The invention discloses a sample tray for ultra-high vacuum downward sample transfer and its manufacturing method, which relates to the technical field of ultra-high vacuum downward sample transfer, in order to solve the technical problems of low sample transfer efficiency and easy sample dropping in the existing ultra-high vacuum sample tray. The manufacturing method of the sample tray for ultra-high vacuum downward sample transmission comprises the following steps: adopting 316 stainless steel, 316L stainless steel or 304 stainless steel material to form a disc body, a rotating shaft and a prop through machining, stamping or cutting, and forming the disc body and a rotating shaft in one body, with multiple mounting holes uniformly arranged around the disc body; adopting oxygen-free copper material to machine, punch or cut. The grab plate is formed and connected with the disc body through the installation hole; the support is connected with the grab plate by welding, and the welding seam is polished smooth and flat.
【技术实现步骤摘要】
超高真空下传样用样品托盘及其制造方法
本专利技术涉及超高真空下传样
,特别涉及一种超高真空下传样用样品托盘及其制造方法。
技术介绍
目前,超高真空下的样品托盘的结构多为直线型,最多可同时承载两个样品托。本申请专利技术人发现,现有的样品托盘主要具有以下几点缺陷:一、最多只能同时承载两个样品托,直接限制了研究的效率;二、样品的传递方式只能是单一样品托传递,不能做到整体输运;具体地,首先是样品托盘为直线型,很难做到与传递装置的脱附动作,即很难与传递装置自由的组装固定和脱卸,因此大多设计成与传递装置组合为一体,只有样品托可以自由的脱附;其次,由于整体输运的时候,直线型的结构非常容易发生样品台的摇摆或者不稳,造成样品的脱落。三、直线型样品托盘容易造成样品的混淆,因为在管道中视野受限,并排的多个样品很容易发生混淆。因此,如何提供一种超高真空下传样用样品托盘及其制造方法,能够同时承载多个样品,有效提高传样效率,且有效防止样品脱落,已成为本领域技术人员亟需解决的技术问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种超高真空下传样用样品托盘及其制造方法,以解决现有的超高真空下样品托盘传样效率低且样品容易脱落的技术问题。本专利技术提供一种超高真空下传样用样品托盘的制造方法,所述超高真空下传样用样品托盘包括:盘体,所述盘体的中心位置设有旋转轴,所述盘体的边缘沿周向间隔均匀设有多个抓盘,每个所述抓盘远离所述盘体的一侧设有支柱,所述支柱沿所述抓盘的径向延伸,且相邻两个所述抓盘之间能够装配样品托,所述样品托上放置有样品;所述盘体材料采用316不锈钢、316L不锈钢或304不锈钢,所 ...
【技术保护点】
1.一种超高真空下传样用样品托盘的制造方法,其特征在于,所述超高真空下传样用样品托盘包括:盘体,所述盘体的中心位置设有旋转轴,所述盘体的边缘沿周向间隔均匀设有多个抓盘,每个所述抓盘远离所述盘体的一侧设有支柱,所述支柱沿所述抓盘的径向延伸,且相邻两个所述抓盘之间能够通过插拔的方式装配样品托,所述样品托上放置有样品;所述盘体材料采用316不锈钢、316L不锈钢或304不锈钢,所述抓盘材料选用无氧铜;所述超高真空下传样用样品托盘的制造方法包括如下步骤:采用316不锈钢、316L不锈钢或304不锈钢材料通过机加工、冲压或切割形成盘体、旋转轴和支柱,且所述盘体和所述旋转轴一体成型,所述盘体的周边均匀设有多个安装孔;采用无氧铜材料通过机加工、冲压或切割形成抓盘,并通过所述安装孔与所述盘体连接;所述支柱通过焊接的方式与所述抓盘连接。
【技术特征摘要】
1.一种超高真空下传样用样品托盘的制造方法,其特征在于,所述超高真空下传样用样品托盘包括:盘体,所述盘体的中心位置设有旋转轴,所述盘体的边缘沿周向间隔均匀设有多个抓盘,每个所述抓盘远离所述盘体的一侧设有支柱,所述支柱沿所述抓盘的径向延伸,且相邻两个所述抓盘之间能够通过插拔的方式装配样品托,所述样品托上放置有样品;所述盘体材料采用316不锈钢、316L不锈钢或304不锈钢,所述抓盘材料选用无氧铜;所述超高真空下传样用样品托盘的制造方法包括如下步骤:采用316不锈钢、316L不锈钢或304不锈钢材料通过机加工、冲压或切割形成盘体、旋转轴和支柱,且所述盘体和所述旋转轴一体成型,所述盘体的周边均匀设有多个安装孔;采用无氧铜材料通过机加工、冲压或切割形成抓盘,并通过所述安装孔与所述盘体连接;所述支柱通过焊接的方式与所述抓盘连接。2.一种超高真空下传样用样品托盘,其特征在于,包括:盘体,所述盘体的中心位置设有旋转轴,所述盘体的边缘沿周向间隔均匀设有多个抓盘,每个所述抓盘远离所述盘体的一侧设有支柱,所述支柱沿所述抓盘的径向延伸,且相邻两个所述抓盘之间能够通过插拔的方式装配样品托,所述样品托上放置有样品;所述盘体材料采用316不锈钢、316L不锈钢或304不锈钢,所述抓盘材料选用无氧铜。3.根据权利要求2所述的超高真空下传样用样品托盘,其特征在于,所述盘体采用正多边形结...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘大猛,张晨辉,王婷,庞华,雒建斌,
申请(专利权)人:清华大学,
类型:发明
国别省市:北京,11
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