The invention provides a chain device for making silicon cashmere and a preparation method of one-sided inverted pyramid cashmere. The chain device comprises a cashmere groove, a slicing device, a metal removal groove, a back polishing groove, a cleaning groove and a drying groove arranged sequentially along the moving direction of silicon. The slicing device is used for separating two overlapped silicon wafers and transmitting them to the metal removal groove. The chain device of the invention can make wool for single crystal silicon and polycrystalline silicon, solve the problem of single use of the existing chain device, realize the single-side inverted pyramid wool making and back throwing process, save the process flow and reduce the manufacturing cost of solar cells.
【技术实现步骤摘要】
用于晶硅制绒的链式设备及单面倒金字塔制绒的制备方法
本专利技术涉及晶硅制绒领域,具体涉及一种用于晶硅制绒的链式设备及单面倒金字塔制绒的制备方法。
技术介绍
为了提高晶硅太阳能电池的转换效率,通常需要在晶硅太阳能电池表面进行制绒,来降低太阳能电池表面的反射率,进而提高太阳能电池的短路电流。图1是现有技术的用于多晶硅制绒的链式设备的立体示意图,图2是图1所示的链式设备的俯视图。如图1和2所示,链式设备1包括放置在地面上的支架11,以及安装在支架11上的链式传动系统12和槽体13。槽体13包括沿多晶硅制绒工艺的移动方向依次排列的制绒槽、水槽、碱槽、水槽、酸槽、水槽和烘干槽。目前,采用装有酸液的链式设备用于对多晶硅制绒以得到蠕虫状结构,但反射率偏高,使得最终的电池效率偏低;进而,采用槽式设备用于对多晶硅金属催化刻蚀制绒得到黑硅,反射率得到降低的同时效率得到提升;对于单晶,采用装有碱液的槽式设备制绒得到正金字塔结构。目前,单晶和多晶的制绒工艺不统一,且不同设备之间没有兼容性和通用性,需要不同的设备对晶硅制绒以得到合适的绒面结构。目前市场上还没有一套链式设备能够对单晶硅和多晶硅进行制绒。在工业化制造太阳能电池过程中,更换设备将极大地增加太阳能电池的制造成本。另外,钝化发射极和背面太阳能电池(PERC电池)通过在电池的背面添加电介质钝化层来提高转换效率,因而对背面抛光具有更高的要求。然而硅片在目前的制绒工艺中,得到的均是双面制绒,无形中增加了背抛的难度,因此需要额外地将太阳能电池的背面进行刻蚀以除去背面的制绒图形,由此增加了太阳能电池的制造工艺和成本。
技术实现思路
针对现 ...
【技术保护点】
1.一种用于晶硅制绒的链式设备,其特征在于,所述链式设备包括沿晶硅的移动方向依次排列的制绒槽、分片装置、去金属槽、背抛光槽、清洗槽和烘干槽,所述分片装置用于将上下叠置的两个硅片分离并传送至所述去金属槽中。
【技术特征摘要】
1.一种用于晶硅制绒的链式设备,其特征在于,所述链式设备包括沿晶硅的移动方向依次排列的制绒槽、分片装置、去金属槽、背抛光槽、清洗槽和烘干槽,所述分片装置用于将上下叠置的两个硅片分离并传送至所述去金属槽中。2.根据权利要求1所述的链式设备,其特征在于,所述分片装置包括:相对设置的上吸盘和下吸盘,所述上吸盘和下吸盘分别可控地吸附所述两个硅片中的一个;旋转电机,其旋转轴与所述下吸盘固定连接;以及移动件,其与所述上吸盘固定连接,且用于使得所述上吸盘沿晶硅的移动方向运动。3.根据权利要求2所述的链式设备,其特征在于,所述上吸盘具有多个上气孔,所述下吸盘具有多个下气孔,所述链式设备还包括抽气装置,其用于通过所述上气孔和下气孔进行抽气。4.根据权利要求1至3中任一项所述的链式设备,其特征在于,所述制绒槽包括沿晶硅的移动方向依次排列的制绒工艺槽和第一水槽。5.根据权利要求4所述的链式设备,其特征在于,所述链式设备还包括温度调节装置,其用于控制所述制绒工艺槽中制绒液的温度。6.根据权利要求4所述的链式设备,其特征在于,所述链式设备还包括制绒液浓度检测装置,其用于检测所述制绒工艺槽中制绒液的浓度;以及制绒液输送装置,其用于向所述制绒工艺槽中输送制绒液。7.根据权利要求1至3中任一项所述的链式设备,其特征在于,所述去金属槽包括沿晶硅的移动方向依次排列的去金属工...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴俊桃,刘尧平,林珊,陈伟,赵燕,陈全胜,王燕,杜小龙,
申请(专利权)人:中国科学院物理研究所,
类型:发明
国别省市:北京,11
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