一种膜制作装置及工艺制造方法及图纸

技术编号:21163492 阅读:27 留言:0更新日期:2019-05-22 08:50
一种膜制作装置及工艺,属于半导体器件领域。制作装置包括:具有容纳腔的容器,容器由第一端至第二端延伸而成,第二端形成有与容纳腔连通的开口;承载器,承载器被构造来以能够旋转且邻近第一端的方式容纳于容纳腔内;第一管,第一管的管腔与容纳腔连通。盖,盖连接于容器的第二端以封闭开口且能够可选地暴露开口;第二管,第二管的管腔与容纳腔连通,第二管连接于容器的第一端。利用以上所提及的制作装置可以获得厚度更加均匀的膜层,有利于提高制作获得膜的质量。

A Membrane Fabrication Device and Technology

The invention relates to a film fabrication device and process, belonging to the field of semiconductor devices. The fabrication device includes: a container with a holding chamber, which is extended from the first end to the second end, and an opening connected with the holding chamber is formed at the second end; a bearing device, which is constructed to accommodate the holding chamber in a manner capable of rotating and adjacent to the first end; and a first tube whose cavity is connected with the holding chamber. The cover is connected to the second end of the container to close the opening and optionally expose the opening; the second tube, the cavity of the second tube is connected to the holding cavity, and the second tube is connected to the first end of the container. A more uniform film thickness can be obtained by using the above mentioned fabrication device, which is conducive to improving the quality of the obtained film.

【技术实现步骤摘要】
一种膜制作装置及工艺
本申请涉及半导体器件领域,具体而言,涉及一种膜制作装置及工艺。
技术介绍
目前,有机发光器件(OLED)以及量子点发光器件(QLED)的制作方法通常都是溶液加工工艺。即,先通过选择将溶液涂布为薄膜,然后对薄膜进行干燥。其中的干燥的方法一般为热平板(HPB)干燥法。然而,这样的溶液加工工艺会导致膜层的厚度均匀性差,从而引起膜层质量的下降。
技术实现思路
为改善、甚至解决现有技术中的至少一个问题,本申请提出了一种膜制作装置及工艺,以提高所制备的膜层的厚度均匀性,进而改善制得的薄膜的质量。本申请是这样实现的:在第一方面,本申请的示例提供了一种膜制作装置。膜制作装置包括:具有容纳腔的容器,容器由第一端至第二端延伸而成,第二端形成有与容纳腔连通的开口;承载器,承载器被构造来以能够旋转且邻近第一端的方式容纳于容纳腔内;盖,盖连接于容器的第二端以封闭开口且能够可选地暴露开口;第一管,第一管的管腔与容纳腔连通,第一管连接于容器的第二端或盖;第二管,第二管的管腔与容纳腔连通,第二管连接于容器的第一端。示例中的制作装置具有将由溶液制作湿膜以及将湿膜干燥的两个功能整合的优点。通过结合适当设备可以将制膜和干燥两个工序结合,两者可先后同步进行,从而可以有效缩短膜制作周期。此外,制作和干燥两个步骤可以利用本申请示例中的制作装置被同步执行,并且经由适当操作使膜的厚度更均匀。结合第一方面,在本申请的第一方面的第一种可能的实施方式的一些可选示例中,第一管具有送风口,且送风口朝向承载器的中部。可选地,承载器定义有过圆心的垂线,第一管的轴线与承载器的垂线之间具有夹角,且夹角为0~60度。由于第一管的送风口朝向承载器,因此,可以经由第一管直接向承载器及其上形成的湿膜送风,从而对构成膜的溶液的分布起到作用。同时通过调节风温可以起到更好的干燥效果。另外,风向等参数可对干燥效率和膜厚造成影响,因此,使第一管的轴线与承载器之间构成一定的夹角可达到优化干燥过程的作用。结合第一方面或第一方面的第一种可能的实施方式,在本申请的第一方面的第二种可能的实施方式的一些可选示例中,第一管能够相对承载器运动。可选地,第一管能够相对承载器水平和/或竖直运动。可选地,第一管的自由端与承载器的上表面之间具有距离。可选地,距离为1~10cm。第一管可以用来向膜送风,而出风位置以及送风距离对干燥效率和膜厚造成影响,因此,适当可控制第一管的设置方式可以优化以获得理想的膜制作效果。结合第一方面,在本申请的第一方面的第三种可能的实施方式的一些可选示例中,第一管的送风口呈扩散状或收缩状。可选地,扩散状和收缩状能够可选且渐变地调节或切换。可选地,第一管的送风口在承载器的投影覆盖承载器的中心区域。可选地,中心区域的面积是承载器的面积的50%。第一管的送风方式同样对干燥效率和膜厚产生影响。而第一管具有送风口,并且由此影响送风形式,例如送风面积。选择适当的第一管结构,进而控制送风方式,继而对成膜质量达到控制。结合第一方面,在本申请的第一方面的第四种可能的实施方式的一些可选示例中,膜制作装置包括有吸盘、送风器、排风器中的一种或多种的组合。其中,吸盘匹配设置于承载器的下表面的几何中心。送风器被构造来通过第一管向容纳腔内送风。排风器被构造来通过第二管从容纳腔向容器外排风。制作装置配置吸盘、送风器、排风器,可以提高装置的使用便利性。相比于,使用者配备吸盘、送风器、排风器,由制作装置自带该设备可以简化如安装、校准等操作,实现操作的简便化。结合第一方面的第四种可能的实施方式,在本申请的第一方面的第五种可能的实施方式的一些可选示例中,送风器配置有风速调节器和/或风温调节器。风速调节器、风温调节器被配置用以对第一管的送出的风速、风温按需调节,以对成膜过程起到控制。结合第一方面的第四种或第五种可能的实施方式,在本申请的第一方面的第六种可能的实施方式的一些可选示例中,送风器配置有补充器,补充器被构造来向送风器输送的气流中添加期望气体并共同输入至容纳腔内。湿膜的干燥过程是一个溶剂挥发为气体的过程,而溶剂的挥发速度对干燥的效果也起到影响。因此,补充器可以被用来根据挥发状况,进行按需补充溶剂,以平缓膜层内部溶剂蒸发到膜表层及上部空间的速率。结合第一方面的第六种可能的实施方式,在本申请的第一方面的第七种可能的实施方式的一些可选示例中,补充器包括用于收容或产生期望气体的储存装置。作为补充溶剂的补充器,其可以自带容器,用以存储所需溶剂或所需的气体。如此,使用者并不需要特别地自行配置设备溶剂,在一定程度起到提高可用性的效果。在第二方面,本申请的示例提供了一种膜制作工艺。膜制作工艺能够由上述的膜制作装置实施。膜制作工艺包括:转移用于制作膜的流体至基板,使基板被驱动而处于第一旋转阶段,其中,基板负载在承载器且由承载器驱动;通过承载器使基板被驱动而处于第二旋转阶段,并执行送风步骤和排风步骤;通过承载器使基板被驱动而处于第三旋转阶段,可选地停止送风步骤和/或排风步骤;其中,送风步骤包括通过第一管向容纳腔内送风使流体被干燥;其中,排风步骤包括通过第二管由容纳腔向容器外排风;排风步骤同步或延后于送风步骤被执行。本申请示例中的膜制作工艺将湿膜制作和湿膜干燥的不同通过同一设备(膜制作装置)完成,而不需要将湿膜转移于其他设备进行干燥操作。通过单一设备完成膜制作的整个工作,从而以更少的操作量实现高质量制膜。同时,该工艺还取得了高的生产效率,并且在确保成膜质量的同时还可以排尽及干燥容纳腔内的废液进而使设备具有理想的复用率。结合第二方面,在本申请的第二方面的第一种可能的实施方式的一些可选示例中,第一旋转阶段为承载器的加速旋转过程,第二旋转阶段为承载器的匀速旋转过程,第三旋转阶段为承载器的减速旋转过程。在膜的制作过程中,通过对转动运动的控制,实现对旋涂制膜过程的控制,以限制膜的厚度均匀性。在以上实现过程中,本申请实施例提供的工艺中膜的形成和干燥步骤一并由膜制作装置实施,从而在不对膜进行转移的情况在设备完成膜制作。由此,制作获得的膜在厚度均匀性方面提高。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本申请的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本申请实施例中的容器的第一视角的结构示意图;图2为本申请实施例中的容器的第二视角的结构示意图;图3为本申请实施例中的盖的结构示意图;图4为本申请实施例中的图1中的容器和图3中的盖的配合结构示意图;图5示出了图4中的配合结构的剖视结构示意图;图6为本申请实施例中的一种膜制作装置的结构示意图;图7示出了图6中的膜制作装置的内部结构示意图;图8示出了本申请实施例中的另一种膜制作装置的内部结构示意图;图9为本申请实施例中的再一种膜制作装置的结构示意图;图10为本申请实施例中的再一种膜制作装置的结构示意图;图11示出了本申请实施例中的膜制作工艺的流程示意图。图标:100-容器;101-第一端;102-第二端;1021-开口;1012-排风口;103-容纳腔;200-盖;202-台阶槽;201-进风口;300-第一管本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种膜制作装置,其特征在于,包括:具有容纳腔的容器,所述容器由第一端至第二端延伸而成,所述第二端形成有与所述容纳腔连通的开口;承载器,所述承载器被构造来以能够旋转且邻近所述第一端的方式容纳于所述容纳腔内;盖,所述盖连接于所述容器的所述第二端以封闭所述开口且能够可选地暴露所述开口;用于从所述容器外引导气流进入所述容纳腔内的第一管,所述第一管的管腔与所述容纳腔连通,所述第一管连接于所述容器的所述第二端或所述盖;用于从所述容纳腔内引导气流排出到所述容器外的第二管,所述第二管的管腔与所述容纳腔连通,所述第二管连接于所述容器的所述第一端。

【技术特征摘要】
1.一种膜制作装置,其特征在于,包括:具有容纳腔的容器,所述容器由第一端至第二端延伸而成,所述第二端形成有与所述容纳腔连通的开口;承载器,所述承载器被构造来以能够旋转且邻近所述第一端的方式容纳于所述容纳腔内;盖,所述盖连接于所述容器的所述第二端以封闭所述开口且能够可选地暴露所述开口;用于从所述容器外引导气流进入所述容纳腔内的第一管,所述第一管的管腔与所述容纳腔连通,所述第一管连接于所述容器的所述第二端或所述盖;用于从所述容纳腔内引导气流排出到所述容器外的第二管,所述第二管的管腔与所述容纳腔连通,所述第二管连接于所述容器的所述第一端。2.根据权利要求1所述的膜制作装置,其特征在于,所述第一管具有送风口,所述送风口朝向所述承载器的中部;优选地,所述承载器定义有过圆心的垂线,所述第一管的轴线与所述承载器的所述垂线之间具有夹角,且所述夹角为0~60度。3.根据权利要求1或2所述的膜制作装置,其特征在于,所述第一管能够相对所述承载器运动;优选地,所述第一管能够相对所述承载器水平和/或竖直运动;更优选地,所述第一管的送风口与所述承载器的上表面之间具有距离;进一步优选地,所述距离为1~10cm。4.根据权利要求1所述的膜制作装置,其特征在于,所述第一管具有送风口,所述送风口呈扩散状或收缩状;优选地,所述扩散状和所述收缩状能够可选且渐变地调节或切换;更优选地,所述第一管的所述送风口在所述承载器的投影覆盖所述承载器的中心区域;进一步优选地,所述中心区域的面积是所述承载器的面积的50%。5.根据权利要求1所述的膜制作装置,其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员:肖鹤鸣
申请(专利权)人:纳晶科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:浙江,33

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