A hardness tester uses an indenter to load a predetermined test force and form an indentation on the surface of the sample, and measures the hardness of the sample by measuring the dimension of the indentation. The hardness tester includes a CCD camera that acquires an image of the surface of the sample before and after the indentation is formed. The CPU can perform multiple indentation region extraction processes using different methods, and each indentation region extraction process extracts the indentation region based on the image acquired by the CCD camera. The CPU also determines whether the indentation region extracted by the multi-indentation region extraction process matches the predefined reference indentation region, and calculates the hardness of the sample based on the indentation region determined to be matched.
【技术实现步骤摘要】
硬度测试器和程序相关申请的交叉引用本申请依据35U.S.C.§119要求于2017年10月30日提交的日本申请No.2017-209201的优先权,其公开内容通过引用明确地整体并入本文。
本专利技术涉及硬度测试器和程序。
技术介绍
已知传统的硬度测试器,其基于通过用预定的测试力将压头压在样本(工件)上而形成的压痕的维度来测量样本的硬度。例如,Vickers硬度测试器在通过将方形金字塔形压头压入样本表面形成压痕之后测量压痕的对角线长度,并基于压痕的对角线的测量长度来计算硬度。对于上述硬度测试器,已经提出了测量压痕顶点的位置的技术,该技术通过执行以下处理(背景减法处理)来更容易地提取压痕区域:在样本中形成压痕之前(印模之前)捕获样本表面的图像以获得背景图像,并且在样本中形成压痕之后(印模之后)捕获样本表面的图像以获得测量图像,并且从测量图像中减去背景图像以获得差异图像(例如,参见日本专利特许公开No.H09-210893)。但是,日本专利特许公开No.H09-210893中描述的技术无修改地使用亮度信息,因此对于要测量的图像具有复杂亮度分布的样本(例如,诸如对于已经雕刻(蚀刻)的样本、保留大量切割痕迹的样本等),简单地进行图像相减可能无法准确地提取压痕区域。
技术实现思路
本专利技术提供了能够以良好的准确度从测量图像中提取压痕区域,并且能够提高测量结果的准确度的硬度测试器和程序。为了解决上述问题,根据本专利技术的硬度测试器是使用压头加载预定的测试力并在样本的表面中形成压痕,并通过测量压痕的维度来测量样本的硬度的硬度测试器。硬度测试器包括:图像获取器,其在形成压痕之 ...
【技术保护点】
1.一种硬度测试器,其加载预定测试力并使用压头在样本的表面中形成压痕,并且通过测量所述压痕的维度来测量所述样本的硬度,所述硬度测试器包括处理器和存储指令的存储器,作为当所述处理器执行存储在所述存储器中的所述指令时的配置,所述硬度测试器还包括:图像获取器,在形成所述压痕之前和之后获取所述样本的表面的图像;多个压痕区域提取器,其使用相互不同的方法,所述多个压痕区域提取器中的每个压痕区域提取器被配置为基于由所述图像获取器获取的所述图像来提取压痕区域;确定器,其确定由所述多个压痕区域提取器提取的所述压痕区域是否与预定义的参考压痕条件匹配;以及硬度计算器,其基于由所述确定器确定的压痕区域与所述预定义的参考压痕条件匹配来计算所述样本的硬度。
【技术特征摘要】
2017.10.30 JP 2017-2092011.一种硬度测试器,其加载预定测试力并使用压头在样本的表面中形成压痕,并且通过测量所述压痕的维度来测量所述样本的硬度,所述硬度测试器包括处理器和存储指令的存储器,作为当所述处理器执行存储在所述存储器中的所述指令时的配置,所述硬度测试器还包括:图像获取器,在形成所述压痕之前和之后获取所述样本的表面的图像;多个压痕区域提取器,其使用相互不同的方法,所述多个压痕区域提取器中的每个压痕区域提取器被配置为基于由所述图像获取器获取的所述图像来提取压痕区域;确定器,其确定由所述多个压痕区域提取器提取的所述压痕区域是否与预定义的参考压痕条件匹配;以及硬度计算器,其基于由所述确定器确定的压痕区域与所述预定义的参考压痕条件匹配来计算所述样本的硬度。2.如权利要求1所述的硬度测试器,其中:所述多个压痕区域提取器被布置在预定义的执行层级中,该预定义的执行层级被配置为执行所述压痕区域提取处理,以及所述确定器确定每次根据所述执行层级由所述多个压痕区域提取器中的一个压痕区域提取器提取压痕区域时,是否匹配所述参考压痕条件。3.如权利要求2所述的硬度测试器,其中所述执行层级是基于提前获得的结果,优先化具有利用所述多个压痕区域提取器中的每一个压痕区域提取器使用具有预定硬度的标准测试件提取压痕区域的更大提取准确度的项的次序。4.如权利要求1所述的硬度测试器,其中:所述图像获取器还在形成所述压痕之前获取所述样本的所述表面的图像作为背景图像,并且在所述压痕形成之后获取所述样本的所述表面的图像作为测量图像,以及所述多个压痕区域提取器包括:第一压痕区域提取器,其基于所述背景图像与所述测量图像的差异图像来提取压痕区域;第二压痕区域提取器,其将所述背景图像划分为多个块并为每个划分的块创建亮度信息的直方图,将所述测量图像划分为多个块,并且对于每个划分的块中的每个像素,参考所述背景图像中与包含所述像素的块对应的块处创建的所述直方图,以确定所述像素与所述背景图像的相似度,并基于所述确定的所述结果来提取所述压痕区域;以及第三压痕区域提取器,其通过从多个预定比例因子中选择的比例因子来缩小所述测量图像以生成缩小图像,并且对所述缩小图像执行图案匹配处理,以提取所述压痕区域。5.如权利要求2所述的硬度测试器,其中:所述图像获取器还在形成所述压痕之前获取所述样本的所述表面的图像作为背景图像,并且在所述压痕形成之后获取所述样本的所述表面的图像作为测量图像,以及所述多个压痕区域提取器包括:第一压痕区域提取器,其基于所述背景图像与所述测量图像的差异图像来提取压痕区域;第二压痕区域提取器,其将所述背景图像划分为多个块并为每个划分的块创建亮度信息的直方图,将所述测量图像划分为多个块,并且对于每个划分的块中的每个像素,参考所述背景图像中与包含所述像素的块对应的块处创建的所述直方图,以确定所述像素与所述背景图像的相似度,并基于所述确定的所述结果来提取所述压痕区域;以及第三压痕区域提取器,其通过从多个预定比例因子中选择的比例因子来缩小所述测量图像以生成缩小图像,并且对所述缩小图像执行图案匹配处理,以提取所述压痕区域。6.如权利要求3所述的硬度测试器,其中:所述图像获取器还在形...
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