显示装置制造方法及图纸

公开一种显示装置。根据本发明专利技术示例性实施方式的显示装置包括：包括有源区域和非有源区域的基板；薄膜晶体管，薄膜晶体管包括设置在基板上的有源层、栅极电极、源极电极和漏极电极；和有机发光二极管，有机发光二极管包括电连接至薄膜晶体管的阳极，其中栅极电极、源极电极和漏极电极由第一导电层和第一导电层上的第二导电层形成，并且阳极由与第一导电层相同的材料形成。因此，阳极和漏极电极的第一导电层一体地连接，使得用于将阳极和漏极电极电连接的单独接触孔是不必要的，可简化结构。

display device

A display device is disclosed. A display device according to an exemplary embodiment of the present invention includes: a substrate comprising an active and a non-active region; a thin film transistor comprising an active layer, a gate electrode, a source electrode and a drain electrode disposed on the substrate; and an organic light emitting diode comprising an anode electrically connected to a thin film transistor, in which a gate electrode and a source electrode are included. The electrode and drain electrode are formed by the first conductive layer and the second conductive layer on the first conductive layer, and the anode is formed by the same material as the first conductive layer. Therefore, the first conductive layer of the anode and drain electrodes is connected in one body, which makes it unnecessary for a single contact hole to electrically connect the anode and drain electrodes and simplifies the structure.

【技术实现步骤摘要】
显示装置相关申请的交叉引用本申请要求于2017年12月6日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请No.10-2017-0166456的优先权，通过引用将该专利申请的公开内容结合在此。
本专利技术涉及一种显示装置及显示装置的制造方法，尤其涉及一种通过简化显示装置的结构可减少用于显示装置的制造工艺的掩模数量的显示装置及显示装置的制造方法。
技术介绍
近来，随着进入信息时代，在视觉上呈现电信息信号的显示领域快速发展，与此对应，已开发了具有出色性能，比如薄厚度、轻重量和低功耗的各种显示装置。这种显示装置的示例包括液晶显示装置(LCD)和有机发光显示装置(OLED)。这种显示装置包括基板，基板包括多个薄膜晶体管和用于驱动的显示元件。在这种情形中，显示元件可根据显示装置的类型而变化。例如，用于有机发光显示装置的显示元件可以是有机发光二极管。在这种显示装置的制造工艺中，为了在基板上形成薄膜晶体管、显示元件和配线，形成导电材料或绝缘材料，并且执行若干次用于将导电材料或绝缘材料图案化的掩模工艺。在这种情形中，当所使用的掩模数量增加时，制造成本增加并且制造时间也增加。
技术实现思路
本专利技术要实现的一个目的是提供一种通过一个掩模工艺形成薄膜晶体管的栅极电极、源极电极和漏极电极、以及阳极，由此减少掩模工艺数量并减少制造成本和时间的显示装置。本专利技术要实现的另一个目的是提供一种通过单个掩模工艺形成钝化层和堤部，以减少掩模工艺数量并简化制造工艺的显示装置。本专利技术的目的不限于上述目的，所属领域技术人员通过下面的描述将清楚理解到上面未提到的其他目的。根据本专利技术的一个方面，一种显示装置包括：包括有源区域和非有源区域的基板；薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括设置在所述基板上的有源层、栅极电极、源极电极和漏极电极；和有机发光二极管，所述有机发光二极管包括电连接至所述薄膜晶体管的阳极，其中所述栅极电极、所述源极电极和所述漏极电极由第一导电层和所述第一导电层上的第二导电层形成，并且所述阳极由与所述第一导电层相同的材料形成。因此，阳极和漏极电极的第一导电层一体地形成，使得将阳极和漏极电极电连接的单独接触孔是不必要的，因而可简化结构。根据本专利技术的另一个方面，一种显示装置的制造方法包括：在包括有源区域和非有源区域的基板上，在所述有源区域中形成薄膜晶体管的有源层；在所述有源层上形成栅极绝缘层；在所述栅极绝缘层上依次形成第一导电材料和第二导电材料；和通过蚀刻所述第一导电材料和所述第二导电材料在所述有源层上形成所述薄膜晶体管的、由第一导电层和所述第一导电层上的第二导电层构成的栅极电极、源极电极和漏极电极，并且形成有机发光二极管的、由与所述第一导电层相同的材料形成的阳极。因此，通过一个掩模工艺形成栅极电极、源极电极、漏极电极和阳极，由此减少掩模工艺数量并减少制造成本和时间。在一个或多个实施方式中，所述第一导电材料可以是透明导电材料，所述第二导电材料可以是金属材料。在一个或多个实施方式中，所述薄膜晶体管的所述栅极电极、所述源极电极和所述漏极电极以及所述阳极的形成可包括：一体地形成所述源极电极或所述漏极电极的第一导电层和所述阳极。在一个或多个实施方式中，所述制造方法还可包括：在所述有源区域中在所述基板与所述有源层之间形成数据线，其中所述薄膜晶体管的所述栅极电极、所述源极电极和所述漏极电极以及所述阳极的形成包括：在所述非有源区域中形成焊盘电极，所述焊盘电极电连接至所述数据线并由所述第一导电材料形成。在一个或多个实施方式中，所述数据线的形成可包括：在与所述有源层交叠的区域中形成遮光层，所述遮光层由与所述数据线相同的材料形成。在一个或多个实施方式中，所述栅极绝缘层的形成可包括：在所述有源层上依次形成栅极绝缘材料和平坦化材料；通过蚀刻在所述非有源区域和与所述薄膜晶体管交叠的区域中的平坦化材料，形成平坦化层；和通过蚀刻在所述有源层与所述源极电极和所述漏极电极接触的区域中的栅极绝缘材料，在所述平坦化材料被蚀刻的区域中形成所述栅极绝缘层，并且所述薄膜晶体管的所述栅极电极、所述源极电极和所述漏极电极以及所述阳极的形成包括：在所述平坦化层上形成所述阳极。在一个或多个实施方式中，依次形成所述栅极绝缘材料和所述平坦化材料可包括：在所述有源层上形成所述栅极绝缘材料；在所述栅极绝缘材料上且在与所述有机发光二极管交叠的区域中形成滤色器；和在所述滤色器上形成所述平坦化材料。在一个或多个实施方式中，所述制造方法还可包括：在所述薄膜晶体管和所述阳极上依次形成钝化材料和堤部材料；通过蚀刻在至少与所述阳极的部分区域交叠的区域和与所述非有源区域交叠的区域中的堤部材料，形成堤部；和通过蚀刻至少与所述阳极的部分区域交叠的区域中的钝化材料，形成钝化层。在一个或多个实施方式中，所述平坦化层可包括：第一平坦化层，所述第一平坦化层设置在所述有源区域中的、除了设置有所述薄膜晶体管的区域之外的区域中且设置在所述基板与所述阳极之间；以及设置在所述非有源区域中的第二平坦化层，其中所述第一平坦化层和所述第二平坦化层彼此分隔开。在一个或多个实施方式中，所述第二平坦化层可以是岛形的。在一个或多个实施方式中，所述第二平坦化层可设置在所述非有源区域中的配线的交叉部分处。在一个或多个实施方式中，所述制造方法还可包括：在所述基板上形成第一电容器电极，并且在所述第一电容器电极上形成缓冲层，其中所述有源层的部分区域被导电化且与所述第一电容器电极交叠并且作为第二电容器电极，所述有源层的不与所述第一电容器电极交叠且未被导电化的其余部分用作所述薄膜晶体管的有源层。在一个或多个实施方式中，所述栅极绝缘层的形成可包括：通过一个半色调掩模蚀刻栅极绝缘材料和位于所述栅极绝缘材料下方的缓冲层，以同时形成所述栅极绝缘层和所述缓冲层的接触孔。根据本专利技术的又一个方面，一种显示装置的制造方法可包括：在包括有源区域和非有源区域的基板上，在所述有源区域中形成薄膜晶体管的有源层；在所述有源层上依次形成第一导电材料和第二导电材料；和通过蚀刻所述第一导电材料和所述第二导电材料在所述有源层上形成所述薄膜晶体管的、由第一导电层和所述第一导电层上的第二导电层构成的栅极电极、源极电极和漏极电极，并且形成有机发光二极管的、由与所述第一导电层相同的材料形成的阳极。实施方式的其他细节包括在详细描述和附图中。根据本专利技术，通过单个掩模工艺形成薄膜晶体管的栅极电极、源极电极和漏极电极以及有机发光二极管的阳极，由此减少掩模工艺数量和制造成本。根据本专利技术，通过单个掩模工艺形成钝化层和堤部，由此减少掩模工艺数量并简化制造工艺。根据本专利技术，在设置于基板上的多条配线的交叉部分处，在配线之间设置平坦化层，以减少配线之间的短路，并且增加配线之间分隔的距离，以减小寄生电容。根据本专利技术的效果不限于上面举例说明的内容，本申请中包括更多的各种效果。附图说明将从下面结合附图的详细描述更清楚地理解本专利技术的上述和其他的方面、特征和其他优点，其中：图1是根据本专利技术示例性实施方式的显示装置的平面图；图2是有源区域的子像素和非有源区域的焊盘电极的放大图；图3是沿图2的线IIIa-IIIa’和IIIb-IIIb’截取的剖面图；图4A到4G是解释根据本专利技术示例性实施方式的显示装置和显示装置的制造方法的工艺的示意图；图5A和5B是用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示装置，包括：包括有源区域和非有源区域的基板；薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括设置在所述基板上的有源层、栅极电极、源极电极和漏极电极；和有机发光二极管，所述有机发光二极管包括电连接至所述薄膜晶体管的阳极，其中所述栅极电极、所述源极电极和所述漏极电极由第一导电层和所述第一导电层上的第二导电层形成，并且所述阳极由与所述第一导电层相同的材料形成。

【技术特征摘要】
2017.12.06 KR 10-2017-01664561.一种显示装置，包括：包括有源区域和非有源区域的基板；薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括设置在所述基板上的有源层、栅极电极、源极电极和漏极电极；和有机发光二极管，所述有机发光二极管包括电连接至所述薄膜晶体管的阳极，其中所述栅极电极、所述源极电极和所述漏极电极由第一导电层和所述第一导电层上的第二导电层形成，并且所述阳极由与所述第一导电层相同的材料形成。2.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述阳极从所述源极电极或所述漏极电极的第一导电层延伸。3.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述第一导电层由透明导电材料形成，所述第二导电层由金属材料形成。4.根据权利要求1所述的显示装置，还包括：第一平坦化层，所述第一平坦化层设置在所述有源区域中的、除了设置有所述薄膜晶体管的区域之外的区域中且设置在所述基板与所述阳极之间。5.根据权利要求4所述的显示装置，还包括：设置在所述基板与所述第一平坦化层之间的滤色器。6.根据权利要求4所述的显示装置，还包括：设置在所述非有源区域中的第二平坦化层，其中所述第一平坦化层和所述第二平坦化层彼此分隔开。7.根据权利要求6所述的显示装置，其中所述第二平坦化层是岛形的。8.根据权利要求1所述的显示装置，还包括：数据线，所述数据线设置在所述有源区域中并且设置在所述基板与所述有源层之间；和数据焊盘电极，所述数据焊盘电极设置在所述非有源区域中并且电连接至所述数据线，其中所述数据焊盘电极由与所述第一导电层相同的材料形成。9.根据权利要求8所述的显示装置，还包括：遮光层，所述遮光层设置成与所述薄膜晶体管的有源层交叠并且由与所述数据线相同的材料形成。10.根据权利要求1所述的显示装置，还包括：设置在所述薄膜晶体管上的钝化层，其中所述阳极、所述栅极电极、所述源极电极和所述漏极电极与所述钝化层的下表面接触。11.根据权利要求9所述的显示装置，其中：所述遮光层位于与所述数据...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈鍾植，黄盛焕，吴吉焕，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR