一种铌酸锂法腐蚀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及腐蚀装置技术领域，公开了一种铌酸锂法腐蚀装置，其包括装置本体、驱动机构、样品放置机构及通风机构，所述装置本体为一壳体，其内设有容纳腔，所述容纳腔分别设置有腐蚀槽及清水槽；所述装置本体上设有取放样门，用于取放基片样品；所述驱动机构与所述样品放置机构固定连接，用于驱动所述样品放置机构在所述容纳腔内水平方向上移动及竖直方向上移动；所述通风机构包括抽风机及通风管道，所述通风管道设于所述装置本体内，并连接所述抽风机；该装置取放基片样品更方便，提高了腐蚀效率，而且腐蚀后的基片样品不需要借助人工去洗去铌酸锂晶体表面的腐蚀液体，减少了工作人员的工作强度。

A Lithium Niobate Corrosion Device

The utility model relates to the technical field of corrosion devices, and discloses a lithium niobate method corrosion device, which comprises a device body, a driving mechanism, a sample placement mechanism and a ventilation mechanism. The device body is a shell with a holding cavity, which is respectively provided with a corrosion tank and a clean water tank. The device body is provided with a sampling gate for sampling and placing substrate samples. The driving mechanism and the sample placement mechanism are fixed and connected to drive the sample placement mechanism to move horizontally and vertically in the accommodation chamber; the ventilation mechanism includes a fan and a ventilation pipeline, which is arranged in the body of the device and connected with the exhaust fan; the device is more convenient to take and place the substrate sample and improves the corrosion efficiency. Moreover, the corrosion liquid on the surface of lithium niobate crystal does not need to be washed out manually by the etched substrate sample, which reduces the working strength of the staff.

【技术实现步骤摘要】
一种铌酸锂法腐蚀装置
本技术涉及腐蚀装置
，具体涉及一种铌酸锂法腐蚀装置。
技术介绍
铌酸锂(LiNbO3)是一种铌、锂和氧的化合物，其晶体具有钙钛矿型结构，在微波技术中用于调Q开关、光电调制、倍频、光参量振荡，掺加一定量的铁和其他金属杂质的铌酸锂基片，为一种具有压电、铁电、电光、非线性光学、热电等多性能材料，在微声技术中用于表面波、体波、换能器元件，还可作全息记录介质材料。铌酸锂基片制备过程中，常常需要对其进行表面腐蚀处理；目前，在腐蚀处理铌酸锂基片时，大多数装置在腐蚀效率低，取放铌酸锂基片不方便；而且腐蚀后的铌酸锂基片，有时需要借助人工去洗去铌酸锂基片表面的腐蚀液体，增加了工作人员的工作强度。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种铌酸锂法腐蚀装置，该装置取放基片样品更方便，提高了腐蚀效率，而且腐蚀后的基片样品不需要借助人工去洗去铌酸锂晶体表面的腐蚀液体，减少了工作人员的工作强度。为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种铌酸锂法腐蚀装置，所述腐蚀装置包括装置本体、驱动机构、样品放置机构及通风机构，所述装置本体为一壳体，其内设有容纳腔，所述容纳腔分别设置有腐蚀槽及清水槽；所述装置本体上设有取放样门，用于取放基片样品；所述驱动机构与所述样品放置机构固定连接，用于驱动所述样品放置机构在所述容纳腔内水平方向上移动及竖直方向上移动；所述通风机构包括抽风机及通风管道，所述通风管道设于所述装置本体内，并连接所述抽风机。在本技术中，优选的，所述驱动机构包括电动推杆、第一电机及第二电机，所述电动推杆固定安装在所述容纳腔内，其输出端连接一活动板；所述活动板面向所述腐蚀槽的一侧开设有凹槽，所述第一电机设于所述凹槽内，且其输出端通过联轴器与一丝杆固定连接；所述丝杆上通过螺纹连接一滑块，所述滑块能够沿所述丝杆长度方向上移动；所述滑块面向所述腐蚀槽的一侧安装有所述第二电机，所述第二电机的输出轴与一搅拌杆固定连接，所述搅拌杆远离所述第二电机的一侧与所述样品放置机构固定连接。在本技术中，优选的，所述搅拌杆上设有若干搅拌叶。在本技术中，优选的，所述样品放置机构包括固定架及锁紧装置，所述固定架包括定位盘及定位杆，所述定位杆一端与所述定位盘固定连接，其另一端与所述搅拌杆固定连接；所述定位杆上设有滑槽；所述锁紧装置包括夹块及夹片，所述夹片与所述夹块固定连接，且所述夹块滑动插接于所述滑槽内，所述滑槽内设有一弹性件，所述弹性件抵持所述夹块。在本技术中，优选的，所述定位盘上设有穿孔。在本技术中，优选的，所述腐蚀装置还包括一滤篮，所述滤篮与所述搅拌杆固定连接，所述样品放置机构置于所述滤篮内。在本技术中，优选的，所述清水槽内设置有用于清洗基片样品的若干喷淋头。在本技术中，优选的，所述装置本体上还设有观察窗，所述观察窗的材质采用透明有机玻璃。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术提供了一种铌酸锂法腐蚀装置，通过电动推杆、第一电机及第二电机的共同作用，实现样品放置机构在水平方向上移动及竖直方向上移动，可以实现基片样品分别进入腐蚀槽及清水槽，不需要借助人工的情况下进行腐蚀与清洗过程；第二电机带动搅拌杆及搅拌叶转动使基片样品腐蚀的更加充分，节约了大量的时间；取放样门用于取放基片样品，更加安全方便，降低了工作人员的工作强度；该装置取放基片样品更方便，提高了腐蚀效率，而且腐蚀后的基片样品不需要借助人工去洗去铌酸锂晶体表面的腐蚀液体，减少了工作人员的工作强度。附图说明图1为本技术一较佳实施方式中铌酸锂法腐蚀装置的结构示意图。图2为本实施方式中铌酸锂法腐蚀装置的剖视图。图3为本实施方式中铌酸锂法腐蚀装置中样品放置机构的主视图。图4为本实施方式中铌酸锂法腐蚀装置中样品放置机构的俯视图。附图中主要元件符号说明：1-装置本体、2-驱动机构、201-电动推杆、202-第一电机、203-第二电机、204-活动板、205-凹槽、206-丝杆、207-滑块、208-搅拌杆、209-搅拌叶、3-样品放置机构、31-固定架、311-定位盘、312-定位杆、3111-穿孔、32-锁紧装置、321-夹块、322-夹片、323-弹性件、4-通风机构、5-容纳腔、6-腐蚀槽、7-清水槽、8-取放样门、9-滤篮、10-喷淋头、11-观察窗、12-控制按钮。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。实施例1：请同时参见图1至图2，一种铌酸锂法腐蚀装置包括装置本体1、驱动机构2、样品放置机构3及通风机构4，所述装置本体1为一壳体，其内设有容纳腔5，所述容纳腔5分别设置有腐蚀槽6及清水槽7，腐蚀槽6内装有腐蚀液，清水槽7内装有清洗液或清水；所述清水槽7内设置有用于清洗基片样品的若干喷淋头10，喷淋头10外接水泵及储水设备，能够对腐蚀后的基片样品进行清洗；所述装置本体1上设有取放样门8，用于取放基片样品；所述装置本体1上还设有观察窗11，所述观察窗11的材质采用透明有机玻璃，便于工作人员对所述腐蚀装置内部情况进行观察；所述驱动机构2与所述样品放置机构3固定连接，用于驱动所述样品放置机构3在所述容纳腔5内水平方向上移动及竖直方向上移动；所述驱动机构2包括电动推杆201、第一电机202及第二电机203，在本实施方式中，电动推杆201采用型号为DT50050Ⅰ电动推杆，第一电机202及第二电机203均采用型号为YEJ90L-41.5KE型号的抱闸电机，相应的可以理解，在其他实施方式中，电动推杆201、第一电机202及第二电机203均可以采用其他适用型号；所述电动推杆201固定安装在所述容纳腔5内，其输出端连接一活动板204；所述活动板204面向所述腐蚀槽6的一侧开设有凹槽205，所述第一电机202设于所述凹槽205内，且其输出端通过联轴器与一丝杆206固定连接；所述丝杆206上通过螺纹连接一滑块207，所述滑块207能够沿所述丝杆206长度方向上移动；所述滑块207面向所述腐蚀槽6的一侧安装有所述第二电机203，所述第二电机203的输出轴与一搅拌杆208固定连接，所述搅拌杆208远离所述第二电机203的一侧与所述样品本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种铌酸锂法腐蚀装置，其特征在于：所述腐蚀装置包括装置本体(1)、驱动机构(2)、样品放置机构(3)及通风机构(4)，所述装置本体(1)为一壳体，其内设有容纳腔(5)，所述容纳腔(5)分别设置有腐蚀槽(6)及清水槽(7)；所述装置本体(1)上设有取放样门(8)，用于取放基片样品；所述驱动机构(2)与所述样品放置机构(3)固定连接，用于驱动所述样品放置机构(3)在所述容纳腔(5)内水平方向上移动及竖直方向上移动；所述通风机构(4)包括抽风机(401)及通风管道(402)，所述通风管道(402)设于所述装置本体(1)内，并连接所述抽风机(401)。

【技术特征摘要】
1.一种铌酸锂法腐蚀装置，其特征在于：所述腐蚀装置包括装置本体(1)、驱动机构(2)、样品放置机构(3)及通风机构(4)，所述装置本体(1)为一壳体，其内设有容纳腔(5)，所述容纳腔(5)分别设置有腐蚀槽(6)及清水槽(7)；所述装置本体(1)上设有取放样门(8)，用于取放基片样品；所述驱动机构(2)与所述样品放置机构(3)固定连接，用于驱动所述样品放置机构(3)在所述容纳腔(5)内水平方向上移动及竖直方向上移动；所述通风机构(4)包括抽风机(401)及通风管道(402)，所述通风管道(402)设于所述装置本体(1)内，并连接所述抽风机(401)。2.根据权利要求1所述的一种铌酸锂法腐蚀装置，其特征在于，所述驱动机构(2)包括电动推杆(201)、第一电机(202)及第二电机(203)，所述电动推杆(201)固定安装在所述容纳腔(5)内，其输出端连接一活动板(204)；所述活动板(204)面向所述腐蚀槽(6)的一侧开设有凹槽(205)，所述第一电机(202)设于所述凹槽(205)内，且其输出端通过联轴器与一丝杆(206)固定连接；所述丝杆(206)上通过螺纹连接一滑块(207)，所述滑块(207)能够沿所述丝杆(206)长度方向上移动；所述滑块(207)面向所述腐蚀槽(6)的一侧安装有所述第二电机(203)，所述第二电机(203)的输出轴与一搅拌杆(208)固定连接，所述搅拌杆(208)远离所述第二电机(203)的一侧与...

【专利技术属性】
技术研发人员：华平壤，姜城，
申请(专利权)人：派尼尔科技天津有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12