管路清洁装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种管路清洁装置，包括第一动片组及驱动第一动片组转动的第一马达、第二动片组及驱动第二动片组转动的第二马达、联轴器及集尘袋，其中，第一动片组与第一马达相连接；第二动片组与第二马达相连接；联轴器连接于第一动片组与第二动片组之间；集尘袋位于第二动片组的下方；第一动片组和第二动片组均包含若干个动片及与若干个动片一一对应连接的清洁刷头，清洁刷头在管路清洁作业过程中与管路的内壁相接触。采用本实用新型专利技术的管路清洁装置定期对管路进行清洁，可避免管路内壁的污染物残留，提高管路的清洁度，从而有效避免粉尘倒灌引发的生产事故，有效提高干泵的使用寿命，降低生产成本。

Pipeline cleaning device

The utility model provides a pipeline cleaning device, which comprises a first moving sheet group, a first motor driving the rotation of the first moving sheet group, a second moving sheet group and a second motor, a coupling and a dust collecting bag driving the rotation of the second moving sheet group. The first moving sheet group is connected with the first motor, the second moving sheet group is connected with the second motor, and the coupling is connected with the first moving sheet group and the second moving sheet group. The dust collecting bag is located below the second movable film group. The first movable film group and the second movable film group contain several movable films and cleaning brushes connected with several movable films one by one. The cleaning brushes contact with the inner wall of the pipeline during the pipeline cleaning operation. The pipeline cleaning device of the utility model regularly cleans the pipeline, which can avoid the residual pollutants on the inner wall of the pipeline, improve the cleanliness of the pipeline, effectively avoid the production accidents caused by dust backfilling, effectively improve the service life of the dry pump and reduce the production cost.

【技术实现步骤摘要】
管路清洁装置
本技术涉及半导体制造领域，特别是涉及一种管路清洁装置。
技术介绍
半导体芯片制造过程中，尾气排放是一个非常重要的工作，不同的制程腔室连接至不同的排气管路，并通过泵体将制程反应过程中及反应后产生的残留气体及/或反应副产物排出以进行无害化处理。这其中，化学气相沉积工艺和扩散工艺的尾气排放工作量尤其突出，因为化学气相沉积工艺和扩散工艺产生的残留气体和反应副产物非常多，这些残留气体和反应副产物在经过排气管路的过程中容易粘附在排气管路的内壁，造成管路污染，使得干泵排放功率增大，能源消耗增多，而且附着于管路内壁的污染物很可能脱落并掉入干泵内，导致干泵堵塞，更严重的情况还会导致干泵报废，引发废气倒灌回制程腔室中，造成严重的生产事故和巨大的经济损失。因此，对排气管路进行定期清洁以去除附着于管路内壁的残留物非常重要，但是已有的各种管路清洁装置都存在各种问题，比如公开号为CN108253228A的专利申请中公开的一种用于解决管道清洁的机器人利用动力组件搭载6块电机运动组件并放置于管道中，通过特殊材料喷射旋转清洁液以达到清洁目的，但是这种清洁机器人存在着无刷洗组件、清洁完后管壁残留污染物、粉尘散落无法集尘以及不能用于弯管等问题；而公开号为CN108212972A的专利申请中公开的一种管道内清洁装置以及管道清洁机器人利用驱动机构调试管道尺寸，通过搭载3块可伸缩连接杆连接2块清洁刷头组件以提供旋转动力达到清洁目的，但该装置存在着后端驱动组件无法达到平衡，没有支撑点、清洁完后管壁残留污染物、粉尘散落无法集尘以及同样不能用于弯管等问题。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种管路清洁装置，用于解决现有技术中的管路清洁装置无法集尘、清洁作业完成后管壁残留污染物、以及不能用于弯管清洁等问题。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种管路清洁装置，包括第一动片组及驱动所述第一动片组转动的第一马达、第二动片组及驱动所述第二动片组转动的第二马达、联轴器及集尘袋，其中，所述第一动片组与所述第一马达相连接；所述第二动片组与所述第二马达相连接；所述联轴器连接于所述第一动片组与所述第二动片组之间；所述集尘袋位于所述第二动片组的下方；所述第一动片组和所述第二动片组均包含若干个动片及与若干个所述动片一一对应连接的清洁刷头，所述清洁刷头在管路清洁作业过程中与管路的内壁相接触。可选地，所述集尘袋的表面设置有清洁头，所述清洁头沿所述集尘袋的周向均匀分布且暴露出所述集尘袋的开口。可选地，所述集尘袋还包括筛网，位于所述集尘袋内，所述筛网的一侧与所述清洁头相连接。可选地，所述集尘袋的横截面尺寸自顶部向底部逐渐减小，所述筛网的纵向最大高度小于所述集尘袋的纵向最大高度。可选地，所述第二马达位于所述第二动片组的正下方，且所述第二马达通过一支撑轴的支撑立于所述集尘袋的上方。可选地，所述第一马达、所述第二马达和所述联轴器位于一壳体内，所述第一动片组和所述第二动片组位于所述壳体的外围，所述集尘袋位于所述壳体的下方。可选地，所述第一动片组和所述第二动片组包含的动片数量相同，所述第一动片组的动片和所述第二动片组的动片沿所述壳体均匀间隔分布。可选地，所述联轴器包括万向联轴器，所述万向联轴器包括两个万向轴头和活动杆，两个所述万向轴头分别与所述第一动片组及所述第二动片组相连接，所述活动杆的两端分别与两个所述万向轴头相连接。可选地，所述联轴器还包括多个活动轮，所述活动轮通过连接杆与所述活动杆固定连接，所述活动轮在管路清洁作业过程中与管路的内壁相接触，其中，至少有一个所述活动轮连接至一驱动马达。可选地，所述活动轮的数量为3个，3个所述活动轮以所述活动杆为中心均匀间隔分布。如上所述，本技术的管路清洁装置，具有以下有益效果：本技术的管路清洁装置，将2个动片组配合使用以对管路内壁进行全面清洁并引导粉尘按照设定路径落在集尘袋中，在集尘袋中设置的筛网可以避免掉落至集尘袋中的粉尘再次扬起；而联轴器的使用则使本技术的管路清洁装置可以适用于直管与弯管作业环境。此外，本技术的管路清洁装置可通过定期更换清洁刷头以提高装置使用寿命，降低使用成本。采用本技术的管路清洁装置定期对管路进行清洁，可避免管路内壁的污染物残留，提高管路的清洁度，从而有效避免粉尘倒灌引发的生产事故，有效提高干泵的使用寿命，降低生产成本。附图说明图1显示为本技术的管路清洁装置的截面结构示意图。图2显示为灰尘颗粒在本技术的管路清洁装置内的行进路径示意图。图3显示为本技术的管路清洁装置的管路清洁作业示意图。图4显示为本技术的管路清洁装置的集尘袋的截面结构示意图。图5显示为图4沿A-A’线的截面结构示意图。图6显示为本技术的管路清洁装置的联轴器的局部结构示意图。图7显示为图6沿A-A’线的截面结构示意图元件标号说明11a第一动片组11b第二动片组111动片112清洁刷头12a第一马达12b第二马达131万向轴头132活动杆133活动轮134连接杆135驱动马达14集尘袋141筛网15清洁头16支撑轴17壳体21灰尘颗粒31管路具体实施方式以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。请参阅图1至图7。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
所能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质
技术实现思路
的变更下，当亦视为本技术可实施的范畴。且出于使图面简洁的目的，本说明书所述图示中对同样的结构一般不做重复标记。如图1所示，本技术提供一种管路清洁装置，所述管路清洁装置包括第一动片组11a及驱动所述第一动片组11a转动的第一马达12a、第二动片组11b及驱动所述第二动片组11b转动的第二马达12b、联轴器及集尘袋14，其中，所述第一动片组11a与所述第一马达12a相连接；所述第二动片组11b与所述第二马达12b相连接；所述联轴器连接于所述第一动片组11a与所述第二动片组11b之间；所述集尘袋14位于所述第二动片组11b的下方；所述第一动片组11a和所述第二动片组11b均包含若干个动片111及与若干个所述动片111一一对应连接的清洁刷头112，所述清洁刷头112在管路清洁作业过程中与管路31的内壁相接触。本技术的管路清洁装置通过设置两组动片111组，在对管路31的清洁作业过程中，所述第一动片组11a的转动方向与所述第二动片组11b的转动方向相反，以增大所述管路清洁装置和管路31内壁的摩擦力，提高清洁效果，且有效引导灰尘颗粒21沿着设定的路径下落直至掉落至所述集尘袋14中，避免粉尘回灌至制程腔室中，且两个动片111组通过联轴器相连接，实现灵活联动，使得本实用新本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种管路清洁装置，其特征在于，包括：第一动片组及驱动所述第一动片组转动的第一马达、第二动片组及驱动所述第二动片组转动的第二马达、联轴器及集尘袋，其中，所述第一动片组与所述第一马达相连接；所述第二动片组与所述第二马达相连接；所述联轴器连接于所述第一动片组与所述第二动片组之间；所述集尘袋位于所述第二动片组的下方；所述第一动片组和所述第二动片组均包含若干个动片及与若干个所述动片一一对应连接的清洁刷头，所述清洁刷头在管路清洁作业过程中与管路的内壁相接触。

【技术特征摘要】
1.一种管路清洁装置，其特征在于，包括：第一动片组及驱动所述第一动片组转动的第一马达、第二动片组及驱动所述第二动片组转动的第二马达、联轴器及集尘袋，其中，所述第一动片组与所述第一马达相连接；所述第二动片组与所述第二马达相连接；所述联轴器连接于所述第一动片组与所述第二动片组之间；所述集尘袋位于所述第二动片组的下方；所述第一动片组和所述第二动片组均包含若干个动片及与若干个所述动片一一对应连接的清洁刷头，所述清洁刷头在管路清洁作业过程中与管路的内壁相接触。2.根据权利要求1所述的管路清洁装置，其特征在于：所述第二马达位于所述第二动片组的正下方，且所述第二马达通过一支撑轴的支撑立于所述集尘袋的上方。3.根据权利要求1所述的管路清洁装置，其特征在于：所述集尘袋的表面设置有清洁头，所述清洁头沿所述集尘袋的周向均匀分布且暴露出所述集尘袋的开口。4.根据权利要求3所述的管路清洁装置，其特征在于：所述管路清洁装置还包括筛网，位于所述集尘袋内，所述筛网的一侧与所述清洁头相连接。5.根据权利要求4所述的管路清洁装置，其特征在于：所述集尘袋的横截面尺寸自顶部向底部逐渐减小，所述筛...

【专利技术属性】
技术研发人员：何文，薛超，吴龙江，林宗贤，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32