玻璃母材的制造装置及制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种在制造玻璃母材时通过压力计进行了反应容器内或者排气管内的压力测定的情况下，能够抑制压力计的腐蚀、连接有压力计的配管的堵塞的玻璃母材的制造装置及制造方法。在玻璃母材(10)的制造装置(1)中，在用于将反应容器(2)内的气体排出的排气管(3)具有用于对排气管(3)内的压力进行测定的压力计(31)，压力计(31)通过配管(32)而与排气管(3)连接，配管(32)在压力计(31)和排气管(3)之间连接有非腐蚀性气体供给部(34)，非腐蚀性气体供给部(34)构成为从压力计(31)侧朝向排气管(3)侧，使非腐蚀性气体流向配管(32)的内部。

Manufacturing Device and Method of Glass Base Material

The invention provides a manufacturing device and a manufacturing method of glass base material, which can restrain the corrosion of the pressure gauge and block the pipes connected with the pressure gauge when the pressure in the reaction vessel or the exhaust pipe is measured by a pressure gauge during the manufacture of glass base material. In the manufacturing device (1) of glass base material (10), the exhaust pipe (3) used for discharging gas from the reaction vessel (2) has a pressure gauge (31) for measuring the pressure in the exhaust pipe (3), and the pressure gauge (31) is connected with the exhaust pipe (3) through a piping (32). The piping (32) is connected with a non-corrosive gas supply part (34) and a non-corrosive gas supply part (34) between the pressure gauge (31) and the exhaust pipe (3). ) The utility model is composed of a pressure gauge (31) side facing the exhaust pipe (3) side, and a non-corrosive gas flow is directed to the inner part of the distribution pipe (32).

【技术实现步骤摘要】
玻璃母材的制造装置及制造方法
本专利技术涉及玻璃母材的制造装置及制造方法。
技术介绍
在专利文献1中，在现有技术的说明中，记载有通过精密微压差计对反应容器内的压力和容器外的压力的压差进行检测的结构。在专利文献2中，记载有通过压力计对排气管内的压力进行测定的结构。专利文献1：日本特开平9－40439号公报专利文献2：国际公开第2002/102729号小册子在制造玻璃母材时通过压力计进行了反应容器内或者排气管内的压力测定的情况下，存在在反应容器内产生的腐蚀性气体腐蚀压力计的担忧。另外，有时例如没有沉积于玻璃母材的玻璃微粒悬浮在反应容器内或者排气管内。因此，存在该玻璃微粒在设置有压力计的配管内沉积而将配管堵塞，无法准确地对反应容器内或者排气管内的压力进行测定的担忧。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种玻璃母材的制造装置及制造方法，其在制造玻璃母材时通过压力计进行了反应容器内或者排气管内的压力测定的情况下，能够抑制压力计的腐蚀、连接有压力计的配管的堵塞。本专利技术的一个方式所涉及的玻璃母材的制造装置，其在用于将反应容器内的气体排出的排气管具有用于对所述排气管内的压力进行测定的压力计，在该玻璃母材的制造装置中，所述压力计通过配管而与所述排气管连接，所述配管在所述压力计和所述排气管之间连接有非腐蚀性气体供给部，所述非腐蚀性气体供给部构成为，从所述压力计侧朝向所述排气管侧，使非腐蚀性气体流向所述配管的内部。本专利技术的另一个方式所涉及的玻璃母材的制造装置，其具有用于对反应容器内的压力进行测定的压力计，在该玻璃母材的制造装置中，所述压力计通过配管而与所述反应容器连接，所述配管在所述压力计和所述反应容器之间连接有非腐蚀性气体供给部，所述非腐蚀性气体供给部构成为，从所述压力计侧朝向所述反应容器侧，使非腐蚀性气体流向所述配管的内部。本专利技术的一个方式所涉及的玻璃母材的制造方法，其通过在用于将反应容器内的气体排出的排气管设置的压力计，对所述排气管内的压力进行测定，在该玻璃母材的制造方法中，所述压力计通过配管而与所述排气管连接，在从所述压力计侧朝向所述排气管侧，在所述配管的内部流动非腐蚀性气体的状态下进行压力测定。本专利技术的另一个方式所涉及的玻璃母材的制造方法，其通过在反应容器设置的压力计，对所述反应容器内的压力进行测定，在该玻璃母材的制造方法中，所述压力计通过配管而与所述反应容器连接，在从所述压力计侧朝向所述反应容器侧，在所述配管的内部流动非腐蚀性气体的状态下进行压力测定。专利技术的效果根据上述专利技术的玻璃母材的制造装置及制造方法，在制造玻璃母材时通过压力计进行了反应容器内或者排气管内的压力测定的情况下，能够抑制压力计的腐蚀、连接有压力计的配管的堵塞。附图说明图1是表示本实施方式所涉及的玻璃母材的制造装置的一个例子的图。图2是表示本实施方式所涉及的玻璃母材的制造装置的另一个例子的图。图3是表示将气体供给至配管时的压力测定值和没有供给时的压力测定值的关系的曲线图。图4是表示通过本实施方式所涉及的玻璃母材的制造方法制造出玻璃母材时的排气管内的压力的变动的一个例子的曲线图。图5是表示通过现有的玻璃母材的制造方法制造出玻璃母材时的排气管内的压力的变动的一个例子的曲线图。标号的说明1、1A：光纤用多孔质玻璃母材的制造装置2：反应容器3：排气管4：排气气体处理部10：玻璃母材23：排气口31：压力计32：配管33：气体导入配管34：非腐蚀性气体供给部34A：开口部(非腐蚀性气体供给部)35：外部气体调节阀36：流量计37：导入量控制部38：排气量控制部38a：换算装置39：排气量调节阀具体实施方式(本专利技术的实施方式的说明)首先，列举本专利技术的实施方式而进行说明。本专利技术的一个方式所涉及的玻璃母材的制造装置，(1)其在用于将反应容器内的气体排出的排气管具有用于对所述排气管内的压力进行测定的压力计，在该玻璃母材的制造装置中，所述压力计通过配管而与所述排气管连接，所述配管在所述压力计和所述排气管之间连接有非腐蚀性气体供给部，所述非腐蚀性气体供给部构成为，从所述压力计侧朝向所述排气管侧，使非腐蚀性气体流向所述配管的内部。另外，本专利技术的另一个方式所涉及的玻璃母材的制造装置，(2)其具有用于对反应容器内的压力进行测定的压力计，在该玻璃母材的制造装置中，所述压力计通过配管而与所述反应容器连接，所述配管在所述压力计和所述反应容器之间连接有非腐蚀性气体供给部，所述非腐蚀性气体供给部构成为，从所述压力计侧朝向所述反应容器侧，使非腐蚀性气体流向所述配管的内部。根据上述(1)或者(2)的结构，非腐蚀性气体供给部在制造玻璃母材时，使非腐蚀性气体流向连接有压力计的配管的内部，由此能够抑制压力计的腐蚀、设置有压力计的配管的堵塞。(3)可以是所述非腐蚀性气体供给部是在所述配管设置的开口部，所述开口部能够导入外部气体而作为所述非腐蚀性气体。根据上述结构，能够通过简易的结构而构成非腐蚀性气体供给部。(4)可以是所述非腐蚀性气体供给部能够将所述非腐蚀性气体的流量控制为恒定。根据上述结构，在连接有压力计的配管流过的非腐蚀性气体的流量恒定，因此能够减小压力计的测定值的变化量。(5)也可以具有换算装置，该换算装置基于在所述配管内流动所述非腐蚀性气体的状态下测定出的压力的测定值和在所述配管内不流动非腐蚀性气体的状态下测定出的压力的测定值的关系，根据在所述配管内流动所述非腐蚀性气体的状态下使用所述压力计测定出的测定值，对所述反应容器内的压力进行推定。根据上述结构，能够根据在连接有压力计的配管内流动非腐蚀性气体的状态下进行测定得到的测定值，通过换算装置对反应容器内的实际的压力进行推定。本专利技术的一个方式所涉及的玻璃母材的制造方法，(6)其通过在用于将反应容器内的气体排出的排气管设置的压力计，对所述排气管内的压力进行测定，在该玻璃母材的制造方法中，所述压力计通过配管而与所述排气管连接，在从所述压力计侧朝向所述排气管侧，在所述配管的内部流动非腐蚀性气体的状态下进行压力测定。另外，本专利技术的另一个方式所涉及的玻璃母材的制造方法，(7)其通过在反应容器设置的压力计，对所述反应容器内的压力进行测定，在该玻璃母材的制造方法中，所述压力计通过配管而与所述反应容器连接，在从所述压力计侧朝向所述反应容器侧，在所述配管的内部流动非腐蚀性气体的状态下进行压力测定。根据上述(6)或者(7)的制造方法，在制造玻璃母材时，使非腐蚀性气体流向连接有压力计的配管的内部，由此能够抑制压力计的腐蚀、连接有压力计的配管的堵塞。(8)可以是所述非腐蚀性气体为外部气体，在所述配管设置开口部，从所述开口部吸入所述外部气体，由此在所述配管的内部流动所述外部气体的状态下进行压力测定。根据上述方法，能够通过简易的结构，使作为非腐蚀性气体的外部气体流向配置有压力计的配管的内部。(9)可以是在所述配管的内部流动恒定的流量的非腐蚀性气体的状态下进行压力测定。根据上述方法，在连接有压力计的配管流过的非腐蚀性气体的流量恒定，因此能够减小压力计的测定值的变化量。(10)可以是基于在所述配管内流动所述非腐蚀性气体的状态下测定出的测定值和在所述配管内不流动所述非腐蚀性气体的状态下测定出的测定值的关系，在所述配管内流动所述非腐蚀性气体的状态下使用所述压力计进行测定，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种玻璃母材的制造装置，其在用于将反应容器内的气体排出的排气管具有用于对所述排气管内的压力进行测定的压力计，在该玻璃母材的制造装置中，所述压力计通过配管而与所述排气管连接，所述配管在所述压力计和所述排气管之间连接有非腐蚀性气体供给部，所述非腐蚀性气体供给部构成为，从所述压力计侧朝向所述排气管侧，使非腐蚀性气体流向所述配管的内部。

【技术特征摘要】
2017.10.30 JP 2017-2091771.一种玻璃母材的制造装置，其在用于将反应容器内的气体排出的排气管具有用于对所述排气管内的压力进行测定的压力计，在该玻璃母材的制造装置中，所述压力计通过配管而与所述排气管连接，所述配管在所述压力计和所述排气管之间连接有非腐蚀性气体供给部，所述非腐蚀性气体供给部构成为，从所述压力计侧朝向所述排气管侧，使非腐蚀性气体流向所述配管的内部。2.一种玻璃母材的制造装置，其具有用于对反应容器内的压力进行测定的压力计，在该玻璃母材的制造装置中，所述压力计通过配管而与所述反应容器连接，所述配管在所述压力计和所述反应容器之间连接有非腐蚀性气体供给部，所述非腐蚀性气体供给部构成为，从所述压力计侧朝向所述反应容器侧，使非腐蚀性气体流向所述配管的内部。3.根据权利要求1或2所述的玻璃母材的制造装置，其中，所述非腐蚀性气体供给部是设置于所述配管且能够将外部气体作为所述非腐蚀性气体导入的开口部，或者是与所述配管连接且能够导入所述非腐蚀性气体的气体供给装置。4.根据权利要求1至3中任一项所述的玻璃母材的制造装置，其中，所述非腐蚀性气体供给部能够将所述非腐蚀性气体的流量控制为恒定。5.根据权利要求1至4中任一项所述的玻璃母材的制造装置，其中，具有换算装置，该换算装置基于在所述配管内流动所述非腐蚀性气体的状态下测定出的压力的测定值和在所述配管内不流动非腐蚀性气体的状态下测定出的压力的测定值的关系，根据在所述配管内流动所述非腐蚀性气...

【专利技术属性】
技术研发人员：长谷川慎治，铃木智哉，
申请(专利权)人：住友电气工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP