The utility model discloses an electro-optic modulator electrode with high impedance matching, including a ground electrode, a thermoelectric electrode, a substrate and an electrode body. The bottom end of the electrode body is provided with a substrate, and the top end of the substrate is provided with a silicon dioxide buffer layer. The top end of the electrode body is uniformly coated with an anti-reflection film. The two ends of the top of the substrate are provided with a first reserved slot, and the inside of the first reserved slot. A second reserved groove is arranged at the central position of the top of the substrate, and a thermoelectric electrode is fixed inside the second reserved groove. A photomask is arranged on both the ground electrode and the thermoelectric electrode, and lenses are fixed at both ends of the electrode body. The utility model is equipped with a substrate, the material of which is lithium niobate crystal. The lithium niobate crystal has strong electro-optic effect, smaller waveguide loss, stronger Anti-Photorefractive ability and larger increment of abnormal light refractive index, and lower production cost.
【技术实现步骤摘要】
高阻抗匹配电光调制器电极
本技术涉及电光调制器
,具体为高阻抗匹配电光调制器电极。
技术介绍
光通信在近十年来得到的飞速发展使得各种无源和有源光器件得到了广泛的研究和应用,电光调制器是人们研究的最多也运用的最多的光调制器,是利用晶体的电光效应实现对光信号的调制,而电极是电光调制器中非常重要的一部分。现阶段的电光调制器电极的微波与光波的折射率匹配以及行波电极与终端负载的阻抗匹配不够高,目前通常采用镀覆金属缓冲层来提高微波与光波的折射率匹配以及行波电极与终端负载的阻抗匹配,但是这样会引起传输耗损增加,而且普通的电极是设置在衬底的上方,但是由于电场主要集中在电极的边缘部分,导致无法更好地利用边缘电场,而且此类装置存在光纤和波导的耦合损耗,因此急需高阻抗匹配电光调制器电极来满足人们的需求。
技术实现思路
本技术的目的在于提供高阻抗匹配电光调制器电极,以解决上述
技术介绍
中提出的现有的电光调制器电极阻抗匹配不够高,镀覆金属缓冲层的方式会引起传输耗损增加,无法利用边缘电场以及存在光纤和波导的耦合损耗的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:高阻抗匹配电光调制器电极,包括地电极、热电极、衬底和电极主体,所述电极主体的底端设置有衬底,且衬底的顶端设置有二氧化硅缓冲层,所述电极主体的顶端均匀涂覆有抗反射膜,所述衬底顶部的两端设置有第一预留槽,且第一预留槽的内部均固定有地电极,所述衬底顶部的中央位置处设置有第二预留槽,且第二预留槽的内部固定有热电极,所述地电极与热电极上均设置有光掩模,所述衬底内部的顶端均匀设置有光学波导,且光学波导上方的衬底上均刻有波导窗口,所述电极主体的 ...
【技术保护点】
1.高阻抗匹配电光调制器电极,包括地电极(2)、热电极(4)、衬底(6)和电极主体(10),其特征在于:所述电极主体(10)的底端设置有衬底(6),且衬底(6)的顶端设置有二氧化硅缓冲层(5),所述电极主体(10)的顶端均匀涂覆有抗反射膜(9),所述衬底(6)顶部的两端设置有第一预留槽(11),且第一预留槽(11)的内部均固定有地电极(2),所述衬底(6)顶部的中央位置处设置有第二预留槽(13),且第二预留槽(13)的内部固定有热电极(4),所述地电极(2)与热电极(4)上均设置有光掩模(8),所述衬底(6)内部的顶端均匀设置有光学波导(7),且光学波导(7)上方的衬底(6)上均刻有波导窗口(3),所述电极主体(10)的两端均固定有透镜(1)。
【技术特征摘要】
1.高阻抗匹配电光调制器电极,包括地电极(2)、热电极(4)、衬底(6)和电极主体(10),其特征在于:所述电极主体(10)的底端设置有衬底(6),且衬底(6)的顶端设置有二氧化硅缓冲层(5),所述电极主体(10)的顶端均匀涂覆有抗反射膜(9),所述衬底(6)顶部的两端设置有第一预留槽(11),且第一预留槽(11)的内部均固定有地电极(2),所述衬底(6)顶部的中央位置处设置有第二预留槽(13),且第二预留槽(13)的内部固定有热电极(4),所述地电极(2)与热电极(4)上均设置有光掩模(8),所述衬底(6)内部的顶端均匀设置有光学波导(7),且光学波导(7)上方的衬底(6)上均刻有波导窗口(3),所述电极主体(10)的两端均固定有透镜(1)。2.根据权利要求1所述的高阻抗匹配电光调制器电极,其特征在于:所述透镜(1)与电极主体(10)的连接处均填充有塑胶介质(14...
【专利技术属性】
技术研发人员:华平壤,
申请(专利权)人:派尼尔科技天津有限公司,
类型:新型
国别省市:天津,12
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