无源滤波器及其制备方法技术

本发明专利技术的无源滤波器及其制备方法，该方法包括：提供绝缘衬底；于绝缘衬底的至少一面上形成金属导线，金属导线的一端为电磁波信号的输入端，另一端为电磁波信号的输出端；于金属导线表面及金属导线所在的绝缘衬底表面覆盖屏蔽粉层。通过改变金属导线的线宽及长度等参数可以改变无源滤波器的大小，增大无源滤波器的适用范围，使无源滤波器可以放入小型仪器中进行滤波；另外，使用半导体工艺中的金属剥离方法或掩膜版蒸镀金属方法形成金属导线，大大减小了金属导线的线宽及金属导线的间距，使无源滤波器做到更小；最后，工艺制备简单，易于实施。

【技术实现步骤摘要】
无源滤波器及其制备方法
本专利技术属于滤波器
，特别是涉及一种无源滤波器及其制备方法。
技术介绍
随着信息技术的发展，人们对信息的价值越来越重视，各种通信系统相继发展起来，与此同时，信号频域变得越来越拥挤，各种频段的通信系统相继出现。为了避免频段间的串扰，高质量滤波器是通信系统中必不可少的部件。高频信号在电学测试的过程中会干扰测试信号，造成信号失真，因此在精密测试中都需要利用滤波器进行滤波。现有滤波器一般分为有源滤波器和无源滤波器，无源滤波器面临着体积大、滤波频率范围小、滤波器温度工作范围小等问题。金属粉末滤波器是一种新型的无源滤波器，其主要是通过电磁波在充满金属粉末的空间传播时，由于高频信号的趋肤效应，高频电磁波会在导线的表面传播，并且在传播过程中会被金属粉末吸收，而低频电磁波损耗较小，从而实现对高频信号非常好的滤波效果，同时金属粉末滤波器的理论工作温度范围很大，可以适用于0K～400K范围内的工作，因此受到研究人员的广泛关注。而目前的金属粉末滤波器以及制备方法制备的金属粉末滤波器体积较大，导致其使用场景范围缩小，无法应用于小体积的仪器中，缩小其适用范围；另外，由于现有的金属粉末滤波器体积较大，适用范围缩小，导致其在某些小体积场景下的不适用，从而间接影响其工作温度范围。因此有必要提供一种无源滤波器及其制备方法，该无源滤波器可以随着金属导线的线宽及长度调节大小，从而使无源滤波器的体积大小不受限制，提高适用范围。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种无源滤波器及其制备方法，用于解决现有技术中无源滤波器的体积无法做小等的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种无源滤波器的制备方法，所述制备方法至少包括步骤：提供绝缘衬底；于所述绝缘衬底的至少一面上形成金属导线，所述金属导线的一端为电磁波信号的输入端，另一端为电磁波信号的输出端；于所述金属导线表面及所述金属导线所在的所述绝缘衬底表面覆盖屏蔽粉层。可选地，所述金属导线从所述输入端向所述输出端蜿蜒延伸。进一步地，所述金属导线从所述输入端向所述输出端呈方波形延伸。可选地，所述金属导线的线宽介于10nm～100μm之间。可选地，形成所述金属导线的方法包括金属剥离方法或掩膜版蒸镀金属方法。进一步地，所述金属剥离方法中的光刻工艺包括紫外光光刻工艺或电子束光刻工艺，所述掩膜版蒸镀金属方法中采用的掩膜版的线宽介于2μm到100μm之间。进一步地，所述金属剥离方法中沉积所述金属导线的方法包括热蒸镀、电子束蒸镀、分子束外延或有机金属化学气相沉积。可选地，形成所述屏蔽粉层的方法包括：将金属粉与绝缘胶混合搅拌均匀，形成屏蔽粉液体；将所述屏蔽粉液体覆盖在所述金属导线表面及其所在的所述绝缘衬底表面并固化，形成所述屏蔽粉层。进一步地，所述金属粉与所述绝缘胶的质量比介于(1～100)：10之间，所述金属粉的粒径小于2μm，所述屏蔽粉层的厚度大于1μm。进一步地，所述绝缘胶包括环氧树脂或AB绝缘胶水，所述金属粉包括铜粉。可选地，所述金属导线包括铜导线。本专利技术还提供一种无源滤波器，所述无源滤波器包括：绝缘衬底；形成于所述绝缘衬底至少一个表面上的金属导线，所述金属导线的一端为电磁波信号的输入端，另一端为电磁波信号的输出端；屏蔽粉层，形成于所述金属导线表面及所述金属导线所在的所述绝缘衬底表面。可选地，所述金属导线从所述输入端向所述输出端蜿蜒延伸。进一步地，所述金属导线从所述输入端向所述输出端呈方波形延伸。可选地，所述金属导线的线宽介于10nm～100μm之间。可选地，所述屏蔽粉层包括金属粉及绝缘胶。进一步地，所述金属粉与所述绝缘胶的质量比介于(1～100)：10之间，所述金属粉的粒径小于2μm，所述屏蔽粉层的厚度大于1μm。进一步地，所述绝缘胶包括环氧树脂或AB绝缘胶水，所述金属粉包括铜粉。可选地，所述金属导线包括铜导线。如上所述，本专利技术的无源滤波器及其制备方法，可以通过改变金属导线的线宽及长度等参数改变无源滤波器的大小，增大无源滤波器的适用范围，使无源滤波器可以放入小型仪器中进行滤波；另外，使用半导体工艺中的金属剥离方法或掩膜版蒸镀金属方法形成金属导线，大大减小了金属导线的线宽及金属导线的间距，使无源滤波器做到更小；最后，工艺制备简单，易于实施。附图说明图1显示为本专利技术的无源滤波器的制备方法的流程示意图。图2显示为本专利技术的实施例一的无源滤波器的提供绝缘衬底的步骤示意图。图3显示为本专利技术的实施例一的无源滤波器的制备金属导线的步骤示意图。图4显示为沿图3中AA方向的纵向剖视图。图5显示为本专利技术的实施例一的无源滤波器的制备屏蔽粉层的步骤示意图。图6显示为沿图5中AA方向的纵向剖视图。图7显示为实施例一的无源滤波器在金属导线的线宽及金属导线的间距均为5μm时的滤波测试图。图8显示为本专利技术的实施例二的无源滤波器的在绝缘衬底的第二面制备金属导线的步骤示意图。图9显示为本专利技术的实施例二的无源滤波器的在绝缘衬底的两面及相应的金属导线上制备屏蔽粉层的步骤示意图。图10显示为本专利技术的实施例三的无源滤波器的在绝缘衬底的第二面制备金属导线的步骤示意图。图11显示为本专利技术的实施例三的无源滤波器的在绝缘衬底的第二面及相应的金属导线上制备屏蔽粉层的步骤示意图。元件标号说明10绝缘衬底101第一面102第二面20金属导线21输入端22输出端30屏蔽粉层W金属导线的线宽D1金属导线的间距D2屏蔽粉层的厚度S1～S3步骤具体实施方式以下通过特定的具体实例说明本专利技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本专利技术的其他优点与功效。本专利技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本专利技术的精神下进行各种修饰或改变。请参阅图1至图11。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本专利技术的基本构想，遂图示中仅显示与本专利技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。如图1所示，本专利技术提供一种无源滤波器的制备方法，所述制备方法至少包括步骤：S1，提供绝缘衬底；S2，于所述绝缘衬底的至少一面上形成金属导线，所述金属导线的一端为电磁波信号的输入端，另一端为电磁波信号的输出端；S3，于所述金属导线表面及所述金属导线所在的所述绝缘衬底表面覆盖屏蔽粉层。下面结合具体实施例对本专利技术的无源滤波器及其制备方法进行进一步说明。实施例一如图2至图7所示，本实施例提供一种无源滤波器的制备方法，所述制备方法至少包括步骤：如图2所示，首先提供绝缘衬底10，所述绝缘衬底10具有相对的第一面101及第二面102。作为示例，所述绝缘衬底10可以是二氧化硅、氧化铝或其他任意绝缘材料，只要满足所述绝缘衬底10的电绝缘性即可，在此不再一一列举。所述绝缘衬底10的大小根据实际需要可以调节。这里需要说明的是，所述绝缘衬底10相对的第一面101及第二面102其实是相同的，本实施例中只是为了便于描述，才将所述绝缘衬底10定义为第一面101及第二面102，所以本领域技术人员可以简单直接理解所述绝缘衬底10的第一面101与第二面102的等价性。如图3及图4本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种无源滤波器的制备方法，其特征在于，所述制备方法至少包括步骤：提供绝缘衬底；于所述绝缘衬底的至少一面上形成金属导线，所述金属导线的一端为电磁波信号的输入端，另一端为电磁波信号的输出端；于所述金属导线表面及所述金属导线所在的所述绝缘衬底表面覆盖屏蔽粉层。

【技术特征摘要】
1.一种无源滤波器的制备方法，其特征在于，所述制备方法至少包括步骤：提供绝缘衬底；于所述绝缘衬底的至少一面上形成金属导线，所述金属导线的一端为电磁波信号的输入端，另一端为电磁波信号的输出端；于所述金属导线表面及所述金属导线所在的所述绝缘衬底表面覆盖屏蔽粉层。2.根据权利要求1所述的无源滤波器的制备方法，其特征在于：所述金属导线从所述输入端向所述输出端蜿蜒延伸。3.根据权利要求2所述的无源滤波器的制备方法，其特征在于：所述金属导线从所述输入端向所述输出端呈方波形延伸。4.根据权利要求1所述的无源滤波器的制备方法，其特征在于：所述金属导线的线宽介于10nm～100μm之间。5.根据权利要求1所述的无源滤波器的制备方法，其特征在于：形成所述金属导线的方法包括金属剥离方法或掩膜版蒸镀金属方法。6.根据权利要求5所述的无源滤波器的制备方法，其特征在于：所述金属剥离方法中的光刻工艺包括紫外光光刻工艺或电子束光刻工艺，所述掩膜版蒸镀金属方法中采用的掩膜版的线宽介于2μm到100μm之间。7.根据权利要求5所述的无源滤波器的制备方法，其特征在于：所述金属剥离方法中沉积所述金属导线的方法包括热蒸镀、电子束蒸镀、分子束外延或有机金属化学气相沉积。8.根据权利要求1所述的无源滤波器的制备方法，其特征在于，形成所述屏蔽粉层的方法包括：将金属粉与绝缘胶混合搅拌均匀，形成屏蔽粉液体；将所述屏蔽粉液体覆盖在所述金属导线表面及其所在的所述绝缘衬底表面并固化，形成所述屏蔽粉层。9.根据权利要求8所述的无源滤波器的制备方法，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：狄增峰，韩晓雯，高敏，吴宇峰，胡涛，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：上海,31