一种硅片翻转装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅片翻转装置，包括送入轨道、送出轨道、位于所述送入轨道与送出轨道之间的转盘、带动所述转盘转动的驱动装置以及进料感应装置和控制装置，所述转盘上开设有与硅片相匹配的卡槽，所述转盘的中间设置有与所述驱动装置连接的转轴，所述转盘包括设置在所述转轴上的第一转盘和第二转盘，所述第一转盘和第二转盘上对应的所述卡槽之间的距离与所述硅片的宽度相匹配。本实用新型专利技术的硅片翻转装置能够实现硅片的翻转，避免了对硅片表面的摩擦，有效的将背面接触改为正面接触，有效解决PERC电池的EL不良问题，提升了硅片生产的良率和电池效率，同时又可以有效的降低背面局部复合，带来硅片的效率增益。

A silicon wafer flip device

The utility model discloses a silicon wafer turning device, which comprises a turntable between the feeding track and the feeding track, a driving device driving the turntable to rotate, a feeding induction device and a control device. A chuck matching the silicon wafer is arranged on the turntable, and a rotating shaft connected with the driving device is arranged in the middle of the turntable. The rotating disc comprises a first and a second rotating discs arranged on the rotating shaft, and the distance between the corresponding chutes on the first and second rotating discs matches the width of the silicon chip. The silicon wafer turnover device of the utility model can realize the silicon wafer turnover, avoid the friction on the surface of the silicon wafer, effectively change the back contact to the front contact, effectively solve the EL bad problem of PERC battery, improve the yield of the silicon wafer production and the efficiency of the battery, at the same time, effectively reduce the local recombination on the back, and bring the efficiency gain of the silicon wafer.

【技术实现步骤摘要】
一种硅片翻转装置
本技术属于太阳能电池制造
，具体涉及一种用于改善PERC电池背面EL皮带印的硅片翻转装置。
技术介绍
太阳能光伏发电，由于其具有清洁、安全、便利及高效等特点，已成为全世界普遍关注和重点发展的新兴产业。随着光伏技术不断的发展，作为将太阳能转化为电能的半导体器件的太阳能电池产品得到了快速的开发，同时也促进了半导体科学技术的飞速发展，使得硅片广泛地应用于现代社会的各行各业。因此，硅片的需求量不断加大，生产加工量不断攀升，随之形成大规模流水生产。目前在大部分PERC电池生产中，电池的背面由于与氧化铝直接接触，较掺杂面更需要保护，现有大部分工艺选择刻蚀后抛光面朝下，与传送皮带之间存在严重的摩擦，被摩擦的区域由于污染或微观绒面的变化，在进一步沉积氧化铝过程中，该局部区域的沉积较差，钝化力度不够，复合速率增加。这种影响最直接的体现就是，在EL(电致发光，Electroluminescent)下显示为两条黑色皮带印。该问题一方面降低了PERC电池的优良率，另一方面，由于皮带印处的少子复合加重，导致转换效率受到一定的影响。
技术实现思路
有鉴于此，为了克服现有技术的缺陷，本技术的目的是提供一种硅片翻转装置，其能够实现硅片的翻转，且避免了对硅片表面的摩擦，提升了硅片生产的良率和电池效率。为了达到上述目的，本技术采用以下的技术方案：一种硅片翻转装置，包括送入轨道、送出轨道、位于所述送入轨道与送出轨道之间的转盘、带动所述转盘转动的驱动装置以及进料感应装置和控制装置，所述转盘上开设有与硅片相匹配的卡槽，所述转盘的中间设置有与所述驱动装置连接的转轴，所述转盘包括设置在所述转轴上的第一转盘和第二转盘，所述第一转盘和第二转盘上对应的所述卡槽之间的距离与所述硅片的宽度相匹配。硅片的宽度即垂直于送入轨道或送出轨道方向上的长度；硅片的长度即平行于送入轨道或送出轨道方向上的长度。通过送入轨道将硅片送入转盘中，通过卡槽固定住硅片并通过转盘带动硅片转动，硅片转动了180°后通过送出轨道将硅片从卡槽中取出，实现了硅片的翻转。优选地，所述送入轨道和送出轨道位于所述第一转盘和第二转盘之间，即第一转盘和第二转盘之间的间距大于送入轨道或送出轨道的宽度，转盘的卡槽卡住的是硅片的边缘。优选地，所述转盘上均匀分布有凸起，相邻所述凸起之间形成容纳所述硅片边缘的卡槽，卡槽用于卡住硅片的边缘，不会对硅片表面的中间造成影响，提升了最终硅片的质量。更加优选地，所述卡槽的纵向深度为所述硅片长度的0.5-1倍。卡槽的纵向深度太深会导致硅片翻转后较难被送出轨道的皮带带出，太浅会导致硅片在转动时由于受力不均碎片或甩出。如在一些实施例中，硅片的尺寸为156mm*156mm，则转盘直径设置为170mm，厚度约15mm，卡槽纵向深度约为80mm，横向深度即凸起的高度约为5mm，间隙高度即相邻凸起之间的距离约为3mm。优选地，所述转盘上均匀分布有12个卡槽，相邻所述卡槽之间的夹角为30°，两侧卡槽的位置一一对应，即在转盘转动过程中，最多可以缓存7片硅片。优选地，所述驱动装置包括步进电机，所述步进电机的平均频率为30Hz-40Hz。即转盘的卡槽每进入一片硅片就转动一次，每次转动角度为30°，转动结束后，靠近送入轨道的卡槽会插入硅片，靠近送出轨道的卡槽中的硅片被取出。优选地，所述转盘的材质为聚氯乙烯(PVC)，转轴为不锈钢转动轴承。优选地，所述送出轨道远离所述转盘的一端设置有用于接收所述硅片的接料花篮。优选地，所述进料感应装置设置在所述送入轨道的一侧，所述进料感应装置距离所述转轴中心线的距离为所述硅片的长度加上所述转轴的半径。优选地，所述硅片翻转装置包括转动状态和输送状态，所述硅片翻转装置处于所述输送状态时，所述转盘静止，靠近所述送入轨道的卡槽中空缺无硅片，所述送入轨道输送硅片，所述硅片插入靠近所述送入轨道的卡槽中；所述进料感应装置感应到所述硅片完全插入所述卡槽，所述进料感应装置发送所述进料信号给所述控制装置，所述控制装置接收所述进料信号后发送转动信号给所述驱动装置，所述驱动装置接收所述转动信号后带动所述转盘转动，所述硅片翻转装置处于所述转动状态。与现有技术相比，本技术的有益之处在于：本技术的硅片翻转装置能够实现硅片的翻转，避免了对硅片表面的摩擦，有效的将背面接触改为正面接触，可以大大的降低电池背面EL皮带印的不良比例，有效解决PERC电池的EL不良问题，提升了硅片生产的良率和电池效率，同时又可以有效的降低背面局部复合，带来硅片的效率增益。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术优选实施例中硅片翻转装置的剖视图；图2为本技术优选实施例中硅片翻转装置的俯视图；其中：送入轨道-1，送出轨道-2，转盘-3，第一转盘-31，第二转盘-32，进料感应装置-4，凸起-5，卡槽-6，转轴-7，硅片-8，硅片扩散面-81，硅片抛光面-82。具体实施方式为了使本
的人员更好地理解本技术的技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。需要说明的是，本技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本技术的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、装置、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。参照附图1-2，本实施例的一种硅片翻转装置，包括送入轨道1、送出轨道2、位于送入轨道1与送出轨道2之间的转盘3、带动转盘3转动的驱动装置以及进料感应装置4和控制装置，转盘3上开设有与硅片8相匹配的卡槽6，转盘3的中间设置有与驱动装置连接的转轴7，转盘3包括对称设置在转轴7上的第一转盘31和第二转盘32，第一转盘31和第二转盘32上对应的卡槽6之间的距离与硅片8的宽度相匹配。硅片8的宽度即垂直于送入轨道1或送出轨道2方向上的长度；硅片8的长度即平行于送入轨道1或送出轨道2方向上的长度。本实施例中转盘3的材质为聚氯乙烯(PVC)，转轴7为不锈钢转动轴承。通过送入轨道1将硅片8送入转盘3中，通过转盘3上的卡槽6固定住硅片8并通过转盘3带动硅片8转动，硅片8转动了180°后通过送出轨道2将硅片8从卡槽6中取出，实现了硅片8的翻转。如图2所示，送入轨道1和送出轨道2位于第一转盘31和第二转盘32之间，即第一转盘31和第二转盘32之间的间距大于送入轨道1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片翻转装置，其特征在于：包括送入轨道、送出轨道、位于所述送入轨道与送出轨道之间的转盘、带动所述转盘转动的驱动装置以及进料感应装置和控制装置，所述转盘上开设有与硅片相匹配的卡槽，所述转盘的中间设置有与所述驱动装置连接的转轴，所述转盘包括设置在所述转轴上的第一转盘和第二转盘，所述第一转盘和第二转盘上对应的所述卡槽之间的距离与所述硅片的宽度相匹配。

【技术特征摘要】
1.一种硅片翻转装置，其特征在于：包括送入轨道、送出轨道、位于所述送入轨道与送出轨道之间的转盘、带动所述转盘转动的驱动装置以及进料感应装置和控制装置，所述转盘上开设有与硅片相匹配的卡槽，所述转盘的中间设置有与所述驱动装置连接的转轴，所述转盘包括设置在所述转轴上的第一转盘和第二转盘，所述第一转盘和第二转盘上对应的所述卡槽之间的距离与所述硅片的宽度相匹配。2.根据权利要求1所述的一种硅片翻转装置，其特征在于：所述送入轨道和送出轨道位于所述第一转盘和第二转盘之间。3.根据权利要求1所述的一种硅片翻转装置，其特征在于：所述转盘上均匀分布有凸起，相邻所述凸起之间形成容纳所述硅片边缘的卡槽。4.根据权利要求3所述的一种硅片翻转装置，其特征在于：所述卡槽的纵向深度为所述硅片长度的0.5-1倍。5.根据权利要求1所述的一种硅片翻转装置，其特征在于：所述转盘上均匀分布有12个卡槽，相邻所述卡槽之间的夹角为30°。6.根据权利要求1所述的一种硅片翻转装置，其特征在于：所述驱动装置包括步进电机，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：费存勇，赵福祥，崔钟亨，
申请(专利权)人：韩华新能源启东有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32