The invention relates to a film fabrication device and process, belonging to the field of semiconductor devices. The fabrication device includes: a container with a holding chamber, which is extended from the first end to the second end, and an opening connected with the holding chamber is formed at the second end; a bearing device, which is constructed to accommodate the holding chamber in a manner capable of rotating and adjacent to the first end; and a first tube whose cavity is connected with the holding chamber. The cover is connected to the second end of the container to close the opening and optionally expose the opening; the second tube, the cavity of the second tube is connected to the holding cavity, and the second tube is connected to the first end of the container. A more uniform film thickness can be obtained by using the above mentioned fabrication device, which is conducive to improving the quality of the obtained film.
【技术实现步骤摘要】
一种膜制作装置及工艺
本申请涉及半导体器件领域,具体而言,涉及一种膜制作装置及工艺。
技术介绍
目前,有机发光器件(OLED)以及量子点发光器件(QLED)的制作方法通常都是溶液加工工艺。即,先通过选择将溶液涂布为薄膜,然后对薄膜进行干燥。其中的干燥的方法一般为热平板(HPB)干燥法。然而,这样的溶液加工工艺会导致膜层的厚度均匀性差,从而引起膜层质量的下降。
技术实现思路
为改善、甚至解决现有技术中的至少一个问题,本申请提出了一种膜制作装置及工艺,以提高所制备的膜层的厚度均匀性,进而改善制得的薄膜的质量。本申请是这样实现的:在第一方面,本申请的示例提供了一种膜制作装置。膜制作装置包括:具有容纳腔的容器,容器由第一端至第二端延伸而成,第二端形成有与容纳腔连通的开口;承载器,承载器被构造来以能够旋转且邻近第一端的方式容纳于容纳腔内;盖,盖连接于容器的第二端以封闭开口且能够可选地暴露开口;第一管,第一管的管腔与容纳腔连通,第一管连接于容器的第二端或盖;第二管,第二管的管腔与容纳腔连通,第二管连接于容器的第一端。示例中的制作装置具有将由溶液制作湿膜以及将湿膜干燥的两个功能整合的优点。通过结合适当设备可以将制膜和干燥两个工序结合,两者可先后同步进行,从而可以有效缩短膜制作周期。此外,制作和干燥两个步骤可以利用本申请示例中的制作装置被同步执行,并且经由适当操作使膜的厚度更均匀。结合第一方面,在本申请的第一方面的第一种可能的实施方式的一些可选示例中,第一管具有送风口,且送风口朝向承载器的中部。可选地,承载器定义有过圆心的垂线,第一管的轴线与承载器的垂线之间具有夹角,且夹角为 ...
【技术保护点】
1.一种膜制作装置,其特征在于,包括:具有容纳腔的容器,所述容器由第一端至第二端延伸而成,所述第二端形成有与所述容纳腔连通的开口;承载器,所述承载器被构造来以能够旋转且邻近所述第一端的方式容纳于所述容纳腔内;盖,所述盖连接于所述容器的所述第二端以封闭所述开口且能够可选地暴露所述开口;用于从所述容器外引导气流进入所述容纳腔内的第一管,所述第一管的管腔与所述容纳腔连通,所述第一管连接于所述容器的所述第二端或所述盖;用于从所述容纳腔内引导气流排出到所述容器外的第二管,所述第二管的管腔与所述容纳腔连通,所述第二管连接于所述容器的所述第一端。
【技术特征摘要】
1.一种膜制作装置,其特征在于,包括:具有容纳腔的容器,所述容器由第一端至第二端延伸而成,所述第二端形成有与所述容纳腔连通的开口;承载器,所述承载器被构造来以能够旋转且邻近所述第一端的方式容纳于所述容纳腔内;盖,所述盖连接于所述容器的所述第二端以封闭所述开口且能够可选地暴露所述开口;用于从所述容器外引导气流进入所述容纳腔内的第一管,所述第一管的管腔与所述容纳腔连通,所述第一管连接于所述容器的所述第二端或所述盖;用于从所述容纳腔内引导气流排出到所述容器外的第二管,所述第二管的管腔与所述容纳腔连通,所述第二管连接于所述容器的所述第一端。2.根据权利要求1所述的膜制作装置,其特征在于,所述第一管具有送风口,所述送风口朝向所述承载器的中部;优选地,所述承载器定义有过圆心的垂线,所述第一管的轴线与所述承载器的所述垂线之间具有夹角,且所述夹角为0~60度。3.根据权利要求1或2所述的膜制作装置,其特征在于,所述第一管能够相对所述承载器运动;优选地,所述第一管能够相对所述承载器水平和/或竖直运动;更优选地,所述第一管的送风口与所述承载器的上表面之间具有距离;进一步优选地,所述距离为1~10cm。4.根据权利要求1所述的膜制作装置,其特征在于,所述第一管具有送风口,所述送风口呈扩散状或收缩状;优选地,所述扩散状和所述收缩状能够可选且渐变地调节或切换;更优选地,所述第一管的所述送风口在所述承载器的投影覆盖所述承载器的中心区域;进一步优选地,所述中心区域的面积是所述承载器的面积的50%。5.根据权利要求1所述的膜制作装置,其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员:肖鹤鸣,
申请(专利权)人:纳晶科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江,33
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