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超高真空下传样用样品托盘及其制造方法技术

技术编号:21017041 阅读:87 留言:0更新日期:2019-05-03 23:58
本发明专利技术公开一种超高真空下传样用样品托盘及其制造方法,涉及超高真空下传样技术领域,以解决现有的超高真空下样品托盘传样效率低且样品容易脱落的技术问题。本发明专利技术所述的超高真空下传样用样品托盘的制造方法包括如下步骤:采用316不锈钢、316L不锈钢或304不锈钢材料通过机加工、冲压或切割形成盘体、旋转轴和支柱,且盘体和旋转轴一体成型,盘体的周边均匀设有多个安装孔;采用无氧铜材料通过机加工、冲压或切割形成抓盘,并通过安装孔与盘体连接;支柱通过焊接的方式与抓盘连接,并将焊缝打磨光滑、平整。

Sample Pallet for Ultra-High Vacuum Downward Sample Transfer and Its Manufacturing Method

The invention discloses a sample tray for ultra-high vacuum downward sample transfer and its manufacturing method, which relates to the technical field of ultra-high vacuum downward sample transfer, in order to solve the technical problems of low sample transfer efficiency and easy sample dropping in the existing ultra-high vacuum sample tray. The manufacturing method of the sample tray for ultra-high vacuum downward sample transmission comprises the following steps: adopting 316 stainless steel, 316L stainless steel or 304 stainless steel material to form a disc body, a rotating shaft and a prop through machining, stamping or cutting, and forming the disc body and a rotating shaft in one body, with multiple mounting holes uniformly arranged around the disc body; adopting oxygen-free copper material to machine, punch or cut. The grab plate is formed and connected with the disc body through the installation hole; the support is connected with the grab plate by welding, and the welding seam is polished smooth and flat.

【技术实现步骤摘要】
超高真空下传样用样品托盘及其制造方法
本专利技术涉及超高真空下传样
,特别涉及一种超高真空下传样用样品托盘及其制造方法。
技术介绍
目前,超高真空下的样品托盘的结构多为直线型,最多可同时承载两个样品托。本申请专利技术人发现,现有的样品托盘主要具有以下几点缺陷:一、最多只能同时承载两个样品托,直接限制了研究的效率;二、样品的传递方式只能是单一样品托传递,不能做到整体输运;具体地,首先是样品托盘为直线型,很难做到与传递装置的脱附动作,即很难与传递装置自由的组装固定和脱卸,因此大多设计成与传递装置组合为一体,只有样品托可以自由的脱附;其次,由于整体输运的时候,直线型的结构非常容易发生样品台的摇摆或者不稳,造成样品的脱落。三、直线型样品托盘容易造成样品的混淆,因为在管道中视野受限,并排的多个样品很容易发生混淆。因此,如何提供一种超高真空下传样用样品托盘及其制造方法,能够同时承载多个样品,有效提高传样效率,且有效防止样品脱落,已成为本领域技术人员亟需解决的技术问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种超高真空下传样用样品托盘及其制造方法,以解决现有的超高真空下样品托盘传样效率低且样品容易脱落的技术问题。本专利技术提供一种超高真空下传样用样品托盘的制造方法,所述超高真空下传样用样品托盘包括:盘体,所述盘体的中心位置设有旋转轴,所述盘体的边缘沿周向间隔均匀设有多个抓盘,每个所述抓盘远离所述盘体的一侧设有支柱,所述支柱沿所述抓盘的径向延伸,且相邻两个所述抓盘之间能够装配样品托,所述样品托上放置有样品;所述盘体材料采用316不锈钢、316L不锈钢或304不锈钢,所述抓盘材料选用无氧铜;所述超高真空下传样用样品托盘的制造方法包括如下步骤:采用316不锈钢、316L不锈钢或304不锈钢材料通过机加工、冲压或切割形成盘体、旋转轴和支柱,且所述盘体和所述旋转轴一体成型,所述盘体的周边均匀设有多个安装孔;采用无氧铜材料通过机加工、冲压或切割形成抓盘,并通过所述安装孔与所述盘体连接;所述支柱通过焊接的方式与所述抓盘连接。相对于现有技术,本专利技术所述的超高真空下传样用样品托盘的制造方法具有以下优势:本专利技术提供的超高真空下传样用样品托盘的制造方法中,超高真空下传样用样品托盘包括:盘体,盘体的中心位置设有旋转轴,盘体的边缘沿周向间隔均匀设有多个抓盘,每个抓盘远离盘体的一侧沿抓盘的径向延伸设有支柱,且相邻两个抓盘之间能够装配样品托,样品托上放置有样品;盘体材料采用316不锈钢、316L不锈钢或304不锈钢,抓盘材料选用无氧铜;超高真空下传样用样品托盘的制造方法包括如下步骤:采用316不锈钢、316L不锈钢或304不锈钢材料通过机加工、冲压或切割形成盘体、旋转轴和支柱,且盘体和旋转轴一体成型,盘体的周边均匀设有多个安装孔;采用无氧铜材料通过机加工、冲压或切割形成抓盘,并通过安装孔与盘体连接;支柱通过焊接的方式与抓盘连接,并将焊缝打磨光滑、平整。由此分析可知,本专利技术提供的超高真空下传样用样品托盘的制造方法中,由于盘体、旋转轴和支柱采用316不锈钢、316L不锈钢或304不锈钢材料通过机加工、冲压或切割形成,抓盘采用无氧铜材料通过机加工、冲压或切割形成,因此在超高真空条件下,上述材料变形小、弹性好,具有超高的加工精度和变形精度,从而能够间接保证样品托盘的运动效果;并且,由于盘体的边缘沿周向间隔均匀设有多个抓盘,且相邻两个抓盘之间能够通过插拔的方式装配样品托,样品托上放置有样品,因此多个样品托能够有效提高传样效率,插拔的连接方式能够有效防止样品脱落。本专利技术还提供一种超高真空下传样用样品托盘,包括:盘体,所述盘体的中心位置设有旋转轴,所述盘体的边缘沿周向间隔均匀设有多个抓盘,每个所述抓盘远离所述盘体的一侧设有支柱,所述支柱沿所述抓盘的径向延伸,且相邻两个所述抓盘之间能够通过插拔的方式装配样品托,所述样品托上放置有样品;所述盘体材料采用316不锈钢、316L不锈钢或304不锈钢,所述抓盘材料选用无氧铜。实际应用时,所述盘体采用正多边形结构,每条边均连接有所述抓盘;多个所述样品托与多个所述抓盘固定后,所述超高真空下传样用样品托盘整体呈近圆形结构。其中,所述盘体采用正六边形结构,每条边均连接有所述抓盘;六个所述样品托与六个所述抓盘固定后,所述超高真空下传样用样品托盘整体呈近圆形结构,且所述盘体上做有数字记号用于区分每个样品位置。具体地,所述抓盘与所述样品托接触的两侧分别设有弹簧片,所述样品托插入所述弹簧片以与所述抓盘可拆卸固定。实际应用时,所述抓盘采用类三角形结构,所述弹簧片采用矩形结构;所述支柱用于与抓取机构连接,实现所述超高真空下传样用样品托盘的移动。其中,所述弹簧片的长度占所述抓盘的边长的一半,且所述弹簧片远离所述盘体设置。具体地,所述样品托采用矩形结构,且所述样品托上设有凹槽,所述样品放置在所述凹槽内。进一步地,所述样品托远离所述盘体的一侧沿所述盘体的径向延伸设有卡爪。更进一步地,所述盘体上设有减重孔。所述超高真空下传样用样品托盘与上述超高真空下传样用样品托盘的制造方法相对于现有技术所具有的优势相同,在此不再赘述。此外,本专利技术所述的超高真空下传样用样品托盘,整体呈近圆形结构,因此结构较紧凑,且在二维平面内为旋转对称结构,因此更有利于样品托盘的传递,进一步有效提高传样效率;并且,支柱能够用于与抓取机构连接,为样品托盘的旋转和平移提供多个抓取点,实现样品托盘的移动,并保证样品托盘的多维度运动方向。附图说明为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的超高真空下传样用样品托盘的制造方法的流程示意图;图2为本专利技术实施例提供的超高真空下传样用样品托盘的结构示意图。图中:1-盘体;2-旋转轴;3-抓盘;4-支柱;5-样品托;6-样品;7-弹簧片;8-卡爪;11-减重孔。具体实施方式下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本专利技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的系统或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本专利技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本专利技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电气连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超高真空下传样用样品托盘的制造方法,其特征在于,所述超高真空下传样用样品托盘包括:盘体,所述盘体的中心位置设有旋转轴,所述盘体的边缘沿周向间隔均匀设有多个抓盘,每个所述抓盘远离所述盘体的一侧设有支柱,所述支柱沿所述抓盘的径向延伸,且相邻两个所述抓盘之间能够通过插拔的方式装配样品托,所述样品托上放置有样品;所述盘体材料采用316不锈钢、316L不锈钢或304不锈钢,所述抓盘材料选用无氧铜;所述超高真空下传样用样品托盘的制造方法包括如下步骤:采用316不锈钢、316L不锈钢或304不锈钢材料通过机加工、冲压或切割形成盘体、旋转轴和支柱,且所述盘体和所述旋转轴一体成型,所述盘体的周边均匀设有多个安装孔;采用无氧铜材料通过机加工、冲压或切割形成抓盘,并通过所述安装孔与所述盘体连接;所述支柱通过焊接的方式与所述抓盘连接。

【技术特征摘要】
1.一种超高真空下传样用样品托盘的制造方法,其特征在于,所述超高真空下传样用样品托盘包括:盘体,所述盘体的中心位置设有旋转轴,所述盘体的边缘沿周向间隔均匀设有多个抓盘,每个所述抓盘远离所述盘体的一侧设有支柱,所述支柱沿所述抓盘的径向延伸,且相邻两个所述抓盘之间能够通过插拔的方式装配样品托,所述样品托上放置有样品;所述盘体材料采用316不锈钢、316L不锈钢或304不锈钢,所述抓盘材料选用无氧铜;所述超高真空下传样用样品托盘的制造方法包括如下步骤:采用316不锈钢、316L不锈钢或304不锈钢材料通过机加工、冲压或切割形成盘体、旋转轴和支柱,且所述盘体和所述旋转轴一体成型,所述盘体的周边均匀设有多个安装孔;采用无氧铜材料通过机加工、冲压或切割形成抓盘,并通过所述安装孔与所述盘体连接;所述支柱通过焊接的方式与所述抓盘连接。2.一种超高真空下传样用样品托盘,其特征在于,包括:盘体,所述盘体的中心位置设有旋转轴,所述盘体的边缘沿周向间隔均匀设有多个抓盘,每个所述抓盘远离所述盘体的一侧设有支柱,所述支柱沿所述抓盘的径向延伸,且相邻两个所述抓盘之间能够通过插拔的方式装配样品托,所述样品托上放置有样品;所述盘体材料采用316不锈钢、316L不锈钢或304不锈钢,所述抓盘材料选用无氧铜。3.根据权利要求2所述的超高真空下传样用样品托盘,其特征在于,所述盘体采用正多边形结...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘大猛张晨辉王婷庞华雒建斌
申请(专利权)人:清华大学
类型:发明
国别省市:北京,11

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