物理量传感器、惯性计测装置、电子设备以及移动体制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够减少可动部的过度位移的物理量传感器、惯性计测装置、电子设备以及移动体。物理量传感器包括：基板；固定部，固定于基板；可动部，包括包围固定部的框部，与固定部连接，并能相对于基板在X轴方向上位移；以及可动电极，支承于可动部。另外，框部包括：第一外缘部，位于X轴方向的一侧，并沿着Y轴方向配置；以及第二外缘部，位于X轴方向的另一侧，并沿着Y轴方向配置。另外，相比第一外缘部，固定部更靠第二外缘部一侧而配置，基板包括：第一凸部，与第一外缘部重叠，并与第一外缘部相分离地配置；以及第二凸部，与第二外缘部重叠，并与第二外缘部相分离地配置。

Physical quantity sensors, inertial measurement devices, electronic devices and mobile devices

The invention provides a physical quantity sensor, an inertial measuring device, an electronic device and a mobile body capable of reducing excessive displacement of the movable part. The physical quantity sensor includes: a base plate; a fixed part, fixed on the base plate; a movable part, including a frame part enclosing the fixed part, is connected with the fixed part and can displace in the X-axis direction relative to the base plate; and a movable electrode, supported on the movable part. In addition, the frame part includes: the first outer edge part, which is located on one side of the X-axis direction and is arranged along the Y-axis direction; and the second outer edge part, which is located on the other side of the X-axis direction and is arranged along the Y-axis direction. In addition, compared with the first outer edge part, the fixed part is more arranged by one side of the second outer edge part. The substrate includes: the first convex part overlaps with the first outer edge part and is separately arranged with the first outer edge part; and the second convex part overlaps with the second outer edge part and is separately arranged with the second outer edge part.

【技术实现步骤摘要】
物理量传感器、惯性计测装置、电子设备以及移动体
本专利技术涉及物理量传感器、物理量传感器装置、复合传感器装置、惯性计测装置、移动体定位装置、便携式电子设备、电子设备以及移动体。
技术介绍
例如，专利文献1公开的加速度传感器具有基板、相对于基板能够位移的可动部、设置于可动部的可动检测电极、以及固定于基板且在与可动检测电极之间形成静电电容的固定检测电极。在这样的构成中，当施加有加速度时，可动部相对于基板发生位移，伴随于此，可动检测电极与固定检测电极之间的静电电容发生变化，因而能够根据该静电电容的变化检测加速度。专利文献1：日本专利特开2007-139505号公报但是，在专利文献1的加速度传感器中，存在如下问题：即、例如当施加有垂直于基板的方向(Z轴方向)的加速度时，有可能导致可动部在Z轴方向上过度位移，因为该位移所产生的应力导致可动部破损，或者例如由于可动部与基板接触而产生可动部直接贴附于基板上的所谓的“粘连”，无法作为加速度传感器发挥作用。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供能够减少可动部的过度位移的物理量传感器、物理量传感器装置、复合传感器装置、惯性计测装置、移动体定位装置、便携式电子设备、电子设备以及移动体。本专利技术是为了解决上述问题的至少一部分而完成的，可作为以下的专利技术而实现。物理量传感器其特征在于，包括：基板；固定部，固定于所述基板；可动部，所述可动部包括俯视观察时包围所述固定部的框部，与所述固定部连接，并能相对于所述基板在第一方向上位移；以及可动电极，支承于所述可动部，所述框部包括：第一外缘部，位于所述第一方向的一侧，并沿着与所述第一方向正交的第二方向配置；以及第二外缘部，位于所述第一方向的另一侧，并沿着所述第二方向配置，相比所述第一外缘部，所述固定部更靠所述第二外缘部一侧而配置，所述基板包括：第一凸部，在俯视观察时与所述第一外缘部重叠、且与所述第一外缘部相分离地配置；以及第二凸部，在俯视观察时与所述第二外缘部重叠、且与所述第二外缘部相分离地配置。由此，通过与第一凸部和第二凸部的接触，能够减少可动部的过度的位移。在物理量传感器中，优选地，所述可动部通过在与所述第一方向和所述第二方向正交的第三方向上位移而与所述第一凸部和所述第二凸部接触，所述可动部与所述第一凸部的接触面积大于所述可动部与所述第二凸部的接触面积。由此，能够缓和可动部与第一凸部接触时的冲击，能够减少可动部、第一凸部的破损。在物理量传感器中，优选地，所述第一凸部和所述第二凸部分别在俯视观察时被内包于所述可动部内。由此，能够减少第一凸部和第二凸部与可动部以外的部分的接触。在物理量传感器中，优选地，包括配置于所述基板的在所述可动部一侧的面中的、于俯视观察时与所述可动部重叠的区域中至少一部分区域的电极，所述电极与所述可动部为同电位。由此，能够减少可动部的出乎意料的位移。在物理量传感器中，优选地，包括：梁，呈沿所述第一方向的长条形状，所述梁的一端部连接于所述固定部；以及弹簧，连接所述梁的另一端部与所述可动部，所述基板包括第三凸部，所述第三凸部在俯视观察时与所述梁重叠、且与所述梁相分离地配置。由此，能够减少可动部的过度的位移。在物理量传感器中，优选地，所述可动部包括骨干部，所述骨干部在俯视观察时位于所述框部的内侧，并呈沿着所述第一方向的长条形状，所述基板包括第四凸部，所述第四凸部在俯视观察时与所述骨干部重叠、且与所述骨干部相分离地配置。由此，能够减少可动部的过度的位移。物理量传感器优选地能够检测加速度。由此，成为便利性高的物理量传感器。物理量传感器装置其特征在于，包括：物理量传感器和电路元件。因此，能够享受物理量传感器的效果，可得到可靠性高的物理量传感器装置。复合传感器装置其特征在于，包括：作为物理量传感器的第一物理量传感器；以及检测与所述第一物理量传感器不同的物理量的第二物理量传感器。因此，能够享受物理量传感器的效果，可得到可靠性高的复合传感器装置。惯性计测装置其特征在于，包括：物理量传感器；以及控制所述物理量传感器的驱动的控制电路。由此，能够享受物理量传感器的效果，可得到可靠性高的惯性计测装置。移动体定位装置其特征在于，包括：惯性计测装置；从定位用卫星接收叠加有位置信息的卫星信号的接收部；根据接收到的所述卫星信号获取所述接收部的位置信息的获取部；根据从所述惯性计测装置输出的惯性数据运算移动体的姿势的运算部；以及通过根据算出的所述姿势对所述位置信息进行校正而计算所述移动体的位置的计算部。由此，能够享受惯性计测装置的效果，可得到可靠性高的移动体定位装置。便携式电子设备其特征在于，包括：物理量传感器；收纳有所述物理量传感器的壳体；收纳于所述壳体并对来自所述物理量传感器的输出数据进行处理的处理部；收纳于所述壳体的显示部；以及堵住所述壳体的开口部的透光性罩。由此，能够享受物理量传感器的效果，可得到可靠性高的便携式电子设备。在便携式电子设备中，优选地，包括卫星定位系统，计测用户的移动距离、移动轨迹。由此，成为便利性更高的便携式电子设备。电子设备其特征在于，包括：物理量传感器；以及根据从所述物理量传感器输出的检测信号进行控制的控制部。由此，能够享受物理量传感器的效果，可得到可靠性高的电子设备。移动体其特征在于，包括：物理量传感器；以及根据从所述物理量传感器输出的检测信号进行控制的控制部。由此，能够享受物理量传感器的效果，可得到可靠性高的移动体。在移动体中，优选地，包括发动机系统、制动系统以及无钥匙进入系统中至少任一种系统，所述控制部根据所述检测信号控制所述系统。由此，能够高精度地控制系统。附图说明图1是表示第一实施方式涉及的物理量传感器的平面图。图2是图1中的A-A线剖面图。图3是图1所示的物理量传感器的立体图。图4是表示施加于图1所示的物理量传感器的电压的图。图5是图1中的B-B线剖面图。图6是图1中的C-C线剖面图。图7是表示第二实施方式涉及的物理量传感器的平面图。图8是图7中的D-D线剖面图。图9是表示图7所示的物理量传感器的变形例的平面图。图10是表示第三实施方式涉及的物理量传感器的平面图。图11是图10中的E-E线剖面图。图12是表示图10所示的物理量传感器的变形例的平面图。图13是表示第四实施方式涉及的物理量传感器装置的剖面图。图14是表示第五实施方式涉及的复合传感器装置的平面图。图15是图14所示的复合传感器装置的剖面图。图16是表示第六实施方式涉及的惯性计测装置的分解立体图。图17是图16所示的惯性计测装置所具有的基板的立体图。图18是表示第七实施方式涉及的移动体定位装置的整体系统的框图。图19是表示图18所示的移动体定位装置的作用的图。图20是表示第八实施方式涉及的电子设备的立体图。图21是表示第九实施方式涉及的电子设备的立体图。图22是表示第十实施方式涉及的电子设备的立体图。图23是表示第十一实施方式涉及的便携式电子设备的平面图。图24是表示图23所示的便携式电子设备的概略构成的功能框图。图25是表示第十二实施方式涉及的移动体的立体图。附图标记说明1…物理量传感器、10…盖体、11…凹部、19…玻璃熔块、2…基板、21…凹部、22…底座、25、26、27…槽部、3…传感器元件、4…固定电极、41…第一固定电极、411…第一骨干部本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种物理量传感器，其特征在于，包括：基板；固定部，固定于所述基板；可动部，所述可动部包括俯视观察时包围所述固定部的框部，与所述固定部连接，并能相对于所述基板在第一方向上位移；以及可动电极，支承于所述可动部，所述框部包括：第一外缘部，位于所述第一方向的一侧，并沿着与所述第一方向正交的第二方向配置；以及第二外缘部，位于所述第一方向的另一侧，并沿着所述第二方向配置，相比所述第一外缘部，所述固定部更靠所述第二外缘部一侧而配置，所述基板包括：第一凸部，在俯视观察时与所述第一外缘部重叠、且与所述第一外缘部相分离地配置；以及第二凸部，在俯视观察时与所述第二外缘部重叠、且与所述第二外缘部相分离地配置。

【技术特征摘要】
2017.11.28 JP 2017-2282661.一种物理量传感器，其特征在于，包括：基板；固定部，固定于所述基板；可动部，所述可动部包括俯视观察时包围所述固定部的框部，与所述固定部连接，并能相对于所述基板在第一方向上位移；以及可动电极，支承于所述可动部，所述框部包括：第一外缘部，位于所述第一方向的一侧，并沿着与所述第一方向正交的第二方向配置；以及第二外缘部，位于所述第一方向的另一侧，并沿着所述第二方向配置，相比所述第一外缘部，所述固定部更靠所述第二外缘部一侧而配置，所述基板包括：第一凸部，在俯视观察时与所述第一外缘部重叠、且与所述第一外缘部相分离地配置；以及第二凸部，在俯视观察时与所述第二外缘部重叠、且与所述第二外缘部相分离地配置。2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，所述可动部通过在与所述第一方向和所述第二方向正交的第三方向上位移而与所述第一凸部和所述第二凸部接触，所述可动部与所述第一凸部的接触面积大于所述可动部与所述第二凸部的接触面积。3.根据权利要求1或2所述的物理量传感器，其特征在于，所述第一凸部和所述第二凸部分别在俯视观察时被内包于所述可动部内。4.根据权利要求1至3中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，所述物理量传感器包括配置于所述基板的在所述可动部一侧的面中的、于俯视观察时与所述可动部重叠的区域中至少一部分区域的电极，...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中悟，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP