【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】控制用于半导体基板的传送和大气存储的运送盒的密封性的装置和方法
本专利技术涉及一种用于控制至少一个用于半导体基板的传送和大气存储的运送盒(壳体,箱体)的密封性(密封度)的装置。本专利技术还涉及一种用于控制至少一个运送盒的密封性的方法。
技术介绍
在半导体制造工业中,诸如FOUP(前开式晶圆传送盒)的运送盒可以用于将诸如半导体晶片的基板从一个设备传送到另一设备,或者用于在两个制造步骤之间存储基板。这些运送盒提供处于大气压力下并与使用和运送基板的环境隔开的有限空间,以在绝尘室中运送和存储一个或多个基板,该绝尘室中的内部空气保持在非常低的污染水平。这些运送盒是标准化元件,它们的打开和关闭可由制造设备自动且直接地控制。每个运送盒包括刚性的外周壳体,它具有可以通过可移除的门关闭的开口,在门和壳体之间插置有门密封件。然而,该运送盒不是完全密封的,因为在壳体或门中形成有通气端口(“呼吸端口”),以允许壳体内部和外部之间的压力平衡。为了进一步降低这些盒的内部被污染的风险,目前建议定期净化这些盒的内部空气。最近的发展还提出在一些运送盒的通气端口中布置止回阀,该止回阀与过滤器串联安装。所述止回阀使得盒能以几乎密封的方式被关闭,以保持盒的内部空气中的净化气体的轻微过压,而不与外部进行任何气体交换。通气端口处的密封程度的增加意味着门的密封程度是决定性因素。这是因为,如果不能保证门的密封性,未过滤的气体可能进入运送盒,这对基板特别有害。实际上,测量已经确定了运送盒的门的密封程度与这些盒中包含的基板的微粒的污染程度之间的相关性。因此,门的密封程度与生产效率直接相关。然而,没有现有的装 ...
【技术保护点】
1.用于控制至少一个用于半导体基板(3)的传送和大气存储的运送盒(2)的密封性的装置(1),所述运送盒(2)包括至少两个通气端口(8、9),其特征在于,所述控制装置(1)包括至少一个接口(20),该至少一个接口构造成联接到所述运送盒(2),该接口(20)包括:‑至少两个连接头(23、24),其中至少一个连接头由测量头(23)构成,该测量头构造成接合在所述运送盒(2)的通气端口(8)中,该测量头(23)包括:‑突出的端部件(29),该端部件通过至少一个孔(30)打开,和‑围绕该端部件(29)的周向密封元件(31),‑该运送盒(2)的所有通气端口(8、9)联接到所述接口(20)的连接头(23、24)。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.11.07 FR 16607501.用于控制至少一个用于半导体基板(3)的传送和大气存储的运送盒(2)的密封性的装置(1),所述运送盒(2)包括至少两个通气端口(8、9),其特征在于,所述控制装置(1)包括至少一个接口(20),该至少一个接口构造成联接到所述运送盒(2),该接口(20)包括:-至少两个连接头(23、24),其中至少一个连接头由测量头(23)构成,该测量头构造成接合在所述运送盒(2)的通气端口(8)中,该测量头(23)包括:-突出的端部件(29),该端部件通过至少一个孔(30)打开,和-围绕该端部件(29)的周向密封元件(31),-该运送盒(2)的所有通气端口(8、9)联接到所述接口(20)的连接头(23、24)。2.根据前一权利要求所述的控制装置(1),其特征在于,至少一个连接头由阻塞头(24)构成,所述阻塞头包括盲密封元件(32),该盲密封元件构造成关闭所述运送盒(2)的通气端口(9),该运送盒(2)的所有通气端口(8、9)由测量头(23)接合或由阻塞头(24)关闭。3.根据前述权利要求中任一项所述的控制装置(1),其特征在于,所述测量头(23)构造成接合在所述运送盒(2)的通气端口(8)中,并且如果所述通气端口(8)装备有入口止回阀(11),则推回所述入口止回阀(11)。4.根据前述权利要求中任一项所述的控制装置(1),其特征在于,所述至少一个周向密封元件(31)是弹性的,并且当所述运送盒(2)联接到所述接口(20)时至少部分地被压缩或变形。5.根据前述权利要求中任一项所述的控制装置(1),其特征在于,所述接口(20)包括构造用于固定所述运送盒(2)的至少一个固定装置(22、26)。6.根据前述权利要求中任一项所述的控制装置(1),其特征在于,所述测量头(23、24)可移动,所述接口(20)还包括至少一个头致动器(33),该头致动器构造成使所述连接头(23、24)在缩回位置和用于控制密封性的突出位置之间移动。7.根据权利要求1至5中任一项所述的控制装置(1),其特征在于,所述连接头(23、24)是固定的并且从所述接口(20)突出。8.根据前述权利要求中任一项所述的控制装置(1),其特征在于,所述周向密封元件(31)包括吸盘。9.根据权利要求2所述的控制装置(1),其特征在于,所述接口(20)包括两个测量头(23)和两个堵塞头(24)。10.根据前述权利要求中任一项所述的控制装置(1),其特征在于,它包括与测量头(23)的端部件(29)相连的至少一个测量线(40),该测量线(40)包括流量控制装置(41)和/或压力传感器(42)。11.根据前一权利要求所述的控制装置(1),其特征在于,所述测量线(40)包括至少一个校准的自控孔(46)和三通阀(47),该校准的自控孔作为所述测量头(23)的分支安装,该三通阀用于使所述测量线(40)的所述流量控制装置(41)和所述压力传感器(42)与所述至少一个校准的自控孔(46)连通,同时使它们与所述测量头(23)隔离。12.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员:B·贝莱,J·布努阿尔,N·沙佩尔,
申请(专利权)人:普发真空公司,
类型:发明
国别省市:法国,FR
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