电子元件输送装置以及电子元件测试装置制造方法及图纸

提供一种电子元件输送装置以及电子元件测试装置，使用例如摄像机等成像部，能够正确判断载置部上是否载置有电子元件。电子元件输送装置向测试电子元件的测试部输送电子元件，具备：载置部，载置电子元件；成像部，对载置部成像；激光照射部，向载置部照射激光；控制部，具有判断载置部是否载置有电子元件的判断部，并且在判断部进行判断时，控制成像部和激光照射部的操作；判断部在判断载置部是否载置有电子元件时，在来自激光照射部的激光照射载置部的状态下，通过成像部对载置部成像，获得载置部中的灰度图像，根据灰度图像中的亮度的边界部分，判断是否载置有电子元件。

Electronic Component Conveyor and Electronic Component Testing Device

【技术实现步骤摘要】
电子元件输送装置以及电子元件测试装置
本专利技术涉及一种电子元件输送装置以及电子元件测试装置。
技术介绍
传统技术上，已知一种对例如IC器件等电子元件(被测试电子元件)进行电气试验的电子元件试验装置(例如，专利文献1)。在该专利文献1记载的电子元件试验装置中，对电子元件进行试验时，配置为电子元件载置于插座，并进行试验。此外，在专利文献1记载的电子元件试验装置中，对电子元件进行试验之前，判断插座上是否残留有电子元件、即判断是否存在电子元件。该判断的必要性在于，例如，假设插座上残留有电子元件，该残留电子元件可能与接下来试验的电子元件重叠，无法获得正确的试验结果。然后，在专利文献1记载的电子元件试验装置中，通过获得插座的图像，比较该图像和判断基准图像，根据该比较结果，进行是否存在电子元件的判断。然而，在专利文献1记载的电子元件试验装置中，例如成像环境(设置有插座的空间)较暗时，用于判断电子元件是否存在的图像整体变黑，电子元件在图像中几乎完全没有反射。此时，不能与判断基准图像进行比较，结果，具有不能正确地进行电子元件是否存在的判断的问题。现有技术文献专利文献专利文献1：国际公开第07/017953号。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述课题的至少一部分而进行的，可以通过以下实现。本专利技术的电子元件输送装置，其特征在于，向测试电子元件的测试部输送所述电子元件，具备：载置部，载置所述电子元件；成像部，对所述载置部成像；激光照射部，向所述载置部照射激光；控制部，具有判断所述载置部是否载置有所述电子元件的判断部，在通过所述判断部进行判断时，控制所述成像部以及所述激光照射部的操作。所述判断部在判断所述载置部上是否载置有所述电子元件时，在来自所述激光照射部的所述激光照射所述载置部的状态下，通过所述成像部对所述载置部成像，获得所述载置部中的灰度图像，根据所述灰度图像中的亮度的边界部分，判断是否载置有所述电子元件。从而，使用例如摄像机等的成像部，对是否载置有电子元件的判断对象的实际灰度图像进行成像，通过判断部能够提取该实际的实际灰度图像的亮度的边界部分。然后，通过例如模板匹配方法，根据所述提取的亮度的边界部分，能够正确地判断载置部上是否载置有电子元件。本专利技术的电子元件输送装置中，优选的是，所述判断部在判断所述载置部上是否载置有所述电子元件时，在来自所述激光照射部的所述激光照射所述载置部的状态下，通过所述成像部对所述载置部成像，获得所述载置部中的灰度图像，提取所述灰度图像中的亮度的边界部分，根据所述边界部分的提取结果，判断是否载置有所述电子元件。从而，使用例如摄像机等的成像部，对是否载置有电子元件的判断对象的实际灰度图像进行成像，通过判断部能够提取该实际的实际灰度图像的亮度的边界部分。然后，通过例如模板匹配方法，根据所述提取的亮度的边界部分，能够正确地判断载置部上是否载置有电子元件。之后，在电子元件输送装置中，能够安全地进行下一步操作(例如，对未载置电子元件状态的载置部的电子元件的载置操作)。本专利技术的电子元件输送装置中，优选的是，具备预先存储基准灰度图像的存储部，所述基准灰度图像是判断所述载置部是否载置有所述电子元件的基准；所述判断部比较所述基准灰度图像和所述灰度图像，判断是否载置有所述电子元件。从而，能够正确地判断载置部上是否载置有电子元件。本专利技术的电子元件输送装置中，优选的是，所述基准灰度图像包括第一基准灰度图像和第二基准灰度图像，所述第一基准灰度图像是在所述载置部载置有所述电子元件的状态下，来自所述激光照射部的所述激光照射所述载置部，通过所述成像部成像而获得，所述第二基准灰度图像是在所述载置部未载置所述电子元件的状态下，来自所述激光照射部的所述激光照射所述载置部，通过所述成像部成像而获得。从而，能够正确地判断载置部上是否载置有电子元件。本专利技术的电子元件输送装置中，优选的是，所述第一基准灰度图像包括所述激光的照射条件不同的多个图像。从而，能够正确地判断载置部上是否载置有电子元件。本专利技术的电子元件输送装置中，优选的是，所述激光照射部被配置为，所述激光在所述载置部上的照射形状是线状。从而，激光可适合用作成像时的照明。在本专利技术的电子元件输送装置中，优选的是，所述载置部具有收纳所述电子元件的凹陷部，所述照射形状是线状的所述激光以跨越所述凹陷部的方式照射。从而，激光可适合用作成像时的照明。本专利技术的电子元件输送装置中，优选的是，所述激光照射部被配置为，所述激光在所述载置部的照射形状是点状。从而，激光可适合用作成像时的照明。本专利技术的电子元件输送装置中，优选的是，所述载置部具有收纳所述电子元件的凹陷部，向所述凹陷部的底部照射所述照射形状是点状的所述激光。从而，激光可适合用作成像时的照明。本专利技术的电子元件输送装置中，优选的是，具备辅助光照射部，通过所述成像部对所述载置部成像时，向所述载置部照射比所述激光照度低的光。从而，例如，对载置部成像时，能够防止周围环境较暗，使得判断是否载置有电子元件时，能够视觉上识别各部进行的操作状态。本专利技术的电子元件测试装置，其特征在于，具备：载置部，载置所述电子元件；成像部，对所述载置部成像；激光照射部，向所述载置部照射激光；控制部，具有判断所述载置部是否载置有所述电子元件的判断部，在所述判断部进行判断时，控制所述成像部和所述激光照射部的操作。所述判断部在判断所述载置部是否载置有所述电子元件时，在来自所述激光照射部的所述激光照射所述载置部的状态下，通过所述成像部成像所述载置部，获得所述载置部中的灰度图像，根据所述灰度图像中的亮度的边界部分，判断是否载置有所述电子元件。从而，使用例如摄像机等的成像部，对是否载置有电子元件的判断对象的实际灰度图像进行成像，通过判断部能够提取该实际的实际灰度图像的亮度的边界部分。然后，通过例如模板匹配方法，根据所述提取的亮度的边界部分，能够正确地判断载置部上是否载置有电子元件。此外，能够输送电子元件到测试部，使得测试部能够对该电子元件进行测试。此外，能够从测试部输送已经测试的电子元件。附图说明图1是示出从正面观察本专利技术的电子元件测试装置的第一实施方式的概略立体图。图2是示出图1所示的电子元件测试装置的动作状态的概略平面图。图3是示出图1所示的电子元件测试装置的主要部分的框图。图4是示出判断在位于图1所示的电子元件测试装置的测试区域内的测试部上是否载置有IC器件的状态的局部垂直剖面图。图5是示出判断在位于图1所示的电子元件测试装置的测试区域内的测试部上是否载置有IC器件的状态的局部垂直剖面图。图6是示出用于判断测试部上是否载置有IC器件时的第一基准灰度图像(一例)。图7是示出用于判断测试部上是否载置有IC器件时的第一基准灰度图像(一例)。图8是示出用于判断测试部上是否载置有IC器件时的第一基准灰度图像(一例)。图9是示出用于判断测试部上是否载置有IC器件时的第二基准灰度图像(一例)。图10是示出判断测试部上是否载置有IC器件时由成像部成像的灰度图像(一例)。图11是示出判断测试部上是否载置有IC器件时由成像部成像的灰度图像(一例)。图12是示出判断测试部上是否载置有IC器件时由成像部成像的灰度图像(一例)。图13是示出判断测试部上是否载置有IC器件时由成像部成像的灰度图像(一例)。图本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子元件输送装置，其特征在于，向测试电子元件的测试部输送所述电子元件，所述电子元件输送装置具备：载置部，载置所述电子元件；成像部，对所述载置部成像；激光照射部，向所述载置部照射激光；以及控制部，具有判断所述载置部是否载置有所述电子元件的判断部，在通过所述判断部进行判断时，控制所述成像部以及所述激光照射部的操作；所述判断部在判断所述载置部是否载置有所述电子元件时，在来自所述激光照射部的所述激光照射所述载置部的状态下，通过所述成像部对所述载置部成像，获得所述载置部中的灰度图像，根据所述灰度图像中的亮度的边界部分，判断是否载置有所述电子元件。

【技术特征摘要】
2017.11.02 JP 2017-2125111.一种电子元件输送装置，其特征在于，向测试电子元件的测试部输送所述电子元件，所述电子元件输送装置具备：载置部，载置所述电子元件；成像部，对所述载置部成像；激光照射部，向所述载置部照射激光；以及控制部，具有判断所述载置部是否载置有所述电子元件的判断部，在通过所述判断部进行判断时，控制所述成像部以及所述激光照射部的操作；所述判断部在判断所述载置部是否载置有所述电子元件时，在来自所述激光照射部的所述激光照射所述载置部的状态下，通过所述成像部对所述载置部成像，获得所述载置部中的灰度图像，根据所述灰度图像中的亮度的边界部分，判断是否载置有所述电子元件。2.根据权利要求1所述的电子元件输送装置，其特征在于，所述判断部在判断所述载置部是否载置有所述电子元件时，在来自所述激光照射部的所述激光照射所述载置部的状态下，通过所述成像部对所述载置部成像，获得所述载置部中的灰度图像，提取所述灰度图像中的亮度的边界部分，根据所述边界部分的提取结果，判断是否载置有所述电子元件。3.根据权利要求1所述的电子元件输送装置，其特征在于，所述电子元件输送装置具备预先存储基准灰度图像的存储部，所述基准灰度图像是判断所述载置部是否载置有所述电子元件的基准，所述判断部比较所述基准灰度图像和所述灰度图像，判断是否载置有所述电子元件。4.根据权利要求3所述的电子元件输送装置，其特征在于，所述基准灰度图像包括第一基准灰度图像和第二基准灰度图像，所述第一基准灰度图像是在所述载置部载置有所述电子元件的状态下，来自所述激光照射部的所述激光照射所述载置部，通过所述成像部成像而获得，所述第二基准灰度图像是在所述载置部未载置所述电子元件的状态下，来自所述激光照射部的所述激光照射所述载置部，通过所述成像部成像而获得。5.根据权利要求4所述的电子元件输送装置，其特征在于，所述第一基准灰度图像包括所述激光的照射条件不同的多个图像。6.根据权利要求1所述的电子元件输送装置，其特征在于，所述激光照射部被配置为所述激光在所述载置部上的照射形状是线状。7.根据权利要求6所述的电子元件输送装置，其特征在于，所述载置部具有收纳所述电子元件的凹陷部，所述照射形状是线状的所述激光以跨越所述凹陷部的方式照射。8.根据权利要求1所述的电子元件输送装置，其特征在于，所述激光照射部被配置为所述激光在所述载置部上的照射形状是点状。9.根据权利要求8所述的电子元件输送装置，其特征在于，所述载置部具有收纳所述电子元件的凹陷部，向所述凹陷部的底部照射所述照射形状是点状的所述激光。10.根据权利要求1所述的电子元件输送装置，其特征在于，所述电子元件输送装置具备辅助光照射部，通过所述成像部对所述载置部成像时...

【专利技术属性】
技术研发人员：实方崇仁，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP