流体控制装置、其所使用的基块以及流体控制装置的制造方法制造方法及图纸

一种流体控制装置，在该流体控制装置中，上游侧基块及下游侧基块(10A、10B)分别划分出具有流路口(12a、12b)的流路(12)，并且具有在长度方向(G1、G2)上形成在两个流路口(12a、12b)之间的螺纹孔(10h1)和螺纹孔(10h2)，利用紧固螺栓(50)连结上游侧基块及下游侧基块(10A、10B)与流体用设备(110)的主体部(111)，其中，上游侧基块及下游侧基块(10A、10B)的端部彼此利用紧固螺栓(50)连结。

Fluid control device, base block used therein, and manufacturing method of fluid control device

A fluid control device in which the upstream side base block and the downstream side base block (10A, 10B) are separated into flow paths (12) with flow intersections (12a, 12b) and have threaded holes (10h1) and threaded holes (10h2) formed between two flow intersections (12a, 12b) in the length direction (G1, G2), respectively. The upstream side base block and downstream side base blocks (10A, 10B) are connected by a fastening bolt (50). The utility model is connected with the main part (111) of the fluid equipment (110), in which the ends of the upstream side base block and the downstream side base block (10A, 10B) are connected with each other by a fastening bolt (50).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】流体控制装置、其所使用的基块以及流体控制装置的制造方法
本专利技术涉及一种流体控制装置、其所使用的基块以及使用该基块的流体控制装置的制造方法，该流体控制装置集成有包括流体控制设备的流体用设备。
技术介绍
在半导体制造工艺等各种制造工艺中，为了将准确地计量了的工艺气体供给至工艺室，而使用被称作集成化气体系统(IGS(注册商标))的流体控制装置，该集成化气体系统是使开闭阀、调节器、质量流量控制器等各种流体控制设备集成化并将它们收纳于盒而成的(例如，参照专利文献1－3)。将该IGS(注册商标)收纳于盒而成的部件被称作气体盒。在上述那样的IGS(注册商标)的情况下，代替管接头，将形成有流路的设置块(以下，称作基块)沿着底板的长度方向配置，并且在该基块上设置多个流体控制设备、连接管接头的接头块等各种流体用设备，从而实现集成化。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2008－298177号公报专利文献2：日本特开2016－050635号公报专利文献3：国际公开WO2008/149702
技术实现思路
专利技术要解决的问题在各种制造工艺中的工艺气体的供给控制中，期望具有更高的响应性，为此，需要使流体控制装置尽可能小型化、集成化，并且设置于离作为流体的供给目的地的工艺室更近的位置。随着半导体晶圆的大口径化等处理对象物的大型化，需要相应地使从流体控制装置向工艺室内供给的流体的供给流量也增大。随着流体控制装置小型化、集成化，组装作业会变得困难，组装工时会增大。并且，装置的维护性也会降低。特别是，如果使供流体用设备设置的块小型化，则会产生如下这样的各种问题，即：块的支承刚性降低，流路的加工变得困难，较难确保利用螺栓向底板固定块用的贯通孔的形成区域等。本专利技术的一目的在于提供一种在不使流体的供给流量减少的前提下进一步小型化、集成化的流体控制装置。本专利技术的另一目的在于提供一种使组装工时大幅度地削减且维护性能也得到改善的流体控制装置。本专利技术的又另一目的在于，使基块的尺寸、特别是宽度尺寸窄小化，并且提高该基块的用于支承包括各种流体控制设备的流体用设备的支承刚性。用于解决问题的方案本专利技术的第1技术方案的流体控制装置具有：流体用设备，其具有划分出流体流路的主体部，所述流体流路具有在该主体部的底面开口的两个流路口；以及沿着规定方向配置的上游侧基块和下游侧基块，所述上游侧基块和所述下游侧基块分别划分出供所述流体用设备的主体部的一部分设置的上表面、与所述上表面相对的底面、自所述上表面朝向所述底面侧延伸的侧面，并且划分出具有在所述上表面的上游侧及下游侧开口的两个流路口的流体流路，而且，分别具有螺纹孔，该螺纹孔在所述规定方向上配置在所述两个流路口之间，在所述上表面开口且朝向所述底面侧延伸，在贯穿所述流体用设备的主体部且与所述上游侧基块及所述下游侧基块的所述螺纹孔螺纹结合的紧固螺栓的紧固力的作用下，所述流体用设备的主体部被固定于所述上游侧基块及所述下游侧基块的上表面，并且在所述流体用设备的分别与所述上游侧基块的下游侧的流路口和所述下游侧基块的上游侧的流路口对接的两个流路口的周围配置的密封构件被压在所述上游侧基块及所述下游侧基块与所述流体用设备的主体部之间，所述流体控制装置的特征在于，所述上游侧基块的下游侧端部和所述下游侧基块的上游侧端部利用紧固螺栓连结。另外，在本说明书中，利用“上表面”、“下表面”、“底面”、“侧面”等用语指定各构件所具有的面，但这些用语用于指定各面的相对位置，并非用于指定绝对位置。例如，“上表面”这个用语并非用于决定上下关系，在将指定的面决定为“上表面”时，能够相对地定义其他的“底面”、“下表面”、“侧面”等，因此使用所述用语。“上方”、“下方”等用语也同样地用于决定相对的方向，并非用于决定“铅垂上方”等绝对的方向。本专利技术的第2技术方案的流体控制装置具有：流体用设备，其具有划分出流体流路的主体部，所述流体流路具有在该主体部的底面开口的两个流路口；以及沿着规定方向配置的上游侧基块和下游侧基块，所述上游侧基块和所述下游侧基块分别划分出供所述流体用设备的主体部的一部分设置的上表面、与所述上表面相对的底面、自所述上表面朝向所述底面侧延伸的侧面，并且划分出具有在所述上表面的上游侧及下游侧开口的两个流路口的流体流路，而且，分别具有螺纹孔，该螺纹孔在所述规定方向上配置在所述两个流路口之间，在所述上表面开口且朝向所述底面侧延伸，在贯穿所述流体用设备的主体部且与所述上游侧基块及所述下游侧基块的所述螺纹孔螺纹结合的紧固螺栓的紧固力的作用下，所述流体用设备的主体部被固定于所述上游侧基块及所述下游侧基块的上表面，并且在所述流体用设备的分别与所述上游侧基块的下游侧的流路口和所述下游侧基块的上游侧的流路口对接的两个流路口的周围配置的密封构件被压在所述上游侧基块及所述下游侧基块与所述流体用设备的主体部之间，所述流体控制装置的特征在于，所述上游侧基块和所述下游侧基块在所述规定方向上分离开地配置，该流体控制装置还具有连结用基块，该连结用基块利用紧固螺栓分别与所述上游侧基块的下游侧端部和所述下游侧基块的上游侧端部连结，而将所述上游侧基块和所述下游侧基块连结起来。优选的是，能够采用如下这样的构成，即：所述上游侧基块及所述下游侧基块所划分出的流路包括分别从所述两个流路口朝向所述底面侧延伸的两个第1流路、以及在所述上游侧基块及所述下游侧基块的内部沿着长度方向延伸且分别与两个所述第1流路连接的第2流路。而且，优选的是，能够采用如下这样的构成，即：所述第2流路在所述上游侧基块及所述下游侧基块的上表面与底面之间偏向该底面侧。在上述构成中，也能够是，还具有固定块，该固定块利用紧固螺栓与基块组件的一端部连结，并且能够利用紧固螺栓固定于供该基块组件设置的底板，该基块组件由包括所述上游侧基块及所述下游侧基块的多个基块形成。本专利技术的流体控制装置用基块用于形成基块组件，该基块组件是多个基块相互连结而成的，用于设置沿着规定方向配置的多个流体用设备，所述流体控制装置用基块的特征在于，该流体控制装置用基块划分出上表面、与所述上表面相对的底面、以及从所述上表面朝向所述底面侧延伸的侧面，并且划分出具有在从所述上表面、底面及侧面中的一端部朝向另一端部的方向上彼此分离开的位置开口的两个流路口的流体流路，而且，该流体控制装置用基块分别具有螺纹孔，该螺纹孔在从所述上表面、底面及侧面中的一端部朝向另一端部的方向上配置在所述两个流路口之间，在所述上表面开口且朝向所述底面侧延伸，在所述上表面、底面及侧面中的一端部和另一端部中的至少一方形成有连结部，该连结部能够利用紧固螺栓与另一基块或构件紧固在一起。本专利技术的流体控制装置的制造方法的特征在于，该流体控制装置的制造方法包括：使用至少包括上述上游侧基块及下游侧基块的基块形成多个基块的端部彼此连结而成的基块组件，将所述一个或多个流体用设备配置于所述基块组件的上表面的规定位置，利用紧固螺栓将该一个或多个流体用设备的主体部固定于该上表面而形成一个或多个流体控制组件，利用上述固定块将所述一个或多个流体控制组件固定在底板上。本专利技术的制品制造方法的特征在于，在需要在密闭的室内进行工艺气体的处理工序的半导体装置、平板显示器、太阳能电池板等制品的制造工艺中，将上述流体控制装置用于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流体控制装置，其特征在于，该流体控制装置具有：流体用设备，其具有划分出流体流路的主体部，所述流体流路具有在该主体部的底面开口的两个流路口；以及沿着规定方向配置的上游侧基块和下游侧基块，所述上游侧基块和所述下游侧基块分别划分出供所述流体用设备的主体部的一部分设置的上表面、与所述上表面相对的底面、自所述上表面朝向所述底面侧延伸的侧面，并且划分出具有在所述上表面的上游侧及下游侧开口的两个流路口的流体流路，而且，分别具有螺纹孔，该螺纹孔在所述规定方向上配置在所述两个流路口之间，在所述上表面开口且朝向所述底面侧延伸，在贯穿所述流体用设备的主体部且与所述上游侧基块及所述下游侧基块的所述螺纹孔螺纹结合的紧固螺栓的紧固力的作用下，所述上游侧基块及所述下游侧基块与所述流体用设备的主体部连结，并且在所述流体用设备的分别与所述上游侧基块的下游侧的流路口和所述下游侧基块的上游侧的流路口对接的两个流路口的周围配置的密封构件被压在所述上游侧基块及所述下游侧基块与所述流体用设备的主体部之间，所述上游侧基块的下游侧端部和所述下游侧基块的上游侧端部利用紧固螺栓连结。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.09.12 JP 2016-1773581.一种流体控制装置，其特征在于，该流体控制装置具有：流体用设备，其具有划分出流体流路的主体部，所述流体流路具有在该主体部的底面开口的两个流路口；以及沿着规定方向配置的上游侧基块和下游侧基块，所述上游侧基块和所述下游侧基块分别划分出供所述流体用设备的主体部的一部分设置的上表面、与所述上表面相对的底面、自所述上表面朝向所述底面侧延伸的侧面，并且划分出具有在所述上表面的上游侧及下游侧开口的两个流路口的流体流路，而且，分别具有螺纹孔，该螺纹孔在所述规定方向上配置在所述两个流路口之间，在所述上表面开口且朝向所述底面侧延伸，在贯穿所述流体用设备的主体部且与所述上游侧基块及所述下游侧基块的所述螺纹孔螺纹结合的紧固螺栓的紧固力的作用下，所述上游侧基块及所述下游侧基块与所述流体用设备的主体部连结，并且在所述流体用设备的分别与所述上游侧基块的下游侧的流路口和所述下游侧基块的上游侧的流路口对接的两个流路口的周围配置的密封构件被压在所述上游侧基块及所述下游侧基块与所述流体用设备的主体部之间，所述上游侧基块的下游侧端部和所述下游侧基块的上游侧端部利用紧固螺栓连结。2.一种流体控制装置，其特征在于，该流体控制装置具有：流体用设备，其具有划分出流体流路的主体部，所述流体流路具有在该主体部的底面开口的两个流路口；以及沿着规定方向配置的上游侧基块和下游侧基块，所述上游侧基块和所述下游侧基块分别划分出供所述流体用设备的主体部的一部分设置的上表面、与所述上表面相对的底面、自所述上表面朝向所述底面侧延伸的侧面，并且划分出具有在所述上表面的上游侧及下游侧开口的两个流路口的流体流路，而且，分别具有螺纹孔，该螺纹孔在所述规定方向上配置在所述两个流路口之间，在所述上表面开口且朝向所述底面侧延伸，在贯穿所述流体用设备的主体部且与所述上游侧基块及所述下游侧基块的所述螺纹孔螺纹结合的紧固螺栓的紧固力的作用下，所述上游侧基块及所述下游侧基块与所述流体用设备的主体部连结，并且在所述流体用设备的分别与所述上游侧基块的下游侧的流路口和所述下游侧基块的上游侧的流路口对接的两个流路口的周围配置的密封构件被压在所述上游侧基块及所述下游侧基块与所述流体用设备的主体部之间，所述上游侧基块和所述下游侧基块在所述规定方向上分离开地配置，该流体控制装置还具有连结用基块，该连结用基块利用紧固螺栓分别与所述上游侧基块的下游侧端部和所述下游侧基块的上游侧端部连结，而连接所述上游侧基块和所述下游侧基块。3.根据权利要求1或2所述的流体控制装置，其特征在于，所述上游侧基块及所述下游侧基块所划分出的流路包括分别从所述两个流路口朝向所述底面侧延伸的两个第1流路、以及在所述上游侧基块及所述下游侧基块的内部沿着所述规定方向延伸且分别与两个所述第1流路连接的第2流路。4.根据权利要求3所述的流体控制装置，其特征在于，所述第2流路在所述上游侧基块及所述下游侧基块的上表面与底面之间偏向该底面侧。5.根据权利要求3或4所述的流体控制装置，其特征在于，所述螺纹孔配置为在对所述上游侧基块及所述下游侧基块从上表面侧进行观察而看到的俯视图中该螺纹孔的至少一部分与所述第2流路重叠，并且所述螺纹孔在所述第2流路的上方被堵塞。6.根据权利要求3～5中任一项所述的流体控制装置，其特征在于，所述第2流路在所述上游侧基块及所述下游侧基块的所述规定方向上的一端面开口，该...

【专利技术属性】
技术研发人员：堂屋英宏，佐藤哲，
申请(专利权)人：株式会社富士金，
类型：发明
国别省市：日本,JP