芯片基板和微流控芯片制造技术

本发明专利技术公开了一种芯片基板和微流控芯片，包括：衬底基板和位于衬底基板一侧的透明电极层，透明电极层包括呈阵列排布的多个驱动电极，驱动电极用于驱动液滴的移动；位于衬底基板和透明电极层之间的多个编码部，编码部与驱动电极一一对应设置，编码部在衬底基板所在平面的垂直投影位于与其相对应的驱动电极在衬底基板所在平面的垂直投影内。通过将。本发明专利技术可快速、精准的确定液滴的位置。

Chip Substrate and Microfluidic Chip

The invention discloses a chip substrate and a microfluidic chip, comprising a substrate substrate and a transparent electrode layer on one side of the substrate substrate, a transparent electrode layer comprising a plurality of driving electrodes arranged in an array for driving the movement of droplets, a plurality of coding parts located between the substrate substrate and the transparent electrode layer, and a coding part corresponding to the driving electrodes one by one. The vertical projection of the plane on which the substrate is located is in the vertical projection of the corresponding driving electrode on the plane on which the substrate is located. By will. The present invention can quickly and accurately determine the position of droplets.

【技术实现步骤摘要】
芯片基板和微流控芯片
本专利技术涉及微流控领域，更具体地，涉及一种芯片基板和微流控芯片。
技术介绍
微流控(Micro-fluidic)技术是一种以在微米尺度空间对流体进行操控为主要特征的技术。该技术已经与化学、生物学、工程学和物理学等诸学科形成交叉，展示出了广泛的应用前景。目前，采用微流控技术在控制微液滴进行流动的过程中，需要对微液滴进行定位。由于微液滴的尺寸在微米级别，因此会采用显微镜或高精度的摄像头确定微液滴的位置。在微流控技术应用于基因检测时，高通量微流体液滴存在成千上万个位置，现有技术中显微镜或高精度的摄像头无法快速、准确的识别是哪个位置的液滴参与反应，即无法判断样本与反应酶发生生物化学等反应，无法对应识别出基因类型。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供了一种芯片基板和微流控芯片，可快速、精准的确定液滴的位置。第一方面，本专利技术提供了一种芯片基板，包括：衬底基板和位于衬底基板一侧的透明电极层，透明电极层包括呈阵列排布的多个驱动电极，驱动电极用于驱动液滴的移动；位于衬底基板和透明电极层之间的多个编码部，编码部与驱动电极一一对应设置，编码部在衬底基板所在平面的垂直投影位于与其相对应的驱动电极在衬底基板所在平面的垂直投影内。第二方面，本专利技术提供了一种微流控芯片，包括本专利技术提供的芯片基板。与现有技术相比，本专利技术提供的芯片基板和微流控芯片，至少实现了如下的有益效果：芯片基板包括衬底基板、透明电极层和多个编码部，多个编码部位于衬底基板和透明电极层之间，且编码部在衬底基板所在平面的垂直投影位于与其相对应的驱动电极在衬底基板所在平面的垂直投影内，驱动电极采用具有导电性、透光率高的材料制成，通过显微镜或高精度的摄像头在透明电极层远离衬底基板的一侧观察时，可看见每个驱动电极所对应的编码部的编码，从而可快速、精准的确定液滴的位置。本专利技术所述的芯片基板用于基因测序时，通过显微镜或高精度的摄像头可快速、精准的确定液滴发生化学反应的精准位置，从而快速、精准的推断出与之配对的基因序列。当然，实施本专利技术的任一产品不必特定需要同时达到以上所述的所有技术效果。通过以下参照附图对本专利技术的示例性实施例的详细描述，本专利技术的其它特征及其优点将会变得清楚。附图说明被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本专利技术的实施例，并且连同其说明一起用于解释本专利技术的原理。图1是本专利技术提供的一种芯片基板的平面结构示意图；图2是图1所述的芯片基板沿A-A’的一种剖面结构示意图；图3是本专利技术提供的另一种芯片基板的平面结构示意图；图4是本专利技术提供的又一种芯片基板的平面结构示意图；图5是本专利技术提供的又一种芯片基板的平面结构示意图；图6是本专利技术提供的又一种芯片基板的平面结构示意图；图7是本专利技术提供的又一种芯片基板的平面结构示意图；图8是图7中A部的放大示意图；图9是本专利技术提供的又一种芯片基板的剖面结构示意图；图10是本专利技术提供的又一种芯片基板的剖面结构示意图；图11是本专利技术提供的又一种芯片基板的剖面结构示意图；图12是本专利技术提供的一种屏蔽电极的平面结构示意图；图13是本专利技术提供的一种微流控芯片的剖面结构示意图；图14是本专利技术提供的另一种微流控芯片的平面结构示意图；图15是本专利技术提供的又一种微流控芯片的剖面结构示意图。具体实施方式现在将参照附图来详细描述本专利技术的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本专利技术的范围。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本专利技术及其应用或使用的任何限制。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。图1是本专利技术提供的一种芯片基板的平面结构示意图，图2是图1所述的芯片基板沿A-A’的一种剖面结构示意图，参考图1和图2，本实施例提供一种芯片基板，包括：衬底基板10和位于衬底基板10一侧的透明电极层20，透明电极层20包括呈阵列排布的多个驱动电极21，驱动电极21用于驱动液滴的移动；位于衬底基板10和透明电极层20之间的多个编码部30，编码部30与驱动电极21一一对应设置，编码部30在衬底基板10所在平面的垂直投影位于与其相对应的驱动电极21在衬底基板10所在平面的垂直投影内。具体的，继续参考图1和图2，本实施例提供的芯片基板包括衬底基板10和位于衬底基板10一侧的多个驱动电极21，驱动电极2沿第一方向X和第二方向Y呈阵列排布，其中，第一方向X和第二方向Y相交。给相互电绝缘的两个相邻的驱动电极21施加不同电位的电压，形成穿过液滴的电场，液滴为具有导电性的液体，从而使得液滴发生移动。示例性的，阵列排布的驱动电极21之间均相互电绝缘，给沿第一方向X排布的相邻两个驱动电极21施加不同电位的电压，从而驱动液滴在第一方向X上移动，当然，驱动电极21也用于驱动液滴在第二方向Y或其他方向上移动。需要说明的是，驱动电极21除了可用于驱动液滴的移动外，还可以对液滴进行其他操作，例如使液滴分裂、聚合等。衬底基板10和透明电极层20之间设有多个编码部30，且编码部30在衬底基板10所在平面的垂直投影位于与其相对应的驱动电极21在衬底基板10所在平面的垂直投影内，驱动电极21采用具有导电性、透光率高的材料制成，通过显微镜或高精度的摄像头在透明电极层20远离衬底基板10的一侧观察时，可看见每个驱动电极21所对应的编码部30的编码，从而可快速、精准的确定液滴的位置。本实施例所述的芯片基板用于基因测序时，通过显微镜或高精度的摄像头可快速、精准的确定液滴发生化学反应的精准位置，从而快速、精准的推断出与之配对的基因序列。可选的，透明电极层20的材料为氧化铟锡，氧化铟锡具有较好的导电性和透光性。衬底基板10可通过刚性材料或柔性材料制成，示例性的，衬底基板10可通过玻璃、陶瓷、硅、聚酰亚胺等材料制成，衬底基板10可支撑形成在其上的元件。需要说明的是，在本专利技术其他实施例中透明电极层和衬底基板还可以为其他材料，可根据实际生产需求进行选择，本专利技术不再一一赘述。图3是本专利技术提供的另一种芯片基板的平面结构示意图，参考图3，可选的，其中，驱动电极2沿第一方向X和第二方向Y呈阵列排布，沿第一方向X排布的多个驱动电极2之间相互电连接，沿第二方向Y排布的多个驱动电极21之间相互电绝缘。给沿第二方向Y排布的相邻两个驱动电极21施加不同电位的电压，从而驱动液滴在第二方向Y上移动。需要说明的是，在本专利技术其他实施例中，芯片基板中多个驱动电极21还可以为其他的设置方式，本专利技术在此不作赘述。可选的，其中，每个驱动电极所对应的编码部的编码均不相同。具体的，编码部与驱动电极一一对应设置，每个驱动电极所对应的编码部的编码均不相同，因此可根据编码部的编码确定液滴的位置。图4是本专利技术提供的又一种芯片基板的平面结构示意图，参考图4，可选的，采用不同的数目对不同的编码部30进行编本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种芯片基板，其特征在于，所述芯片基板包括：衬底基板和位于所述衬底基板一侧的透明电极层，所述透明电极层包括呈阵列排布的多个驱动电极，所述驱动电极用于驱动液滴的移动；位于所述衬底基板和所述透明电极层之间的多个编码部，所述编码部与所述驱动电极一一对应设置，所述编码部在所述衬底基板所在平面的垂直投影位于与其相对应的所述驱动电极在所述衬底基板所在平面的垂直投影内。

【技术特征摘要】
1.一种芯片基板，其特征在于，所述芯片基板包括：衬底基板和位于所述衬底基板一侧的透明电极层，所述透明电极层包括呈阵列排布的多个驱动电极，所述驱动电极用于驱动液滴的移动；位于所述衬底基板和所述透明电极层之间的多个编码部，所述编码部与所述驱动电极一一对应设置，所述编码部在所述衬底基板所在平面的垂直投影位于与其相对应的所述驱动电极在所述衬底基板所在平面的垂直投影内。2.根据权利要求1所述的芯片基板，其特征在于，每个所述驱动电极所对应的所述编码部的编码均不相同。3.根据权利要求1所述的芯片基板，其特征在于，还包括多条沿第一方向延伸的栅极线和多条沿第二方向延伸的数据线，其中，所述第一方向和所述第二方向相交；所述驱动电极与至少一条所述栅极线、至少一条所述数据线电连接。4.根据权利要求3所述的芯片基板，其特征在于，还包括多个薄膜晶体管；所述薄膜晶体管的栅极与所述栅极线电连接，所述薄膜晶体管的源极与所述数据线电连接，所述薄膜晶体管的漏极与所述驱动电极电连接。5.根据权利要求4所述的芯片基板，其特征在于，还包括位于所述衬底基板与所述透明电极层之间的第一金属层和第二金属层，所述第一金属层位于所述衬底基板与所述第二金属层之间；所述第一金属层包括所述栅极线和所述栅极；所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：林柏全，许祖钊，席克瑞，李小和，秦锋，刘金娥，
申请(专利权)人：上海天马微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31