电离发生装置及采用该电离发生装置的AOI拍照单元制造方法及图纸

技术编号:21371275 阅读:19 留言:0更新日期:2019-06-15 11:38
本发明专利技术提供一种电离发生装置及采用该电离发生装置的AOI拍照单元,其优点在于,可有效消除AOI拍照单元破真空后玻璃与基板分离瞬间的高压静电,提高产品品质及良率。

Ionization Generator and AOI Photo Unit Using the Ionization Generator

The invention provides an ionization generating device and an AOI photographing unit adopting the ionization generating device, which has the advantages of effectively eliminating the high voltage static electricity at the moment when the glass and the substrate are separated after the AOI photographing unit breaks the vacuum, and improving the product quality and yield.

【技术实现步骤摘要】
电离发生装置及采用该电离发生装置的AOI拍照单元
本专利技术涉及光学检查机领域,尤其涉及一种电离发生装置及采用该电离发生装置的AOI拍照单元。
技术介绍
AOI(AutomaticOpticInspection)的全称是自动光学检测,基于光学原理来对焊接生产中遇到的常见缺陷进行检测,可代替人工查找产品的各种外观缺陷,能够起到高效、准确、省事、节约成本等作用。inlineAOI设备的拍照单元因拍照相机的龙门架的干涉使得其无法安装除静电装置。AOI设备在拍照时玻璃产品会被吸附在支撑板(Stage)上,拍照完成后会吹入压缩空气(CDA)以打破玻璃与支撑板之间的真空环境,使玻璃产品与支撑板分开。具体地说,图1A是玻璃产品放置在支撑板上的结构示意图,图1B为气浮板202的结构示意图,请参阅图1A及图1B,当玻璃产品200进行AOI工艺时,需要将玻璃产品200放置在支撑板201上,在所述支撑板201放置有多个气浮板202,气浮板202上设置有多个孔203,通过所述孔203能够将玻璃产品200真空吸附在支撑板201上。玻璃产品在完成AOI工艺后会破真空,并将玻璃产品200顶起使玻璃产品200与支撑板201分离,在这个分离的瞬间会产生高压静电,易击伤玻璃产品,对产品造成隐患。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是,提供一种电离发生装置及采用该电离发生装置的AOI拍照单元,其能够有效消除AOI拍照单元破真空后玻璃产品与支撑板分离瞬间的高压静电,提高产品品质及良率。为了解决上述问题,本专利技术提供了一种电离发生装置,包括一腔体,所述腔体具有至少一进气口及至少一出气口,所述进气口允许外部气体进入,所述出气口允许腔体内的气体排出;至少一电离件,设置在所述腔体内,所述电离件能够将所述腔体内的气体电离为带正负电荷的电离气体。在一实施例中,所述进气口与所述出气口相对设置。在一实施例中,所述电离件包括至少一放电极及一与所述放电极电连接的高压电源产生器,所述放电极设置在所述腔体内,所述高压电源产生器向所述放电极施加高电压,以使所述腔体内的气体电离。在一实施例中,所述放电极呈针状。在一实施例中,多个所述放电极阵列排布。本专利技术还提供一种采用如上所述的电离发生装置的AOI拍照单元,其包括一气体输送管道及一拍照相机支撑板,所述电离发生装置设置在所述气体输送管道的气路上,所述支撑板用于承载产品,流经所述气体输送管道的气体经所述电离发生装置后形成电离气体,所述电离气体能够朝向所述AOI拍照单元的拍照相机支撑板喷射,以破坏所述拍照相机的支撑板与产品之间的真空环境。在一实施例中,所述气体输送管道包括一进气管及一出气管,所述进气管与所述电离发生装置的进气口连通,所述出气管与所述电离发生装置的出气口连通,以使得气体经所述进气管进入所述电离发生装置,所述气体经所述电离发生装置电离后形成电离气体,所述电离气体经所述出气管排出至所述拍照相机。在一实施例中,所述进气口与所述出气口相对设置。在一实施例中,所述电离件包括至少一放电极及一与所述放电极电连接的高压电源产生器,所述放电极设置在所述腔体内,所述高压电源产生器向所述放电极施加高电压,以使所述腔体内的气体电离。在一实施例中,所述放电极呈针状。本专利技术的优点在于,可有效消除AOI拍照单元破真空后玻璃产品与支撑板分离瞬间的高压静电,提高产品品质及良率。附图说明图1A是玻璃产品放置在支撑板上的结构示意图;图1B为气浮板202的结构示意图;图2是本专利技术电离发生装置的结构示意图;图3是所述AOI拍照单元的示意图。具体实施方式下面结合附图对本专利技术提供的电离发生装置及采用该电离发生装置的AOI拍照单元的具体实施方式做详细说明。图2是本专利技术电离发生装置的结构示意图。请参阅图1所示,本专利技术电离发生装置1包括一腔体10及一电离件11。所述腔体10具有至少一进气口10A及至少一出气口10B。所述进气口11A允许外部气体进入,所述出气口11B允许腔体10内的气体排出。在本实施例中,所述进气口10A与所述出气口10B相对设置,以避免从所述进气口10A进入所述腔体10内的气体未经过所述电离件11而直接从所述出气口10B排出。其中,所述腔体10可用于容纳外部气体,因此,其尺寸可根据实际需求选择。所述外部气体包括但不限于压缩空气。所述电离件11设置在所述腔体10内。所述电离件11的作用在于将腔体10内的气体电离为带正负电荷的电离气体。具体地说,所述电离件11能够产生电离作用的结构设置在所述腔体10内,其他辅助结构可以设置在腔体的其他位置。例如,在本实施例中,所述电离件11包括至少一放电极110及一与所述放电极110电连接的高压电源产生器111,所述放电极110采用阴影线绘示。所述放电极110设置在所述腔体10内,而所述高压电源产生器111则设置在所述腔体10的外侧面,当然,在本专利技术其他实施例中,所述高压电源产生器111也可以设置在所述腔体10内。在本实施例中,所述高压电源产生器111向所述放电极110施加高电压,通过尖端高压电晕放电把腔体10内的气体电离为大量正负离子,以形成带有正负电荷的电离气体。其中,所述高压电源产生器111为现有的常规结构,根据放电极110的材质的不同,其各个参数也不同,本领域技术人员可从现有技术中获取。举例说明,在本实施例中,若所述放电极110的材质为铝,则所述高压电源产生器111的工作电压为110V/60HZ或220V/50HZ,输出电压为7.0Kv×2。当然,本专利技术对此并不进行限定,本领域技术人员可根据现有技术进行选择。进一步,在本实施例中,所述放电极110呈针状,其能够增加电离效果。所述放电极的数量可根据实际需求设置,例如,可根据腔体10的容积设置所述放电极110的数量。其中,多个所述放电极110可平行排布,例如,在沿所述进气口10A至所述出气口10B的方向上,所述放电极110平行排布。在本专利技术其他实施例中,可根据需求的电离的效果设置所述放电极110的排布方式,例如在本实施例中,在俯视视角下,所述放电极110呈阵列排布。本专利技术还一种采用上述的电离发生装置1的AOI拍照单元。图3是所述AOI拍照单元的示意图。由于其结构复杂,在图3中仅示意性地绘示出本专利技术技术方案中涉及的结构,本领域技术人员可从现有技术中获取所述AOI拍照单元的其他部件的结构。请参阅图2,本专利技术AOI拍照单元包括一气体输送管道2及一支撑板30。所述电离发生装置1设置在所述气体输送管道2的气路上。所述支撑板3用于承载产品31,所述产品31包括但不限于玻璃产品。具体地说,所述气体输送管道2包括一进气管20及一出气管21。所述进气管20与所述电离发生装置1的进气口10A连通,气源4产生的压缩气体或者非压缩气体经所述进气管20及所述进气口10A进入所述腔体10内。所述出气管21与所述电离发生装置1的出气口10B连通,经所述进气管20进入所述腔体10的气体经所述电离发生装置1的放电极110电离后形成电离气体,所述电离气体经所述出气管21排出至所述支撑板30,进而解除支撑板30与产品31之间的真空环境。其中,所述气体包括但不限于压缩空气。在本专利技术中,流经所述气体输送管道2的气体(如图中实线箭头所示)经所述电离发生装置1后形成电离气体(如图中虚线箭头所示),所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电离发生装置,其特征在于,包括:一腔体,所述腔体具有至少一进气口及至少一出气口,所述进气口允许外部气体进入,所述出气口允许腔体内的气体排出;至少一电离件,设置在所述腔体内,所述电离件能够将所述腔体内的气体电离为带正负电荷的电离气体。

【技术特征摘要】
1.一种电离发生装置,其特征在于,包括:一腔体,所述腔体具有至少一进气口及至少一出气口,所述进气口允许外部气体进入,所述出气口允许腔体内的气体排出;至少一电离件,设置在所述腔体内,所述电离件能够将所述腔体内的气体电离为带正负电荷的电离气体。2.根据权利要求1所述的电离发生装置,其特征在于,所述进气口与所述出气口相对设置。3.根据权利要求1所述的电离发生装置,其特征在于,所述电离件包括至少一放电极及一与所述放电极电连接的高压电源产生器,所述放电极设置在所述腔体内,所述高压电源产生器向所述放电极施加高电压,以使所述腔体内的气体电离。4.根据权利要求3所述的电离发生装置,其特征在于,所述放电极呈针状。5.根据权利要求3所述的电离发生装置,其特征在于,多个所述放电极阵列排布。6.一种采用权利要求1所述的电离发生装置的AOI拍照单元,其特征在于,包括一气体输送管道及一支撑板,所述电离发生装置设置在所述气体输送管道的气路上,所述支...

【专利技术属性】
技术研发人员:王珂
申请(专利权)人:深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
类型:发明
国别省市:广东,44

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