的气泡和试剂中的气泡。3、清洗不彻底，反应容器中管路设计不合理，清洗后有残留，没有干燥装置。因此，现有滴定仪主要存在以下问题和缺点：(1)无法对应房间温度变化；(2)无法检测试样和试剂中的气泡；(3)反应容器中管路设计不合理，清洗后有残留，没有干燥装置；(4)试剂变性后无法检测。[
技术实现思路
]本技术的目的就是要解决上述的不足而提供一种多用途高负载高精滴定仪，在同时满足在线式浓度监测的基础上，保证了测量的精度，实现了高负荷、高精度测量。为实现上述目的设计一种多用途高负载高精滴定仪，包括控制箱5，控制箱5前端面上部设置有HMI界面6，所述控制箱5前端面下部装设有箱门，所述控制箱5内设有滴定环境温控系统1、缓冲剂气泡侦测系统2、滴定剂气泡侦测系统3、滴定分析容器4、滴定剂定量微升添加器10、缓冲剂桶11、滴定剂桶12、排液泵13、缓冲剂泵14、磁感应搅拌马达15、PTFE磁转子16、PH计17、逆止阀18，所述缓冲剂桶11通过管路连接缓冲剂泵14，所述缓冲剂泵14另一端通过管路连接缓冲剂气泡侦测系统2，所述滴定剂桶12通过管路连接滴定剂气泡侦测系统3，所述滴定剂桶12与滴定剂气泡侦测系统3之间的管路上安装有逆止阀18、滴定剂定量微升添加器10，所述滴定剂气泡侦测系统3另一端通过管路连接滴定分析容器4，所述滴定分析容器4内设置有PTFE磁转子16，所述滴定分析容器4底部安装有磁感应搅拌马达15，所述磁感应搅拌马达15与PTFE磁转子16电路连接，所述滴定分析容器4上连接有PH计17，所述滴定分析容器4通过管路连接排液泵13。进一步地，所述滴定环境温控系统1包括温度传感器101、外部散热铝片102、制冷片103、内部制冷铝片104、内部制冷风扇105、外部散热风扇106以及温控系统控制器，所述温度传感器101安装在控制箱5内上部，所述制冷片103两侧分别连接有外部散热铝片102、内部制冷铝片104，所述内部制冷铝片104底端安装有内部制冷风扇105，所述外部散热铝片102底端安装有外部散热风扇106，所述温度传感器101、制冷片103、制冷风扇105、外部散热风扇106分别通过线路连接温控系统控制器。进一步地，所述外部散热铝片102、制冷片103、内部制冷铝片104、内部制冷风扇105、外部散热风扇106通过挡板107安装在控制箱5内，所述挡板107与箱门平行布置，所述挡板107上下端处分别形成出风口108和进风口109。进一步地，所述缓冲剂气泡侦测系统2包括光纤传感器发射光线201、透镜一204、透镜二215、光纤传感器接受光线218，所述光纤传感器发射光线201通过倒锥接头一202连接PTFE接头一206，所述透镜一204通过特氟密封O型圈一205安装在倒锥接头一202与PTFE接头一206之间，所述光纤传感器接受光线218通过倒锥接头四217连接PTFE接头二213，所述透镜二215通过特氟密封O型圈二214安装在倒锥接头四217与PTFE接头二213之间，所述透镜一204、透镜二215均为透明蓝宝石透镜，所述PTFE接头一206与PTFE接头二213之间连接有PFA内管209，所述PFA内管209外围套设有黑色防透光外套管210，所述PTFE接头一206、PTFE接头二213均为T型接头，所述PTFE接头一206的第三端口为化学品入口端，所述PTFE接头二213的第三端口为化学品出口端。进一步地，所述PFA内管209两端分别插装有倒锥接头二208、倒锥接头三211，所述倒锥接头二208、倒锥接头三211另一端分别通过螺纹连接PTFE接头一206、PTFE接头二213，所述倒锥接头二208与PTFE接头一206之间设置有压环二207，所述倒锥接头三211与PTFE接头二213之间设置有压环三212，所述倒锥接头一202、倒锥接头四217分别通过螺纹连接PTFE接头一206、PTFE接头二213，所述倒锥接头一202与PTFE接头一206之间设置有压环一203，所述倒锥接头四217与PTFE接头二213之间设置有压环四216。进一步地，所述光纤传感器发射光线201、光纤传感器接受光线218分别通过线路连接气泡侦测系统控制器，所述气泡侦测系统控制器通过线路连接报警器。进一步地，所述滴定剂气泡侦测系统3包括光纤传感器发射光线二301、透镜三304、透镜四308、光纤传感器接受光线二311，所述光纤传感器发射光线二301通过倒锥接头五302连接PTFE接头三306的第一端口，所述透镜三304通过特氟密封O型圈三305安装在倒锥接头五302与PTFE接头三306之间，所述光纤传感器接受光线二311通过倒锥接头六310连接PTFE接头三306的第二端口，所述透镜四308通过特氟密封O型圈四307安装在倒锥接头六310与PTFE接头三306之间，所述透镜三304、透镜四308均为透明蓝宝石透镜，所述PTFE接头三306为十字形接头，所述PTFE接头三306的第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多用途高负载高精滴定仪，其特征在于：包括控制箱(5)，控制箱(5)前端面上部设置有HMI界面(6)，所述控制箱(5)前端面下部装设有箱门，所述控制箱(5)内设有滴定环境温控系统(1)、缓冲剂气泡侦测系统(2)、滴定剂气泡侦测系统(3)、滴定分析容器(4)、滴定剂定量微升添加器(10)、缓冲剂桶(11)、滴定剂桶(12)、排液泵(13)、缓冲剂泵(14)、磁感应搅拌马达(15)、PTFE磁转子(16)、PH计(17)、逆止阀(18)，所述缓冲剂桶(11)通过管路连接缓冲剂泵(14)，所述缓冲剂泵(14)另一端通过管路连接缓冲剂气泡侦测系统(2)，所述滴定剂桶(12)通过管路连接滴定剂气泡侦测系统(3)，所述滴定剂桶(12)与滴定剂气泡侦测系统(3)之间的管路上安装有逆止阀(18)、滴定剂定量微升添加器(10)，所述滴定剂气泡侦测系统(3)另一端通过管路连接滴定分析容器(4)，所述滴定分析容器(4)内设置有PTFE磁转子(16)，所述滴定分析容器(4)底部安装有磁感应搅拌马达(15)，所述磁感应搅拌马达(15)与PTFE磁转子(16)电路连接，所述滴定分析容器(4)上连接有PH计(17)，所述滴定分析容器(4)通过管路连接排液泵(13)。...

【技术特征摘要】
1.一种多用途高负载高精滴定仪，其特征在于：包括控制箱(5)，控制箱(5)前端面上部设置有HMI界面(6)，所述控制箱(5)前端面下部装设有箱门，所述控制箱(5)内设有滴定环境温控系统(1)、缓冲剂气泡侦测系统(2)、滴定剂气泡侦测系统(3)、滴定分析容器(4)、滴定剂定量微升添加器(10)、缓冲剂桶(11)、滴定剂桶(12)、排液泵(13)、缓冲剂泵(14)、磁感应搅拌马达(15)、PTFE磁转子(16)、PH计(17)、逆止阀(18)，所述缓冲剂桶(11)通过管路连接缓冲剂泵(14)，所述缓冲剂泵(14)另一端通过管路连接缓冲剂气泡侦测系统(2)，所述滴定剂桶(12)通过管路连接滴定剂气泡侦测系统(3)，所述滴定剂桶(12)与滴定剂气泡侦测系统(3)之间的管路上安装有逆止阀(18)、滴定剂定量微升添加器(10)，所述滴定剂气泡侦测系统(3)另一端通过管路连接滴定分析容器(4)，所述滴定分析容器(4)内设置有PTFE磁转子(16)，所述滴定分析容器(4)底部安装有磁感应搅拌马达(15)，所述磁感应搅拌马达(15)与PTFE磁转子(16)电路连接，所述滴定分析容器(4)上连接有PH计(17)，所述滴定分析容器(4)通过管路连接排液泵(13)。2.如权利要求1所述的多用途高负载高精滴定仪，其特征在于：所述滴定环境温控系统(1)包括温度传感器(101)、外部散热铝片(102)、制冷片(103)、内部制冷铝片(104)、内部制冷风扇(105)、外部散热风扇(106)以及温控系统控制器，所述温度传感器(101)安装在控制箱(5)内上部，所述制冷片(103)两侧分别连接有外部散热铝片(102)、内部制冷铝片(104)，所述内部制冷铝片(104)底端安装有内部制冷风扇(105)，所述外部散热铝片(102)底端安装有外部散热风扇(106)，所述温度传感器(101)、制冷片(103)、制冷风扇105、外部散热风扇(106)分别通过线路连接温控系统控制器。3.如权利要求2所述的多用途高负载高精滴定仪，其特征在于：所述外部散热铝片(102)、制冷片(103)、内部制冷铝片(104)、内部制冷风扇(105)、外部散热风扇(106)通过挡板(107)安装在控制箱(5)内，所述挡板(107)与箱门平行布置，所述挡板(107)上下端处分别形成出风口(108)和进风口(109)。4.如权利要求1所述的多用途高负载高精滴定仪，其特征在于：所述缓冲剂气泡侦测系统(2)包括光纤传感器发射光线(201)、透镜一(204)、透镜二(215)、光纤传感器接受光线(218)，所述光纤传感器发射光线(201)通过倒锥接头一(202)连接PTFE接头一(206)，所述透镜一(204)通过特氟密封O型圈一(205)安装在倒锥接头一(202)与PTFE接头一(206)之间，所述光纤传感器接受光线(218)通过倒锥接头四(217)连接PTFE接头二(213)，所述透镜二(215)通过特氟密封O型圈二(214)安装在倒锥接头四(217)与PTFE接头二(213)之间，所述透镜一(204)、透镜二(215)均为透明蓝宝石透镜，所述PTFE接头一(206)与PTFE接头二(213)之间连接有PFA内管(209)，所述PFA内管(209)外围套设有黑色防透光外套管(210)，所述PTFE接头一(206)、PTFE接头二(213)均为T型接头，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张仕成，吴玉明，赵龙山，汤海银，
申请(专利权)人：冠礼控制科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31